[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 <xO" E%t  
9yWQ}h
 
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 q-5U,!!W/  
e)):U  

图片:1-220G3232QN13.jpg

|x$2-RUP  
pdEUDuX  
建模任务 J{qpGRQNa  
HTw7l]]  

图片:1-220G3232T1D5.png

o3kVcX^  
*-lw2M9V  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) :}{,u6\  
uYy&<_r  
系统建模块 @/ G$ C9<  
us$=)m~v+  

图片:1-220G323292Xb.png

z]33_[G1U  
SO8b~N  
特定位置的Talbot图案 I]vCra  
JoIh2PD  

图片:1-220G3233002M1.png

yf@DaIG  
kD{qW=Lpn  
特定位置的Talbot图案 ,o68xfdZVW  
5 4vDP9  

图片:1-220G32331001C.png

,HHCgN  
不同位置的Talbot图案 e%K oecq  
BELx
aV,  

图片:1-220G3233132321.png

s$PPJJT{b  
V^/]h u  
不同位置的Talbot图案 |a{~Imz{  
w$j!89@)  

图片:1-220G3233159A5.png

`;BpdG(m  
GAY f.L"  
沿 Z 轴的强度 dWDM{t\}\  
+u|p<z  

图片:1-220G3233223910.png

Yfjp:hg/!  
R\^XF8n6/  
VirtualLab Fusion技术 /\e&nYz  
VyWPg7}e  

图片:1-220G32332544H.png