[技术]光栅的鲁棒性分析与优化 [复制链接]

光栅是许多光学工程师的基本工具，因为它们的物理特性(将入射光衍射成一组离散的级次)使它们在许多不同的配置和许多不同的应用中都是非常有吸引力的工具。然而，研究主要的兴趣是给定光栅设置如何能够容许例如制造过程产生的与设计参数的小偏差。请查看下面的文档，找到我们根据其填充因子优化倾斜光栅的示例。我们使用新发布的Parameter Variation Analyzer来执行设置的容差分析，并计算一个评价函数，该函数计算了不同填充因子下工作级次的平均效率。 |qZko[W}=  
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但是光栅本身的参数并不是影响这类系统性能的唯一因素:已知大多数具有小特征尺寸的周期结构对入射光的偏振状态非常敏感。作为本周的第二个用例，我们选择了一个场景，在这个场景中，我们分析了二元光栅的偏振依赖性,并对结构进行了优化，使其在任意偏振角入射光下均能表现良好。 M/x>51<  
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这个用例演示了一个具有稍微变化的填充因子的倾斜光栅的鲁棒性优化。 [."[pY  
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