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Ro?4tGn 内容简介 [UFLL:_sC Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 |} .Y&1@U 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 [x,_0-_ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ']4sx_)S +vJ[k 2d 讯技科技股份有限公司 %6*xnB?
JCS$Tm6y<_ 目录 a o\+%s Preface 1 J[]YG+r 内容简介 2 8n1Sy7K!; 目录 i H|Q)Tp Lk 1 引言 1 e7 5*84 2 光学薄膜基础 2 mltN$b%G=d 2.1 一般规则 2 .:$%3#N$(Y 2.2 正交入射规则 3 lvk(q\-f 2.3 斜入射规则 6 (x#4BI}L9) 2.4 精确计算 7 P ,5P6Y9 2.5 相干性 8 /GfC/)1_ 2.6 参考文献 10 *H:;pIWP 3 Essential Macleod的快速预览 10 0xZq?9a 4 Essential Macleod的特点 32 kS3wa3bT 4.1 容量和局限性 33 QT^W00h 4.2 程序在哪里? 33 W=]QTx,J 4.3 数据文件 35 Oh-HfJyi 4.4 设计规则 35 b pExYyt 4.5 材料数据库和资料库 37 ;o"}7'4*R% 4.5.1材料损失 38 ^!N _Nx/M 4.5.1材料数据库和导入材料 39 D.U)R7( 4.5.2 材料库 41 +7d%)t 4.5.3导出材料数据 43 LlX 7g_! 4.6 常用单位 43 lhJT& 4.7 插值和外推法 46 rEs,o3h?po 4.8 材料数据的平滑 50 Cc/?-0a2! 4.9 更多光学常数模型 54 rhwY5FD? 4.10 文档的一般编辑规则 55 !<@k\~9^D 4.11 撤销和重做 56 !x|OgvJ 4.12 设计文档 57 >\3=h8zw 4.10.1 公式 58 [ gx<7}[ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 /dhw~| 4.10.3 沉积密度 59 l`fjz-eE 4.10.4 平行和楔形介质 60 Y }Rx`%X 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Kh'/Ne? 4.10.4 性能 61 }3 RqaIY} 4.10.5 保存设计和性能 64 4LJUO5(y@ 4.10.6 默认设计 64 q-X)tH_+w@ 4.11 图表 64 lLyMm8E%pZ 4.11.1 合并曲线图 67 jQC6N#L 4.11.2 自适应绘制 68 ZGe+w]( 4.11.3 动态绘图 68 Cddw\|'3 4.11.4 3D绘图 69 Cf
J@|Rh 4.12 导入和导出 73 [:TOU^ 4.12.1 剪贴板 73 buG0#: 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Vb|DNl@ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =H3 JRRS 4.13 背景 77 F=$2Gz
'RT 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 bu,Z' 4.15 生成Rugate 84 nW!rM($q 4.16 参考文献 91 &ZClv"6 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |:L<Ko 5.1 Jobs 92 TY5<hPU= 5.2 创建一个新Job(工作) 93 %}x/fq 5.3 输入材料 94 wQlK[F]!> 5.4 设计数据文件夹 95 7V%}U5 5.5 默认设计 95 w*u HB;? 6 细化和合成 97 [%
KBc} 6.1 优化介绍 97 b~y1'|}g 6.2 细化 (Refinement) 98 &5)Kg%r 6.3 合成 (Synthesis) 100 7Ha
+@ 6.4 目标和评价函数 101 W5<1@ 6.4.1 目标输入 102
9 k)?- 6.4.2 目标 103 CJ%bBL'. 6.4.3 特殊的评价函数 104 71mdU6Kq 6.5 层锁定和连接 104 -r_z,h| 6.6 细化技术 104 ~^w;`~L 6.6.1 单纯形 105 O}*[@uv/ 6.6.1.1 单纯形参数 106 VSc;}LH 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 "=MRzSke3 6.6.2.1 Optimac参数 108 .3Jggp 6.6.3 模拟退火算法 109 Z; r}Gm 6.6.3.1 模拟退火参数 109 xoA\^AA 6.6.4 共轭梯度 111 yOxJx7uD 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 O\q|b#q}/ 6.6.5 拟牛顿法 112 V+W,#5 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 X0*
y8" 6.6.6 针合成 113 e(@ YBQ/Z 6.6.6.1 针合成参数 114 XuVbi=pN.2 6.6.7 差分进化 114 bT@3fuL4 6.6.8非局部细化 115 s,\!@[N 6.6.8.1非局部细化参数 115 dUk^DI,:l 6.7 我应该使用哪种技术? 116 aqK<}jy 6.7.1 细化 116 =.#*MYB.l 6.7.2 合成 117 w3a`G| 6.8 参考文献 117 jt@k<#h~ 7 导纳图及其他工具 118 J'sVT{@GS 7.1 简介 118 .\7R/cP}{A 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 _1VtVfiZ{ 7.2.1 四分之一波长规则 119 D[x0sly 7.2.2 导纳图 120 JVD#wwic 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 & ;ie+/B 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Z f4Xt
