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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-02-05
    摘要                                                                             &ZI-#(P  
    -qdt$jIM  
    ,d$D0w  
    Nyl)B7/w  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             Oz Axnd\.N  
    tYMPqP,1.  
    仿真任务                                                                             #X qnH  
       N%!{n7`N:  
    YU/?AQg  
    kt7x}F(?<  
    连接建模技术:倾斜光栅 63Z^ k(  
    r>B|JPm  
                                                                         ^JAp#?N^9  
    K#xL-   
    可用的微结构建模技术: %`}nP3  
    DIx.a^LR  
    /o9 0O&  
                                                                                     Q+ZZwqyxD  
    光栅阶数分析仪 puox^  
    t:*1* ;  
    QM@zy  
    PP8627uP  
    参数变化分析仪                                                                             -9(pOwN |m  
       ]D[\l$(  
                                                                                 BRXDE7vw  
    in`|.#  
    参数优化                                                                             ji.T7wn1u  
    USZBk0$  
                       XvVi)`8!u  
    BJKv9x1jK  
    优化结果-平均效率 /h9v'Y}c  
    4`Lr^q}M+  
                                                       !wTrWD!  
    b*1yvkX5  
    优化结果-对比度 2WC$r8E  
    ]EdZ,`B4  
     
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