[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             !<Ma9%uC{  
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由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             %(MaH  
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仿真任务                                                                             WId"2W3M  
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连接建模技术:倾斜光栅 Fo=Icvo  
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                                                                     7+0Kg'^+n  
PTWP7A[  
可用的微结构建模技术: s {p-c
V  
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                                                                                  s!X@ l  
光栅阶数分析仪 rG|lRT3-K  
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参数变化分析仪                                                                             y3{'s>O6  
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参数优化                                                                             it.Lh'N;T  
V9&7K65-1  
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/'k4NXnW3  
优化结果-平均效率 gBp,p\ Xc  
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                                                   &TJMopVn  
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优化结果-对比度 rp^
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