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i"eUacBz/- 内容简介 y7[D9ZvZ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 RRGo$ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 gmG
M[c \ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 1:2t4} Q
a(>$. h 讯技科技股份有限公司 {.vU;
4`(b(DL] 目录 M'Ec:p=X" Preface 1 SJ/($3GkBd 内容简介 2 3LT[?C]H$ 目录 i ANuIPF4NxP 1 引言 1 E+>$@STv# 2 光学薄膜基础 2 fTn 2.1 一般规则 2 *AEN 2.2 正交入射规则 3 xWNB/{F 2.3 斜入射规则 6 FT0HU<." 1 2.4 精确计算 7 R*m=V{iu` 2.5 相干性 8 zT;F4_p3G- 2.6 参考文献 10 p[kEFE,% 3 Essential Macleod的快速预览 10 g=8}G$su{% 4 Essential Macleod的特点 32 $w,&h:.p 4.1 容量和局限性 33 d9'gH#f? 4.2 程序在哪里? 33 6 w"-& 4.3 数据文件 35 Qfx:}zk{ 4.4 设计规则 35 mGf@J6wGz 4.5 材料数据库和资料库 37 XJ\j0 4.5.1材料损失 38 gQXB=ywF 4.5.1材料数据库和导入材料 39 9NX/OctFa' 4.5.2 材料库 41 2(5HPRQ 4.5.3导出材料数据 43 } v#Tm 4.6 常用单位 43 sA(
e 4.7 插值和外推法 46 Tyc`U& 4.8 材料数据的平滑 50 $@H]0<3, 4.9 更多光学常数模型 54 Ni"M.O);t 4.10 文档的一般编辑规则 55 6rBXC <Z 4.11 撤销和重做 56 |&O7F;/_ 4.12 设计文档 57 3`V#ImV> 4.10.1 公式 58 <$#;J>{WV 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 }Xn5M&>? 4.10.3 沉积密度 59 FH"u9ygF 4.10.4 平行和楔形介质 60 irg%n 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 zkFx2(Hq-f 4.10.4 性能 61 '"#W!p 4.10.5 保存设计和性能 64 dd $}FlT 4.10.6 默认设计 64 xPuuG{Sm 4.11 图表 64 =D 1%-ym 4.11.1 合并曲线图 67 Sb9O#$89 4.11.2 自适应绘制 68 l]pHj4`uv 4.11.3 动态绘图 68 )0RznFJ+X 4.11.4 3D绘图 69 ^U[c:Rz 4.12 导入和导出 73 eiiI Wr_7 4.12.1 剪贴板 73 !KYX\HRW 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
Fo$kD( 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 VeLuL:4I 4.13 背景 77 xy/B<.M1 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 -+#QZ7b 4.15 生成Rugate 84 bV'^0(Zv 4.16 参考文献 91 Gw\-e;, 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 6k|^Cs6~z 5.1 Jobs 92 Y|NL #F 5.2 创建一个新Job(工作) 93 @'
V=Vr 5.3 输入材料 94 @qszwQav$ 5.4 设计数据文件夹 95 TB!z:n 5.5 默认设计 95 X>0$zE@0 6 细化和合成 97 y":Y$v,P 6.1 优化介绍 97 GS!7HphR 6.2 细化 (Refinement) 98 n"p|tEK 6.3 合成 (Synthesis) 100 p2(U'x
c 6.4 目标和评价函数 101 .BaU}-5 6.4.1 目标输入 102 ,};UD
W 6.4.2 目标 103 aGUKpYF 6.4.3 特殊的评价函数 104 %Ls5:Z= 6.5 层锁定和连接 104 D^R= 6.6 细化技术 104 2YU-iipdOq 6.6.1 单纯形 105 1WArgR 6.6.1.1 单纯形参数 106 ]HpKDb0+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 mJj
[f8 6.6.2.1 Optimac参数 108 FCk4[qOp7 6.6.3 模拟退火算法 109 7q%<JZPY 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ]Wn^m+ 6.6.4 共轭梯度 111 Py&DnG'H 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 E{Gkq: 6.6.5 拟牛顿法 112 f&z@J,_= 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 +Wr"c 6.6.6 针合成 113 UUE:>[, 6.6.6.1 针合成参数 114 &p."`
