摘要
(=EDqAZg F!*GrQms 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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光栅光学装置
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U V*Ruy- h:r?:C>n 固定周期二维参数优化
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Gn_DIFa 二维参数优化——设计#1
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w D r/T3 NRx I?v 二维参数优化——设计#2
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s. Ai _D 3}F>t{F Dk 制造
公差分析
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&ah%^Z4um %Uz\P|6PO 变光栅周期
三维参数优化
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FiUwy/,Z V wC ruj`$ 制造公差分析
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J ~3m7 fx[&"$X VirtualLab Fusion 技术
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