摘要
bqS*WgMY- z ,P:i$
U@BVVH?,o P=KOw;bs 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
A:cc @ku ]Q6,,/nn 仿真任务
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wAVO%8u S;Lqx5Cd 连接建模技术:倾斜光栅
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v )%EG C3G?dZKv2 可用的微
结构建模技术:
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e@L+z nO\|43W 光栅阶数分析仪
zOg#=ql oT\B-lx
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{pd%I 参数变化分析仪
OAOG&6xu8 P]yER9'
'/z.\ S 8{4I6;e- 参数优化
lBD{)Va eq(|%]a=
PcM:0(,G j<8_SD =, 优化结果-平均效率
tN3Xn] W=GNo9:
/n@_Ihx J4 !Z,- 优化结果-对比度
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