摘要
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,d$D0w Nyl)B7/w 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
OzAxnd\.N tYMPqP,1. 仿真任务
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YU/?AQg kt7x}F(?< 连接建模技术:倾斜光栅
63Z^ k( r>B|JPm
^JAp#?N^9 K#xL- 可用的微
结构建模技术:
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0O& Q+ZZwqyxD 光栅阶数分析仪
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QM@zy PP8627uP 参数变化分析仪
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|m ]D[\l$(
BRXDE7vw in `|.# 参数优化
ji.T7wn1u USZBk0$
XvVi)`8!u BJKv9x1jK 优化结果-平均效率
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!wTrWD! b*1yvkX5 优化结果-对比度
2WC$r8E ]EdZ,`B4