[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 %Hu5K>ZNYp  
bL0yuAwF2  
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 '+@=ILj>  
#$.;'#u'so  
j`EXlc~  
?>VLTp8]  
建模任务 x'8x   
 {y)=eX9  
b!+hH Hv:  
9=s<Ld  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) kXViWOXU^  
21n?=[  
系统建模块 pJ>P[  
Q3 ea{!r  
(O\)_#-D
 
<;lkUU(WT2  
特定位置的Talbot图案 Q1Kfi8h}'  
\<bx[,?  
]>!K3kB  
xH ]Ct~md  
特定位置的Talbot图案 pd?Mf=>#  
HVRZ[Y<^  
8C40%q..  
不同位置的Talbot图案 :'Vf g[Uq  
td$E/h=3  
<NMEGit  
`Gs9Xmc|  
不同位置的Talbot图案 5%"V[lDx@  
?d*z8w  
IW5,
7.  
ibcRU y0%  
沿 Z 轴的强度 Y/F6\oh  
a .#)G[*  
/'SNw?&  
Cp\6W[2+B  
VirtualLab Fusion技术
~g91Pr   
aj='b.2)