摘要
(T0%H<#+ [-Dl ,P=
tmI2BBv 4d0<uB&v' 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
(eAh8^) *QpKeI 仿真任务
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Ju7nvxC qZ7/d,w 连接建模技术:倾斜光栅
D;al(q Ka\%kB>*`
f
i3 < N;6WfdA- 可用的微
结构建模技术:
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@7zx YEx76
xl$#00|y TBYRY)~f 光栅阶数分析仪
U8(Rye$ ,&IBj6%Y
>2l;KVm% Y@Kp'+t(! 参数变化分析仪
bu#}`/\_ -3<5,Q{G+
43Yav+G(+ |0mVK` 参数优化
]S~Z8T-[ ivbuS-f=r
&V&0kp@+ #`mo5 优化结果-平均效率
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WoiK _Ud _azg
0.) 优化结果-对比度
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