C 6.6.7 差分进化 114 Myal3UF 6.6.8非局部细化 115 s>pOfXIx 6.6.8.1非局部细化参数 115 CG`s@5y>5 6.7 我应该使用哪种技术? 116 BA1|%:. 6.7.1 细化 116
PT`];C(he 6.7.2 合成 117 uQ} 0hs 6.8 参考文献 117 p "J^ 7 导纳图及其他工具 118 RB\0o,mw4 7.1 简介 118 ~v
/N G 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 /b44;U`v5- 7.2.1 四分之一波长规则 119 xK8n~.T(' 7.2.2 导纳图 120 j@j%)CCM 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 6m=FWw3y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 dBB;dN 7.5 斜入射导纳图 141 efK3{
7.6 对称周期 141 .e^AS~4pl 7.7 参考文献 142 M[;N6EJH 8 典型的镀膜实例 143 5WT^;J9V 8.1 单层抗反射薄膜 145 GzC=xXON 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 zF%'~S0{ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 DE0gd
ux8 8.4 W-膜层 148 w6B'& 8.5 V-膜层 149 ftL>oOz[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 X2Z
E9b 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 -T
s8y 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 (c'=jJX 8.9 四层抗反射薄膜 153 `u. /2]n 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 #[4Mw M3 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 fs43\m4=m 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ?8j#gYx2 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 nE~HcxE/ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 m]Sv>| 8.15十五层宽带抗反射膜 159 6I)1[tU 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ))pp{X2m 8.17 1/4波长堆栈 162 Z5oX "Yx 8.18 陷波滤波器 163 4f}:)M$5 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 <`'^rCWI? 8.20 褶皱 165 BQs~>}(V 8.21 消偏振分光器1 169 A3\%t@y 8.22 消偏振分光器2 171 L>,j*a_[ 8.23 消偏振立体分光器 172 4\#!Gv- 8.24 消偏振截止滤光片 173 :;wb{q$O 8.25 立体偏振分束器1 174 'CrBxaA]s 8.26 立方偏振分束器2 177 Kb<^Wdy4T 8.27 相位延迟器 178 ^kS44pr\Q 8.28 红外截止器 179 _n[4+S*v( 8.29 21层长波带通滤波器 180 #rE#lHo 8.30 49层长波带通滤波器 181 6X@]<R 8.31 55层短波带通滤波器 182 BFCF+hU^6R 8.32 47 红外截止器 183 r N"P
IH 8.33 宽带通滤波器 184 Uf:G,%OYi 8.34 诱导透射滤波器 186 vPVA^UPNV 8.35 诱导透射滤波器2 188 :sMc}k?9S 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 %
d%KH9u 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ?q68{!{bi 8.35 增益平坦滤波器 193 Qp~W|zi( 8.38 啁啾反射镜 1 196 mXX9Aa> 8.39 啁啾反射镜2 198 efK)6T^p 8.40 啁啾反射镜3 199 hhS]wM?B 8.41 带保护层的铝膜层 200 a ]PS` 8.42 增加铝反射率膜 201 ?z:Xdx\l 8.43 参考文献 202 rCwjy&SuU^ 9 多层膜 204 ^'g1? F$_ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 pB3dx#l 9.2 内部透过率 204 1I'ep\`"X 9.3 内部透射率数据 205 3$R^tY2UU 9.4 实例 206 wbC'SOM 9.5 实例2 210 q{rc[ s? 9.6 圆锥和带宽计算 212 UE3#(:xA 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 &"90pBGK 10 光学薄膜的颜色 216 C ?^si 10.1 导言 216 vFKt=o$ g 10.2 色彩 216 ?c vXuxCm 10.3 主波长和纯度 220 .ZK|%VGW 10.4 色相和纯度 221 ~}SOd<n)| 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 :QSCky*i 10.6 色差 226 C,+Sv- 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 aZe[Nos 10.8 颜色渲染指数 234 kUl:Yj=& 10.9 色差计算 235 -PHVM=: 10.10 参考文献 236 #>SvYP 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 nUZ+N)* 11.1 短脉冲 238 .K`^n\T
