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0U:X[2|) 内容简介 'IFA>}e7W Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 p(nO~I2E 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fj/L)i 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 E)`0(Z:E q*5L", 讯技科技股份有限公司 zA}JVB
M$Bb,s 目录 v\CBw" Preface 1 \ 4^zY' 内容简介 2 63J3NwFt 目录 i ID`Ot{ y 1 引言 1 h Ypj 2 光学薄膜基础 2 0|J9Btbp 2.1 一般规则 2 U;IGV~oT 2.2 正交入射规则 3 ~cyKPg6 2.3 斜入射规则 6 B8?9L8M} 2.4 精确计算 7 ju3@F8AI 2.5 相干性 8 SvQ|SKE': 2.6 参考文献 10 +H?g9v40 3 Essential Macleod的快速预览 10 Z,SV9
~M 4 Essential Macleod的特点 32 !.^x^OK%y 4.1 容量和局限性 33 uD?RL~M 4.2 程序在哪里? 33 2wnk~URj 4.3 数据文件 35 #d3_7rI0V 4.4 设计规则 35 QH4m7M@ni 4.5 材料数据库和资料库 37 *0Z6H-Do, 4.5.1材料损失 38 0Ze&GK'Hf 4.5.1材料数据库和导入材料 39 _>]/. w2= 4.5.2 材料库 41 )Ute 4.5.3导出材料数据 43 wr:W}Z@pL 4.6 常用单位 43 '3U,UD5EG 4.7 插值和外推法 46 !/tV}.* 4.8 材料数据的平滑 50 qoH:_o8ClO 4.9 更多光学常数模型 54 aMGh$\Pg 4.10 文档的一般编辑规则 55 G7|d$!% 4.11 撤销和重做 56 ,/GFD[SQ 4.12 设计文档 57 \m}a%/ 4.10.1 公式 58 );AtFP0Y 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =OtW!vx#R. 4.10.3 沉积密度 59 Jk`Jv; 4.10.4 平行和楔形介质 60 1%vE 7a>{ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 /Dd x[P5p= 4.10.4 性能 61 9eq)WI/ 4.10.5 保存设计和性能 64 ,mvFeo;@f 4.10.6 默认设计 64 E;4B!"Q8 4.11 图表 64 N0}[&rE 8 4.11.1 合并曲线图 67 h lc!}{$%8 4.11.2 自适应绘制 68 X_nbNql 4.11.3 动态绘图 68 R!7--]Wcg 4.11.4 3D绘图 69 ,1B4FAR& 4.12 导入和导出 73 :UH*Wft1 4.12.1 剪贴板 73 dc4XX5Z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 {+cx} ` 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ;`c:Law4 4.13 背景 77 PPrvVGP
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 w5s&Ws 4.15 生成Rugate 84 sx;/xIU| 4.16 参考文献 91 *oIIcE4g7 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 m(:R (K(je 5.1 Jobs 92 eYoc(bG(+ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ZVJ6 {DS/ 5.3 输入材料 94 CdCY#$Z 5.4 设计数据文件夹 95 Gs|a$^V|o 5.5 默认设计 95 Gw-{`<CxE 6 细化和合成 97 5xnEkg4q4 6.1 优化介绍 97 kSol%C 6.2 细化 (Refinement) 98 ? eI)m 6.3 合成 (Synthesis) 100 u81F^72U 6.4 目标和评价函数 101 y]obO|AH 6.4.1 目标输入 102 (QqeMG,Y 6.4.2 目标 103 ]
s 2ec 6.4.3 特殊的评价函数 104 oNl-!W 6.5 层锁定和连接 104 @>~S$nw/ 6.6 细化技术 104 WuF\{bUh 6.6.1 单纯形 105 g(s}R ? 6.6.1.1 单纯形参数 106 [:e>FXV 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Wt!;Y,1s 6.6.2.1 Optimac参数 108 A>F&b1 6.6.3 模拟退火算法 109 PIFZ '6gn 6.6.3.1 模拟退火参数 109 H&F2[ j$T 6.6.4 共轭梯度 111 +kxk z"fP 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 X=6L-^o) 6.6.5 拟牛顿法 112 Sjwwc6_c 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 <?8cVLW}O 6.6.6 针合成 113 C'l\4ij)7 6.6.6.1 针合成参数 114 0L"uU3 6.6.7 差分进化 114 gGA5xkA 6.6.8非局部细化 115 ;YQ6X> 6.6.8.1非局部细化参数 115 wV$V X 6.7 我应该使用哪种技术? 116 23p.g5hJi 6.7.1 细化 116 b+ZaZ\-y
