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fuzB;Ea 内容简介 fWZ( Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 D"J',YN$ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,DZvBS 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ~:{05W /a'1W/^2 讯技科技股份有限公司 J$Z=`=]t+
XEQTT D< 目录 Jy5sZ}t[ Preface 1 baBBn%_V 内容简介 2 B*N1)J\5 目录 i O&1qL) 1 引言 1 RFMPh<Ac 2 光学薄膜基础 2 xNzGp5H 2.1 一般规则 2 7i*eKC`ZqK 2.2 正交入射规则 3 @^A5{qQ\ 2.3 斜入射规则 6 /M_$4O;*@ 2.4 精确计算 7 =}vT>b 2.5 相干性 8 odCt6Du 2.6 参考文献 10 ^cm]
[9 3 Essential Macleod的快速预览 10 Xx"<^FS[zC 4 Essential Macleod的特点 32
;%9]G|*{ 4.1 容量和局限性 33 F}5d>nw 4.2 程序在哪里? 33 &)Xc'RQ.C 4.3 数据文件 35 ikW[lefTq 4.4 设计规则 35 .E<nQWz8 4.5 材料数据库和资料库 37 z Fo11;*D 4.5.1材料损失 38 vd{QFJ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 <.Ws; HN} 4.5.2 材料库 41 yd).}@ 4.5.3导出材料数据 43 |'q%9# 4.6 常用单位 43 u.|Z3=?VG 4.7 插值和外推法 46 Nob(D'vSr 4.8 材料数据的平滑 50 v1TFzcHl< 4.9 更多光学常数模型 54 TIWR[r1! 4.10 文档的一般编辑规则 55 rW:krx9 4.11 撤销和重做 56 HeOdCr-PN 4.12 设计文档 57 j,.\QwpU 4.10.1 公式 58 3 r& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 K]hp-QK< 4.10.3 沉积密度 59 c-sjYJXKM* 4.10.4 平行和楔形介质 60 U[@y8yN6M 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Y()"2CCV 4.10.4 性能 61 .UG`pRC 4.10.5 保存设计和性能 64 -QrC>3xZR 4.10.6 默认设计 64 p49]{2GXb 4.11 图表 64 QO2cTk
m 4.11.1 合并曲线图 67 [={mCGU 4.11.2 自适应绘制 68 xT%`"eM} 4.11.3 动态绘图 68 x4oWZEd 4.11.4 3D绘图 69 l3>S{ 4.12 导入和导出 73 JZ:@iI5>+ 4.12.1 剪贴板 73
<kak9
6A 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ;-+q*@sa] 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 X\AH^I6S 4.13 背景 77 ,#K/+T 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 A&Y5z[p 4.15 生成Rugate 84 qCV<-o 4.16 参考文献 91 qqrjI. 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 7?$?Yu 5.1 Jobs 92 \$ytmtf5 5.2 创建一个新Job(工作) 93 F5h/> 5.3 输入材料 94 i[v4[C=WB! 5.4 设计数据文件夹 95 [nTI\17iA 5.5 默认设计 95 =p+y$ 6 细化和合成 97 &mwd0%4 6.1 优化介绍 97 /Mqhx_)>A 6.2 细化 (Refinement) 98 S<tw5!tJ 6.3 合成 (Synthesis) 100 WsI`!ez;D 6.4 目标和评价函数 101 Cn{Hk)6 6.4.1 目标输入 102 lW+mH= 6.4.2 目标 103 $[ {5+ * 6.4.3 特殊的评价函数 104 &X=7b@r 6.5 层锁定和连接 104 szI7I$Qb 6.6 细化技术 104 kZ40a\9
Ye 6.6.1 单纯形 105 $x0SWJ \G 6.6.1.1 单纯形参数 106 g.lTNQm$u 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 eS`VI+=@0 6.6.2.1 Optimac参数 108 kT%wt1T4 6.6.3 模拟退火算法 109 d*gAL<M7E 6.6.3.1 模拟退火参数 109 {& o^p! 6.6.4 共轭梯度 111 =[6^NR( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 {]0e=#hw 6.6.5 拟牛顿法 112 X8nos 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 J:xGEa t 6.6.6 针合成 113 YuX JT* 6.6.6.1 针合成参数 114 Nwvlv{k' 6.6.7 差分进化 114 kv+% 6.6.8非局部细化 115 ]Bhy=1 6.6.8.1非局部细化参数 115 IG781:,/ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 2jsbg{QS#_ 6.7.1 细化 116 j(;^XO Y# 6.7.2 合成 117 #36QO 6.8 参考文献 117 )t6]F6!_ 7 导纳图及其他工具 118 h>N}M}8 7.1 简介 118 );5o13h2 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 'xwCeZcg 7.2.1 四分之一波长规则 119 79\wjR!T 7.2.2 导纳图 120 ([>ecS@eO 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ]lB zp D 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 B`*,L\LZ* 7.5 斜入射导纳图 141 ']_2@<XW) 7.6 对称周期 141 SQKhht`M 7.7 参考文献 142 Syk)S< 8 典型的镀膜实例 143 !"<[& 8.1 单层抗反射薄膜 145 T]#V 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 :^;c(>u{ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 }z3j7I 8.4 W-膜层 148 =2Y;)wrF 8.5 V-膜层 149 ><V*`{bD9) 8.6 V-膜层高折射基底 150