Yn 7.5 斜入射导纳图 141 O{y2tz3 7.6 对称周期 141 <VS\z(K 7.7 参考文献 142 MW=2GhD= 8 典型的镀膜实例 143 4(B{-cK 8.1 单层抗反射薄膜 145 jFZJ #'CNS 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Y? =+A4v 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 FZ
DC? 8.4 W-膜层 148 ~vy_~|6s 8.5 V-膜层 149 hR
Y*WL 8.6 V-膜层高折射基底 150 3ybEQp9 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 P PZxH}J. 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 4E}]> 8.9 四层抗反射薄膜 153 B8NOPbT 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 yk5-@qo 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 iqig~fjK~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 sa36=:5x- 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 0%7c?3# 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 E)|fKds
8.15十五层宽带抗反射膜 159 _fz-fG 1 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 c!AGKc 8.17 1/4波长堆栈 162 US 9cuah1/ 8.18 陷波滤波器 163 |d?0ZA:z 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 i9[=x(-@ 8.20 褶皱 165 |_{-hNiz0 8.21 消偏振分光器1 169 g!(j.xe 8.22 消偏振分光器2 171 |tC!`.^\ 8.23 消偏振立体分光器 172 BaIH7JLZ8 8.24 消偏振截止滤光片 173 f'Dl*d 8.25 立体偏振分束器1 174 Ouc=4'$- 8.26 立方偏振分束器2 177 ;>{BK, 8.27 相位延迟器 178 !run3ip`Z 8.28 红外截止器 179 |Tuk9d4] 8.29 21层长波带通滤波器 180 %,Xs[[?i 8.30 49层长波带通滤波器 181 m{gx\a.5 8.31 55层短波带通滤波器 182 'z0@|a 8.32 47 红外截止器 183 y)X1!3~( 8.33 宽带通滤波器 184 xw(KSPN 8.34 诱导透射滤波器 186 X!V@jo9? 8.35 诱导透射滤波器2 188 ]fg?)z-Z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 RR>Q$K 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 c&z@HEzV7 8.35 增益平坦滤波器 193 %|bqL3)a_ 8.38 啁啾反射镜 1 196 |f;u5r!^= 8.39 啁啾反射镜2 198 7Rqjf6kX`O 8.40 啁啾反射镜3 199 jXB<"bw 8.41 带保护层的铝膜层 200 A6YkoYgC 8.42 增加铝反射率膜 201 )<-\ F%&b 8.43 参考文献 202 D6@c& 9 多层膜 204 NitWIj[U; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 L l\y2oJ 9.2 内部透过率 204 G]X72R?g 9.3 内部透射率数据 205 fT9$0:eO 9.4 实例 206 vzA)pB~; 9.5 实例2 210 A
q;]al 9.6 圆锥和带宽计算 212 gF,9Kv~ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 #9uNJla 10 光学薄膜的颜色 216 BR*,E~% 10.1 导言 216 . S4Xw2MS 10.2 色彩 216 m?VA 1 10.3 主波长和纯度 220 & F\HR 10.4 色相和纯度 221 =Bu>}$BD 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
$x# 0m 10.6 色差 226 o5)lTVQ~~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 8`l bKV 10.8 颜色渲染指数 234 (+lwt 10.9 色差计算 235 E9JxntX 10.10 参考文献 236 RGvfy/T 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 O
N..B}J 11.1 短脉冲 238 77?/e^K\S 11.2 群速度 239 P0,@#M& 11.3 群速度色散 241 Ib3n%AG 11.4 啁啾(chirped) 245 1\K%^<QY 11.5 光学薄膜—相变 245 PoTJ4z 11.6 群延迟和延迟色散 246 6V)P4ao 11.7 色度色散 246 <WhdQKFf- 11.8 色散补偿 249 Hy}oSy26 11.9 空间光线偏移 256 5nC#<EE 11.10 参考文献 258 5'=\$Ob 12 公差与误差 260 =wbgZr^2 12.1 蒙特卡罗模型 260 uL| Wuq 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 91'i7&~xdG 12.2.1 误差工具 267 X}x"+#\<@ 12.2.2 灵敏度工具 271 G+&ug`0]5 12.2.2.1 独立灵敏度 271 }Fs;sfH 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ;Qe-y|> 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 &/o4R:i 12.3 参考文献 276 8[@aX;I 13 Runsheet 与Simulator 277 3[`/rg, 13.1 原理介绍 277 W6STjtT3P 13.2 截止滤光片设计 277 >G`Uc&= 14 光学常数提取 289 IqEE.XhaK 14.1 介绍 289 UqHk2h- 14.2 电介质薄膜 289 v;_m1UpuW 14.3 n 和k 的提取工具 295 pK/r{/>r 14.4 基底的参数提取 302 R.nAD{>h* 14.5 金属的参数提取 306 <!