[求助]双凸PMMA透镜镀AR膜(求各位好心前辈指教) [复制链接]

1.目前难题，膜层牢固度不够，膜裂严重 e
" Eqi-
 
2.目前镀膜工艺 Wk`bb!P_  
设备：光驰1550 IAP/G5'Q  
镀膜前60度恒温40分钟 }2ql?K  
第一层不使用离子源清洁、同时第一层不使用离子源辅助 W""*hJ  
TI3O5打底厚度200nm dXiE.Si  
功能层：石英环/TI3O5交替镀膜 EK?@Z.q+  
功能层使用离子源辅助镀膜 RQ^m6)BTo  
离子源工艺能量为：500V/500mA _k_>aG23  
3.听说有加硬的方法，想请教一下各位好心前辈一些问题 4L=$K2R2r  
(1)加硬之后不会对PMMA光学性能产生影响吗，例如，透射率，折射率 @%OPy|=,{  
(2)有没有可以加硬不改变PMMA光学性能的厂家推荐。 jj!N39f   

Ti的氧化物好像低温是不行的，你试下用Si打底。

  SiO打底。镀完了退火

如果你要用高折材料打底的话，试一下AL2O3

dumoty:  SiO打底。镀完了退火 (2024-02-28 16:16)  gNqAj# m  

u t$c)_  
前辈，您能给一下更加具体的参数吗，非常感谢您

做PC的厂家都可以加硬，必须要加硬，不然镀完放置一会就起皮了，掉光了。

PMMA不加硬，防膜裂简单，问题是膜强差，也非常不耐摩擦！建议加硬

knight627:PMMA不加硬，防膜裂简单，问题是膜强差，也非常不耐摩擦！建议加硬 (2024-04-08 09:16)  '#.#$8l  

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前辈有哪些好的加硬厂家推荐吗，非常感谢

ouyuu:如果你要用高折材料打底的话，试一下AL2O3 (2024-03-01 12:45)  {{yZ@>o6  

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前辈，能咨询一下为什么考虑al2o3打底吗，我试了一下，al2o3打底虽然还是失败了，但是比TIO2和SIO2打底要好很多

heyong123:前辈，能咨询一下为什么考虑al2o3打底吗，我试了一下，al2o3打底虽然还是失败了，但是比TIO2和SIO2打底要好很多 (2024-05-24 09:16) ,<BbpIQ2o  

~vlype3/EF  
我这也是日本人那边学到的东西，但是原理他们没讲。