摘要
uz>s2I}B g.DgJX&i 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
G8QJM0VpS UbC)X iO 
m f4@g05 %E1~I\ n:F 设计任务
}-zx4<4BH TUy*wp9 
V xjHB?) "^_p>C)T 光栅光学装置
K W04 @#VxjXW^ 
4$IPz7 +R2 偏振分析器
RF6(n8["MW vm8QKPy 
jf/;`b r gQ?>%t ] 优化
px 4Z WN m,r>6m 
@sfV hWG bXJ, L$q 参数运行
E'MMhl o H@G7oK 
%*|XN*i XC M_9|YjwS 关于光栅周期选择的考虑
ik &lo M_ 3XL0Pm 
A ba6/ 7acAU{Rr 偏振相关衍射特性
lJ7k4ua\ OE4 2{?) 
JG/sKOlA H7l[5 ib 偏振相关衍射特性
Yn J=&21 'J!P:.=a> 
s Gdt) yD(/y"P,9 偏振相关衍射特性
OmU.9PDg- OY[N%wr! 
ryc scE4, .Z/"L@ 固定周期二维参数优化
/eIwv 31 $Q47>/CUc^ 
3*8#cSQ/6o 二维参数优化——设计#1
N.&)22<m9 :$P < e~z' 
YjHGdacs .Ta$@sP h} 二维参数优化——设计#2
zlSwKd ( ]&}?J:+?0E 
=q6yb@ D.? KgOZ 制造
公差分析
60`y= !?f tM@TT@.t~ 
4<lZ; M" xh imRi 变光栅周期
三维参数优化
U6M4}q(N] t$Qav>D 
`^_.E:f hKX-]+6 " 制造公差分析
>@rp]xx Dm4\Rl d{ 
*B3` #t z&-3H/ VirtualLab Fusion 技术
7&T1RB'> b, SY(Ce~g 
