[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             .do8\  
oR7[[H.4  

图片:1-24012R10U91I.png

4M#i_.`z  
":0u%E?s  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             ,~q:rh+  
_K}q%In  
仿真任务                                                                             Unvl~lm6  
   Ge_fU'F  

图片:1-24012R1102B09.png

~m_{&,CA.  
l^Ob60)2  
连接建模技术:倾斜光栅 p[w! SR%=  
$C.a@gm  

图片:1-24012R1120W57.png

                                                                     <rtKPlb//  
fcxg6W'  
可用的微结构建模技术: `6)(Fk--"  
]!ox2m_U  

图片:1-24012R1140H29.png

~P#mvQE)  
                                                                                 9w- )??  
光栅阶数分析仪 )by7[I0v  
iLch3[p%  

图片:1-24012R12K44c.png

bn)1G$0|  
XVkw/l  
参数变化分析仪                                                                             #B<EMGH  
   g3].STz6w  

图片:1-24012R12T0E3.png

                                                                             &nDXn|  
L/Q[N^ (^  
参数优化                                                                             1l$2T y+ =  
XjF@kQeM=  

图片:1-24012R12924306.png

                   H.\`(`6  
Rjq Xz6  
优化结果-平均效率 wn.~Dx  
]R_R`X?  

图片:1-24012R13009193.png

                                                   Xd=KBB[r?  
[02rs@c>  
优化结果-对比度 /kY9z~l  
UB.1xcI  

图片:1-24012R13052X3.png