[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             3.Qf^p  
1U~AupHE  

图片:1-24012R10U91I.png

]^&DEj{  
KcfW+>W3  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             E[t\LTt*n  
N*lq)@smq  
仿真任务                                                                             #:vosVqG  
   M`KrB5a+6  

图片:1-24012R1102B09.png

YurK@Tq7  
%7O`]ik:  
连接建模技术:倾斜光栅 fmA&1u/xMs  
R?>a UFM  

图片:1-24012R1120W57.png

                                                                     )dJM  
p2!x8`IB*  
可用的微结构建模技术: ~VU
NN[  
\"_;rJ{!aE  

图片:1-24012R1140H29.png

0[T!}F^%e  
                                                                                 ZHICpL  
光栅阶数分析仪 W&z.O  
Gc4N)oq)}b  

图片:1-24012R12K44c.png

Rh9>iA@fd  
0X0HDQ  
参数变化分析仪                                                                              ~ceGx  
   {+z+6i  

图片:1-24012R12T0E3.png

                                                                             ^gH.5L0]gH  
^P:9iu)+]~  
参数优化                                                                             vjZX8KAiZ  
X||oiqbY  

图片:1-24012R12924306.png

                   Zj~tUCc  
/Rx%}~x/m  
优化结果-平均效率 REoFP;H~  
P)^K&7X  

图片:1-24012R13009193.png

                                                   @6 gA4h  
>Bskw2  
优化结果-对比度 =^q:h<  
0l.+yr}PE  

图片:1-24012R13052X3.png