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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-02-05
    摘要                                                                             cc[(w #K  
    UM7@c7B?  
    w]wZJ/U`  
    W0gS>L_  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             U]3!"+Y1P  
     Unk/uk  
    仿真任务                                                                             ,;g%/6X  
       k~>(XG[x&  
    (T%F^s5D  
    #A/OGi  
    连接建模技术:倾斜光栅 hFIh<m=C?Y  
    v)5;~.+%  
                                                                         vzIo2 ,/7  
    H/D=$)3op  
    可用的微结构建模技术: P<]U  
    t+?Bb7p,H  
    W'./p"2g  
                                                                                     2 2v"?*  
    光栅阶数分析仪 l~r;G rd/5  
    YdhTjvx  
    hi8q?4jE  
    f8Hq&_Pn   
    参数变化分析仪                                                                             u[GZ~L  
       ^j<v~GT x+  
                                                                                 7hk)I`o65  
    v vErzUxN  
    参数优化                                                                             pv]@}+<Dt  
    xs"i_se  
                       ]es|%j 2  
    ^#_gk uyd!  
    优化结果-平均效率 2/?Zp=|j\  
    ~fXNj-'RW  
                                                       !<w6j-S  
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    优化结果-对比度 Cd%5XD^  
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