摘要
'#u2q=n4* Z''Fz(qMC 在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个
图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在
VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。
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)@SIFE J8? 6yd-7 建模任务
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B> a`mFM K%Q^2 "Eb0 structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
fVR ~PG0 ;M4N=G Wd4 系统建模块
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V~e1CZ(2X D8[&}D4 特定位置的Talbot图案
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Qyd3 e O_ l*% voKZG 特定位置的Talbot图案
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'[\%P2c)Q 不同位置的Talbot图案
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, 不同位置的Talbot图案
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rw+0<r3|K m\@Q/_ v 沿 Z 轴的强度
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66Hu <3X P * k =L VirtualLab Fusion技术
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