v+c>iI 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3EoCEPb# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 9T,/R1N8 8.9 四层抗反射薄膜 153 Dg&84,bv^ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 -yqsJGY 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 7T~M`$h 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 04a
^jjc 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 U1RU2M]v 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 7Cgi& 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Hbm 4oYN 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 %fS9F^AK 8.17 1/4波长堆栈 162 \}j MC 8.18 陷波滤波器 163 lj4Fg*/Yn 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 h$cm:uks 8.20 褶皱 165 ua\t5M5 8.21 消偏振分光器1 169 d,<ni" 8.22 消偏振分光器2 171 %,>z`D,Hg 8.23 消偏振立体分光器 172 P4zo[R%4 8.24 消偏振截止滤光片 173 oA1_W).wJ 8.25 立体偏振分束器1 174 D3pz69W 8.26 立方偏振分束器2 177 G\.~/<Mg+ 8.27 相位延迟器 178 0|3I^b 8.28 红外截止器 179 ~9X^3.nI 8.29 21层长波带通滤波器 180 q
z)2a2C 8.30 49层长波带通滤波器 181 }^"6 :;, 8.31 55层短波带通滤波器 182 YQVo7"`% 8.32 47 红外截止器 183 .`or^`X3 8.33 宽带通滤波器 184 d2\!tJm 8.34 诱导透射滤波器 186 *~rj!N?; 8.35 诱导透射滤波器2 188 d}
>Po%r: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 TlG>)Z@/ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 TBlSZZ-55] 8.35 增益平坦滤波器 193 q"2QNF' 8.38 啁啾反射镜 1 196 &L o TO+ 8.39 啁啾反射镜2 198 VPLf( 8.40 啁啾反射镜3 199 aDlp>p^E> 8.41 带保护层的铝膜层 200 nt.LiM/L 8.42 增加铝反射率膜 201 AGBV7Kk 8.43 参考文献 202 )G[byBa 9 多层膜 204 =BJLj0=N 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 iFI74COam 9.2 内部透过率 204 XLh)$rZ 9.3 内部透射率数据 205 9A.RD`fg 9.4 实例 206 j,IRUx13f 9.5 实例2 210 n<?U6~F&~ 9.6 圆锥和带宽计算 212 ]5%0EE64 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ^r}c&@ 10 光学薄膜的颜色 216 STKL 10.1 导言 216 Zxk~X}K\P 10.2 色彩 216 FO{=^I5YA 10.3 主波长和纯度 220 |vI*S5kn6A 10.4 色相和纯度 221 ]a3$hAcj6" 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 qwTz7r 10.6 色差 226 @"w4R6l+* 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 JWVV?~1 10.8 颜色渲染指数 234 HC`0Ni1 10.9 色差计算 235 X>(1fra4 10.10 参考文献 236 =SDex.ZK] 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 (;NJ<x 11.1 短脉冲 238 jNZ.Fb 11.2 群速度 239
:e1h!G 11.3 群速度色散 241 dQ:,pe7A 11.4 啁啾(chirped) 245 dSI"yz 11.5 光学薄膜—相变 245 YAi-eL67l 11.6 群延迟和延迟色散 246
