摘要
A SSoKrFL 3jNcL{ 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在
VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。
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\ *2IU"R j{g {`Qa 建模任务
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dZW:Cf 9K 89paR[ structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
{x8`gP\H M Pt7 / 系统建模块
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/dfZ>k8 Y'-Lt5SCS 特定位置的Talbot图案
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G2A pm`/ y qSQjAo4t@ VirtualLab Fusion技术
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