[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             [@VzpVhXz  
$},XRo&R  
A_U=`M=-  
+8?18@obp  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             ><"|>(y  
yeta)@nH  
仿真任务                                                                             aBaiX
v/*  
   \ Xh C  
hO.b?>3NL  
\rUKP""m  
连接建模技术:倾斜光栅 965x_ %  
+3zQ"lLD^  
                                                                     7"aN7Q+EbI  
g7hI9(8+  
可用的微结构建模技术: ,|VLOY^  
:^{KY(3  
0H4|}+e  
                                                                                 #V/{DPz  
光栅阶数分析仪 ySiZ@i4  
*?1\S^7R  
T}Wbt=\M  
qfCZ [D  
参数变化分析仪                                                                            
4V,p\$;  
   JSju4TQ4  
                                                                             ue7D' UZL>  
hV,T889'  
参数优化                                                                             "DvZCf[}  
u5rvrn ]  
                   %`5K8eB  
af@a /  
优化结果-平均效率 :qj^RcmVPL  
&P}t<;  
                                                   <aaT,J8%[  
hVB(*WA^D  
优化结果-对比度 _qf~ hhi  
U%@C<o "