摘要
~"JE![XR o0aO0Y 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在
VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。
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)]/i >?>u bM`, 建模任务
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W(&Go'9e" '<?v:pb9 structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
#JL&]Z+X6 n&0mz1rw 系统建模块
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nc3ltT,R VQy9Y 特定位置的Talbot图案
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#MhNdH# @4/~~ 特定位置的Talbot图案
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_=|nOj39 不同位置的Talbot图案
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BKE\SWu -TzI>Fz 不同位置的Talbot图案
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22)0zY%\ qhV,u;\. 沿 Z 轴的强度
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tMxsR>sH pT("2:)x VirtualLab Fusion技术
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