Dy08.Sss 11.7 色度色散 246 Vax g 11.8 色散补偿 249 ]m1fo' 11.9 空间光线偏移 256 \!KE_7HRu 11.10 参考文献 258 5epI'D 12 公差与误差 260 mh+T!v$[n) 12.1 蒙特卡罗模型 260 ?0qVyK_1 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 @N'n>8Wn 12.2.1 误差工具 267 _[:6.oNjIe 12.2.2 灵敏度工具 271 *,u3Wm|7 12.2.2.1 独立灵敏度 271 $QbJT`,mr 12.2.2.2 灵敏度分布 275 `kKssU< 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 LKN7Lkl 12.3 参考文献 276 `Fqth^RK?p 13 Runsheet 与Simulator 277 5(;Y&?k 13.1 原理介绍 277 D?Oe";"/ 13.2 截止滤光片设计 277 .:_'l)- 14 光学常数提取 289 pyEQb# 14.1 介绍 289 EEe$A?a; 14.2 电介质薄膜 289 %0\@\fC41 14.3 n 和k 的提取工具 295 Bc>j5^)8w 14.4 基底的参数提取 302 Y;w|Fvjj+ 14.5 金属的参数提取 306 (Tx_`rO4VY 14.6 不正确的模型 306 |mT%IR 14.7 参考文献 311 oXo>pl 15 反演工程 313 vG |!d+ 15.1 随机性和系统性 313 GrF4*I`q 15.2 常见的系统性问题 314 Y1r$;;sH 15.3 单层膜 314 QE 4 15.4 多层膜 314 0nc(2Bi 15.5 含义 319 18$d-[hX 15.6 反演工程实例 319 (g6e5Sgi> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 lKbWQ> 15.6.2 反演工程提取折射率 327 VuLb9Kn 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 QO@86{u#Y 16.1 光学性质的热致偏移 329 rfV'EjiM} 16.2 应力工具 335 7cc^n\c?Y 16.3 均匀性误差 339 (Cr
16.3.1 圆锥工具 339 YNr5*P1 16.3.2 波前问题 341 @&T' h}|: 16.4 参考文献 343 wd:Yy 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 nDi^s{ 17.1 引言 345 zC50 @S3| 17.2 操作数 345 , ['}9:f9 18 如何在Function中编写脚本 351 hcVu`B n 18.1 简介 351 iXWzIb}CJ- 18.2 什么是脚本? 351 8W3zrnc 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 B*/!s7 c. 18.4 基础 352 :'h$]p% 18.4.1 Classes(类别) 352 .0dGS 18.4.2 对象 352 \?
/' 18.4.3 信息(Messages) 352 {S0-y 18.4.4 属性 352 w_"d&eYdg0 18.4.5 方法 353 ?NBae\6r 18.4.6 变量声明 353 6R :hs C$ 18.5 创建对象 354 %9YY \a { 18.5.1 创建对象函数 355 =r]l"T 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ):N#X<b': 18.5.3 丢弃对象 356 Z?P^Y%ls 18.5.4 总结 356 8T+9
fh]I 18.6 脚本中的表格 357 !mv5i%3 18.6.1 方法1 357 V 7,dx@J- 18.6.2 方法2 357 &mX_\w/% 18.7 2D Plots in Scripts 358 ~\=D@G,9 18.8 3D Plots in Scripts 359 H*]Vs=1 18.9 注释 360 lIyMNw 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 eEXNEgbn 18.11 一个更高级的脚本 362 )q x;/=D 18.12 <esc>键 364 y)zZ:lyIq 18.13 包含文件 365 k A=5Kc 18.14 脚本被优化调用 366 aOvqk ^ 18.15 脚本中的对话框 368 RKLE@h7[? 18.15.1 介绍 368 DN:|
s+Lz 18.15.2 消息框-MsgBox 368 B}[CU='P* 18.15.3 输入框函数 370 a!R*O3 18.15.4 自定义对话框 371 ?|,:;^2l1 18.15.5 对话框编辑器 371 a&{Y~Og?% 18.15.6 控制对话框 377 1;[KBYUH 18.15.7 更高级的对话框 380 b |:Y3_> 18.16 Types语句 384 yeyDB>#Va. 18.17 打开文件 385 \W=3P[gb 18.18 Bags 387 -sJ1q^;f@ 18.13 进一步研究 388 =]%,&Se 19 vStack 389 _Q:z -si 19.1 vStack基本原理 389 89>}`:xS^ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 *zUK3&n~I 19.3 五棱镜 393 Muwlehuq 19.4 光束距离 396 7:B/?E 19.5 误差 399 ~!ooIwNNz 19.6 二向分色棱镜 399 OPN\{<`*d 19.7 偏振泄漏 404 M|c_P)7ym 19.8 波前误差—相位 405 A6[FH\f 19.9 其它计算参数 405 n*"r!&Dg 20 报表生成器 406 dC,C[7\ 20.1 入门 406 NCh-BinK@ 20.2 指令(Instructions) 406 N!ihj:, 20.3 页面布局指令 406 eL~xS: VT 20.4 常见的参数图和三维图 407 t+w{uwEY 20.5 表格中的常见参数 408 g8cBb5(L 20.6 迭代指令 408 /4O))}TX 20.7 报表模版 408 wU|@fm" 20.8 开始设计一个报表模版 409 Xfg3q.q 21 一个新的project 413 3w)r"" C& 21.1 创建一个新Job 414 WOZuFS13 21.2 默认设计 415 S'5 )K 21.3 薄膜设计 416 ^?RH<z 21.4 误差的灵敏度计算 420 CNb(\] 21.5 显色指数计算 422 ^mn!;nu 21.6 电场分布 424 46]BRL2 G 后记 426 i.'"`pn_ 有兴趣可以扫码加微联系 |\dv$`_T
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