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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-02-05
    摘要                                                                             (T0%H<#+  
    [-Dl,P=  
    tmI2BBv  
    4d0<uB&v'  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             (eAh8^)  
    *QpKeI  
    仿真任务                                                                             +EBoFeeIG  
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    Ju7nvxC  
    qZ7/d,w  
    连接建模技术:倾斜光栅 D;al(q  
    Ka\%kB>*`  
                                                                         f i3<  
    N;6WfdA-  
    可用的微结构建模技术: 3QrYH @7zx  
    YEx7 6  
    xl$#00|y  
                                                                                     TBYRY)~f  
    光栅阶数分析仪 U8(Rye$  
    ,&IBj6%Y  
    >2l;KVm%  
    Y@Kp'+t(!  
    参数变化分析仪                                                                             bu#}`/\_  
       -3<5,Q{G+  
                                                                                 43Yav+G(+  
    |0mVK`  
    参数优化                                                                             ]S~Z8T-[  
    ivbuS-f =r  
                       &V&0kp@+  
    #`mo5  
    优化结果-平均效率 V4OhdcW{  
    dSb|hA}@  
                                                       WoiK _Ud  
    _azg 0.)  
    优化结果-对比度 NVMhbpX6  
    ^V~r S8]gj  
     
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