摘要
ig?]kZ :U r%.0 众所周知,
光栅,尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
YciZU =faV,o&{` -Ep-v4} t`F%$q 设计任务
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~bH\( 光栅光学装置
-sc@SoS ky!'.3yoI Cs*u{O 0D.YO<PU 偏振分析器
:UScbPG 9KAXc(- Q>sq:R+' DM>j@(uWF 优化
NEJ
Nu_Z (_-zm)F7 wl9E a<vCAFQ 参数运行
3!*J;Y oq0G@ L#NPt4Sz+ :L\@+}{(c 关于光栅周期选择的考虑
e%UFY-2 ~G"6^C:x !JrVh$K 2abWIw4 偏振相关衍射特性
y;Dw%m q$H'u[KQ06 le8n!Dk( eb+[=nmP 偏振相关衍射特性
L{\B9b2 [m('Y0fwO^ [>6:xGSe9X ~BZ A_w"`1 偏振相关衍射特性
ux-Fvwoh [qid4S~r,& $Cf_RFH0 >eJk)qM 固定周期二维参数优化
O{%y `|m 4}?Yp e- 'VO^H68 二维参数优化——设计#1
h^[K= J -
d>)
n]_8!NU lfWxdi 二维参数优化——设计#2
^#"!uCq]gM ~W`upx)j *4+;Ey %iF<
px?Vc 制造
公差分析
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三维参数优化
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G~^Pkl3%T mJWl#3 3pq&TYQU n; !t?jnf. VirtualLab Fusion 技术
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