t 11.2 群速度 239 k)2L<Lmn 11.3 群速度色散 241 94=aVM\>> 11.4 啁啾(chirped) 245 J,8Wo6 11.5 光学薄膜—相变 245 S?Y,sl+A: 11.6 群延迟和延迟色散 246 }y-b<J?H 11.7 色度色散 246 l!B)1 11.8 色散补偿 249 [*-DtbEk 11.9 空间光线偏移 256 cVzOW|NVx 11.10 参考文献 258 G3j&8[ 12 公差与误差 260 [qHLo>HaL 12.1 蒙特卡罗模型 260 /<(d.6T[}: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 [l+1zt0w0 12.2.1 误差工具 267 #j_<iy 12.2.2 灵敏度工具 271 &^HqbLz 12.2.2.1 独立灵敏度 271 xD f<@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 pGZI697 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 0NY2Kw; 12.3 参考文献 276 VQ{.Ls2`Z 13 Runsheet 与Simulator 277 DR."C+ 13.1 原理介绍 277 NqsIMCl 13.2 截止滤光片设计 277 /4\!zPPj. 14 光学常数提取 289 ?i.]|#{Z 14.1 介绍 289 "z
`&xB 14.2 电介质薄膜 289 QR!8 n 14.3 n 和k 的提取工具 295 $K)9(DD 14.4 基底的参数提取 302 a0Y/,S*K 14.5 金属的参数提取 306 a@&^t( 1 14.6 不正确的模型 306 rYnjQr2a 14.7 参考文献 311 K-$gTV 15 反演工程 313 J%?'Q{ 15.1 随机性和系统性 313 >?b9Xh 15.2 常见的系统性问题 314 WJG& `PP 15.3 单层膜 314 #,dE) 15.4 多层膜 314 Pg3O )D9 15.5 含义 319 PvzB, 2": 15.6 反演工程实例 319 jk0Ja@8PK 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
e]\{ Ia 15.6.2 反演工程提取折射率 327 +L4_] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 _kR,R"lh 16.1 光学性质的热致偏移 329 hWGCYkuW 16.2 应力工具 335 QdM&M^ 16.3 均匀性误差 339 r5!I|E 16.3.1 圆锥工具 339 ?#F}mOVAa 16.3.2 波前问题 341 )v!>U<eprD 16.4 参考文献 343 NX?J 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 _v2K1 1 17.1 引言 345 qMAH~P0u 17.2 操作数 345 nw3CI&Y` 18 如何在Function中编写脚本 351 Z5/g\G[ 18.1 简介 351 pKrol]cth8 18.2 什么是脚本? 351 DkP%1Crdr 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Hu
.e@7 18.4 基础 352 em@\S 18.4.1 Classes(类别) 352 lx<]v^ 18.4.2 对象 352 $7{V+> 18.4.3 信息(Messages) 352 VWoxi$3v 18.4.4 属性 352 Ju$vuEO 18.4.5 方法 353 g;U f? 18.4.6 变量声明 353 {`0GAW)q 18.5 创建对象 354 pq`Bg`c 18.5.1 创建对象函数 355 ;C8'7 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 )-FQ_K% 18.5.3 丢弃对象 356 Z:|2PQ4 18.5.4 总结 356 7d0E9t;W 18.6 脚本中的表格 357 _
i )Z8# 18.6.1 方法1 357 W{\){fr6O 18.6.2 方法2 357 g)+45w*+5 18.7 2D Plots in Scripts 358 '|r('CIBN/ 18.8 3D Plots in Scripts 359 T,h,)|:I^ 18.9 注释 360 > m GO08X 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ?@
ei_<A{ 18.11 一个更高级的脚本 362 zT|]!', 18.12 <esc>键 364 h(hb?f@1: 18.13 包含文件 365 p< |