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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-02-05
    摘要                                                                             bqS*WgMY-  
    z,P:i$  
    U@BVVH?,o  
    P=KOw;bs  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             A:cc @ku  
    ]Q6,,/nn  
    仿真任务                                                                             <$Q&n{  
       V. 1sb pI  
    wAVO%8u  
    S;Lqx5Cd  
    连接建模技术:倾斜光栅 $gJMF(  
    !MTm4Ls  
                                                                         v)%EG  
    C3G?dZKv2  
    可用的微结构建模技术: Jn' q'+  
    .: 87B=  
    e@L+z  
                                                                                     nO\|43W  
    光栅阶数分析仪 zOg#=ql  
    oT\B-lx  
    z]gxkol\  
    {pd%I  
    参数变化分析仪                                                                             OAOG&6xu8  
       P]yER9'  
                                                                                 '/z.\S  
    8{4I6;e-  
    参数优化                                                                             lBD{)Va  
    eq(|%]a=  
                       PcM:0(,G  
    j<8_SD=,  
    优化结果-平均效率 tN3Xn]   
    W=GNo9:  
                                                       /n@_Ihx  
    J4!Z,-  
    优化结果-对比度 ENA8o}n  
    Y^2Ma878  
     
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