切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 724阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6293
    光币
    25610
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-02-20
    摘要 {?yVA  
    $ +WXM$N  
    在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 PlB3"{}0Q  
    je mb/ :E  
    ] 0R*F30]  
    i*|HN"!  
    建模任务 zbFy3-RP  
    fK7 ?"^`/  
    WXxnOLJr  
    "e-Y?_S7R8  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 4 ?BQ&d  
    +'m9b7+v  
    系统建模块 M]o]D;N~l  
    HAH\ #WE  
    5X^\AW  
    PY.HZ/#d  
    特定位置的Talbot图案 M5 VW1Ns  
    Hdyl]q-(P  
    r^Ra`:ca  
    |.9PwD8~VD  
    特定位置的Talbot图案 tpS gbGzp  
    XgxO:"B  
    jga; q  
    不同位置的Talbot图案 boiP_*|MY  
    Qy9_tvq X  
    vEx'~_+a9  
    fExFpR,`  
    不同位置的Talbot图案 Ihf>FMl:  
    J0Yb_(w  
    _!2lnJ4+5  
    %scw]oF  
    沿 Z 轴的强度 {U-z(0  
    ?*V\ -7jg  
    2Ug_3ZuU  
    NzZ(N z5  
    VirtualLab Fusion技术 ,xU#uyB  
    -|'@ :cIZ  
     
    分享到