| 6.7.2 合成 117 3)&rj 7 6.8 参考文献 117 rc%*g3ryLG 7 导纳图及其他工具 118 B}p.fE 7.1 简介 118 r[kHVT8 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Sqmjf@o$> 7.2.1 四分之一波长规则 119 [tt_>O 7.2.2 导纳图 120 DX3jE p2 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 MfLus40;n 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 EOqV5$+ 7.5 斜入射导纳图 141 ^H<VH 7.6 对称周期 141 GLV`IkU % 7.7 参考文献 142 [czWUD 8 典型的镀膜实例 143 7A<}JaE!, 8.1 单层抗反射薄膜 145 Z,XivU& 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ov!L8
9`[u 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 /dX,]OFm 8.4 W-膜层 148 J[K>)@I/ 8.5 V-膜层 149 l>HB 0o 8.6 V-膜层高折射基底 150 aM8z_j!!u 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 T[0CD'|E 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <_bGV 8.9 四层抗反射薄膜 153 }zeKf/?' 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 .J5or 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 i~HS"n 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 o+<hI 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 c1f`?i}. 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 D{[i_K 8.15十五层宽带抗反射膜 159 _1$+S0G; 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 }LZz"b<aw 8.17 1/4波长堆栈 162 Z>@\!$Mc 8.18 陷波滤波器 163 N *n?hN 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 5M3)7 8.20 褶皱 165 *nUa0Zg4q6 8.21 消偏振分光器1 169 _8z 8.22 消偏振分光器2 171 hJ Jo+NNN 8.23 消偏振立体分光器 172 ux7g%Q^" 8.24 消偏振截止滤光片 173 R*O6Z"h 8.25 立体偏振分束器1 174 <jVk}gi)Jp 8.26 立方偏振分束器2 177 o`ODz[04 8.27 相位延迟器 178 z]i/hU 8.28 红外截止器 179 -f(<2i 8.29 21层长波带通滤波器 180 jin?;v 8.30 49层长波带通滤波器 181 MP 8s} 8.31 55层短波带通滤波器 182 V3\}]5 8.32 47 红外截止器 183 =1F F2#zS 8.33 宽带通滤波器 184 q]*:RI?wGT 8.34 诱导透射滤波器 186 ><;.vP 8.35 诱导透射滤波器2 188 N%?8Bm~dP 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 j%*<W> O 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 RveMz$Yy 8.35 增益平坦滤波器 193 Tj=g[)+K 8.38 啁啾反射镜 1 196 @/?$ ZX/e[ 8.39 啁啾反射镜2 198 TUd=qnu 8.40 啁啾反射镜3 199 *icxK 8.41 带保护层的铝膜层 200 fbW#6:Y 8.42 增加铝反射率膜 201 #+P)X_i` 8.43 参考文献 202 JvLa@E) 9 多层膜 204 K:sC6|wG 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 &nF7CCF 9.2 内部透过率 204 +wr
5& 9.3 内部透射率数据 205 z#|tl/aP9 9.4 实例 206 /E6Tt 9.5 实例2 210 8,(5Q 9.6 圆锥和带宽计算 212 ?Wp{tB9N0 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 4,R1}.?BzJ 10 光学薄膜的颜色 216 ^S`c-N 10.1 导言 216 C[(Exe 10.2 色彩 216 v~HfA)#JK 10.3 主波长和纯度 220 K<tkNWasQ 10.4 色相和纯度 221 ,t>/_pI+= 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 E|^~R}z) 10.6 色差 226 I#hzU8Cc 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 l.i&.;f 10.8 颜色渲染指数 234 rB%acTCz=[ 10.9 色差计算 235 LaiUf_W #X 10.10 参考文献 236 w-MnJ(r 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Ndx ]5 11.1 短脉冲 238 Nb;Yti@Y. 11.2 群速度 239 c=HL