@*2/Q]J] 14.6 不正确的模型 306 8x":7 yV& 14.7 参考文献 311 lRb|GS.h/ 15 反演工程 313 :De@_m 15.1 随机性和系统性 313 ob= ]( 15.2 常见的系统性问题 314 J)7m::%I 15.3 单层膜 314 ]/31@RT 15.4 多层膜 314 rBY)rUDd4 15.5 含义 319 |AD"}8 15.6 反演工程实例 319 <K6gzi0fl 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 (.r9bl 15.6.2 反演工程提取折射率 327 w4I&SLm-b 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 \_GG6 16.1 光学性质的热致偏移 329 EL/~c*a/ 16.2 应力工具 335 ?xkw~3Yfi 16.3 均匀性误差 339 2H\}N^;f 16.3.1 圆锥工具 339 QlxzWd3=q 16.3.2 波前问题 341 YF)uAJ Ak 16.4 参考文献 343 ~bC-0^/
8| 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 4th*=ku 17.1 引言 345 K14FY2" 17.2 操作数 345 G#uD CF,O 18 如何在Function中编写脚本 351 'BUix!k0< 18.1 简介 351 UYLCzv~W 18.2 什么是脚本? 351 }o9fpo| 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 R_JB`HFy= 18.4 基础 352 $G UCVxs 18.4.1 Classes(类别) 352 2lb HUK 18.4.2 对象 352 Vv|%;5( 18.4.3 信息(Messages) 352 oh^/)2W 18.4.4 属性 352 GvB;o^Wd 18.4.5 方法 353 x`3F?[#l 18.4.6 变量声明 353 O%Hc%EfG 18.5 创建对象 354 #3~ #`& 18.5.1 创建对象函数 355 r$Gz 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ^Kbq.4 18.5.3 丢弃对象 356 s:O8d L
/ 18.5.4 总结 356 ?:$aX@r 18.6 脚本中的表格 357 $V/Hr/0 18.6.1 方法1 357 e9\eh? bPU 18.6.2 方法2 357 EOj.Jrs~ 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;xXD2{q 18.8 3D Plots in Scripts 359 UR{OrNg* 18.9 注释 360 _n~[wb5J 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 *#y9 Pve 18.11 一个更高级的脚本 362 D*_Z"q_B 18.12 <esc>键 364 t>KvR!+`g 18.13 包含文件 365 $*\GZ$y> 18.14 脚本被优化调用 366 z JBcz, 18.15 脚本中的对话框 368 JLz.lk*. 18.15.1 介绍 368 L\cbY6b
18.15.2 消息框-MsgBox 368 6&,{"N0T 18.15.3 输入框函数 370 {9c_T!c 18.15.4 自定义对话框 371 ##QKXSD 18.15.5 对话框编辑器 371 t3l-] 18.15.6 控制对话框 377 E*"-U!?)l2 18.15.7 更高级的对话框 380 ;t xW\iy%Z 18.16 Types语句 384 8V?*Bz-4` 18.17 打开文件 385 ABIQi[A 18.18 Bags 387 Y2!P!u+Q 18.13 进一步研究 388 `Q1;Y 19 vStack 389 V\m51H1mqo 19.1 vStack基本原理 389 [G<SAWFg7 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ZUd*[\F~! 19.3 五棱镜 393 IW>\\&pJ 19.4 光束距离 396 uS|f|)U& 19.5 误差 399 =XhxD<kI 19.6 二向分色棱镜 399 S-7ryHH*0 19.7 偏振泄漏 404 Ly~s84k_po 19.8 波前误差—相位 405 .L=C7 w1 19.9 其它计算参数 405 {P7 I<^, 20 报表生成器 406 @xkI?vK6 20.1 入门 406 P3_&( 20.2 指令(Instructions) 406 3E$h
W 20.3 页面布局指令 406 .a_xQ]eQ 20.4 常见的参数图和三维图 407 p5V.O20 20.5 表格中的常见参数 408 ] <y3;T\~ 20.6 迭代指令 408 *7`amF- 20.7 报表模版 408 3bK=Q3N 20.8 开始设计一个报表模版 409 w:|YOeP 21 一个新的project 413 VthM`~3 21.1 创建一个新Job 414 i}_d&.DbF 21.2 默认设计 415 UNhM:!A 21.3 薄膜设计 416 KkPr08 21.4 误差的灵敏度计算 420 +rOfQ'lQ 21.5 显色指数计算 422 z#Cgd-^7.# 21.6 电场分布 424 xN>+!&3%w 后记 426 cHw-; 精装版镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系 J PmZ%]wA
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