[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             kWMl  
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由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             WYm\)@  
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仿真任务                                                                             )Xz,j9GzJS  
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连接建模技术:倾斜光栅 Ar
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可用的微结构建模技术: w7.V6S$Ga  
VGy<")8D/  

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Ha0M)0Anv  
                                                                                 RNEp4x  
光栅阶数分析仪 taHJ ub  
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图片:1-24012R12K44c.png

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参数变化分析仪                                                                             {Qf=G|Ah  
   <s31W3<v  

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参数优化                                                                             mA}TJz  
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T\6dm/5  
优化结果-平均效率 |/|5UiX7  
5,lEx1{_  

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                                                   y{B=-\O]  
T9E+\D  
优化结果-对比度 z [}v{  
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