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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-02-05
    摘要                                                                             :raYt5n1,y  
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    X$4 5<oz  
    %?[H=v(b  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             /iekww^54  
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    仿真任务                                                                             9&uWj'%ia  
       VY=c_Gl  
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    DsP FB q  
    连接建模技术:倾斜光栅 a\m@I_r.N  
    K1K3s< y+  
                                                                         w %sHA  
    3d|n\!1r  
    可用的微结构建模技术: - &/n[EE  
    Z#lZn!EbK  
    zg=F;^oZ<  
                                                                                     406.6jmv  
    光栅阶数分析仪 3bp'UEF^k  
    3Vj,O?(Z  
    $'2yPoR  
    pK~K>8\  
    参数变化分析仪                                                                             AK*F,H9  
       4d*=gy%  
                                                                                 s*U~Q=Z  
    ?!J{Mrdn  
    参数优化                                                                             qs]7S^yw  
    mnM!^[|z  
                       .v3~2r*&  
    Iq-+X3i  
    优化结果-平均效率 &91U(Go  
    $m;rOKVU  
                                                       8[|RsM   
    Ws;}D}+  
    优化结果-对比度 `E),G;I  
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