摘要
nG !6[^D 222Mm/QN 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在
VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。
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vvcA-k? IO]%AL(.; 建模任务
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<aGfQg|554 Tn 3<cO7v structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
u8i!Fxu gKWsmx![" 系统建模块
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#u<n . zDx*R3% 特定位置的Talbot图案
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