6v< 11.3 群速度色散 241 )<jT;cT!& 11.4 啁啾(chirped) 245 Ow]c,F}^ 11.5 光学薄膜—相变 245 Z$5@r2d) 11.6 群延迟和延迟色散 246 (@?PN+68| 11.7 色度色散 246 dmD':1 11.8 色散补偿 249 5gbJTh<JU 11.9 空间光线偏移 256 R|AGN*. 11.10 参考文献 258 e[8p /hId 12 公差与误差 260 6*2z^P9FRj 12.1 蒙特卡罗模型 260 ve /Q6j{ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 'rdg 12.2.1 误差工具 267 `ja**re 12.2.2 灵敏度工具 271 kST 12.2.2.1 独立灵敏度 271 1)M>vdrP 12.2.2.2 灵敏度分布 275 }3!.e 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 2}Q)&;u 12.3 参考文献 276 &sQtS 13 Runsheet 与Simulator 277 e&u HU8k* 13.1 原理介绍 277 k^.9;FmQ 13.2 截止滤光片设计 277 u]ZCYJ> 14 光学常数提取 289 l$Y7CIH 14.1 介绍 289 `7|v 14.2 电介质薄膜 289 KyAQzN 9 14.3 n 和k 的提取工具 295 ZUMzWK5Th 14.4 基底的参数提取 302 L+s,,k 14.5 金属的参数提取 306 X Jy]d/ 14.6 不正确的模型 306 LE!3'^Zq 14.7 参考文献 311 8<uKzb(O: 15 反演工程 313 G?d28p',. 15.1 随机性和系统性 313 B;':Eaa@ 15.2 常见的系统性问题 314 ZuF-$]oL& 15.3 单层膜 314 X(#G6KeZFZ 15.4 多层膜 314 W%.Kr-[?`o 15.5 含义 319 '
7>V4\" 15.6 反演工程实例 319 mY3x
(#I 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 C;;dCsiV5 15.6.2 反演工程提取折射率 327 avk0pY(n 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 l23#"gGb 16.1 光学性质的热致偏移 329 X4Eq/q" 16.2 应力工具 335 uV *&a~ 16.3 均匀性误差 339 O&irgc! 16.3.1 圆锥工具 339 w.Ft-RXA W 16.3.2 波前问题 341 H5=-b@( 16.4 参考文献 343 <$HP"f+<S5 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 W04-D 17.1 引言 345 Pd\S{ Y~wk 17.2 操作数 345 m^Btr 18 如何在Function中编写脚本 351 eEQ
4L\d 18.1 简介 351 z}N=Oe 18.2 什么是脚本? 351 -mG3#88* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 !B(6 18.4 基础 352 4RNB\D 18.4.1 Classes(类别) 352 Jpws1~ 18.4.2 对象 352 2rf-pdOvG 18.4.3 信息(Messages) 352 }0|,*BkI
m 18.4.4 属性 352 zD-.bHo>. 18.4.5 方法 353 +dk}$w[g 18.4.6 变量声明 353 Z@ *^4Ve 18.5 创建对象 354 6<R!`N 6 18.5.1 创建对象函数 355 {KE858 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 =\?KC)F*e 18.5.3 丢弃对象 356 /WB^h6qg 18.5.4 总结 356 &aaXw?/zr 18.6 脚本中的表格 357 J(VJMS;_ 18.6.1 方法1 357 ,Rk;*MEMJ 18.6.2 方法2 357 Sim\+SL{# 18.7 2D Plots in Scripts 358 O!kBp(?] 18.8 3D Plots in Scripts 359 Qhsh{muw( 18.9 注释 360 ?x"<0k1g 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 *obBo6!zM 18.11 一个更高级的脚本 362 diGPTV-?$ 18.12 <esc>键 364 6fQNF22E 18.13 包含文件 365 \;}F6g 18.14 脚本被优化调用 366 [GX5jD# 18.15 脚本中的对话框 368 vu;pILN 18.15.1 介绍 368 a8FC#kfq 18.15.2 消息框-MsgBox 368 <|~X,g;f 18.15.3 输入框函数 370 :aR&t#<"E 18.15.4 自定义对话框 371 hdp;/Qz& 18.15.5 对话框编辑器 371 5vxJ|Hse@ 18.15.6 控制对话框 377 f3]Z22Yq 18.15.7 更高级的对话框 380 |[;9$Vn 18.16 Types语句 384 dQQh$*IL?{ 18.17 打开文件 385 p@y?xZS 18.18 Bags 387 (hS
j4Cp 18.13 进一步研究 388 R~iJ5@[ 19 vStack 389 VChNDHiH 19.1 vStack基本原理 389 u1xCn\ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 N2vSJ\u 19.3 五棱镜 393 F?? })YX 19.4 光束距离 396 De@GNN"- 19.5 误差 399 /\V-1 7- 19.6 二向分色棱镜 399 K>Dn#"{Y
19.7 偏振泄漏 404 #!l\.:h% 19.8 波前误差—相位 405 8<z+hWX=4 19.9 其它计算参数 405 U6e 0{n 20 报表生成器 406 ) RS*MEgA 20.1 入门 406 '.r_6X$7Jt 20.2 指令(Instructions) 406 }9<pLk 20.3 页面布局指令 406 9}p?h1NrY 20.4 常见的参数图和三维图 407 d`q<!qFZh 20.5 表格中的常见参数 408 lM~ 3yBy 20.6 迭代指令 408 c"Ddw'?e 20.7 报表模版 408 $'}rBPA/ 20.8 开始设计一个报表模版 409 ;fw}<M!6 21 一个新的project 413 tAO,s ZW 21.1 创建一个新Job 414 xr}3vJ7 21.2 默认设计 415 O%L]*vIr 21.3 薄膜设计 416 %wWJVq}jx 21.4 误差的灵敏度计算 420 mD<- <]SYp 21.5 显色指数计算 422 vg[A/$gLM 21.6 电场分布 424 Jd?N5. 后记 426 <fg~+{PA& 精装版镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系 m r"b/oM{
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