摘要
XL2iK) A [(D^`K<b 众所周知，
光栅，尤其是那些特征尺寸与
波长相当的光栅，具有
偏振相关的
光学特性。这使得为任意偏振设计具有高
衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
`xm4?6 nApkK1? 
|-!
yKB A3cW8 OClz 设计任务
J[7|Ul1
< _6/q. 
j+-+<h/( H6! <y- 光栅光学装置
C?h`i ^ >2 +i1\], 7 
0*umf .R X GhV?
tA 偏振分析器
l;'#!hC) Rd|xw%R\mb 
>~)IsQ*% kI lK"= 优化
[ta3sEPjs tM&;b?b J[ 
*M^t@ h l @w]z"UCwV@ 参数运行
#Emz9qTsce !v`C-1}70 
5J 0Sc ZUiI nO 关于光栅周期选择的考虑
2B<0|EGtzw 3Hg}G#]WS 
xO nW~Z klqN9d9k
偏振相关衍射特性
^,;AM(E 5lp }; 
C6P(86? v@KP~kp 偏振相关衍射特性
SF#Rc>v {6uh Ub
7HkQ|~zGT WI+ 5x 偏振相关衍射特性
#FL\9RXy k=o>DaEh( 
Er]lObfQo X8Ld\vZYn 固定周期二维参数优化
sHwn,4|iY {#Vck\& 
vxrRkOU1 二维参数优化——设计#1
F Jj # LtDQgel" 
!"e~HZmr Jfkdiyy" 二维参数优化——设计#2
5HAI K c |>2IgTh1a 
Y3J;Kk#AH QxjX:O 制造
公差分析
ag
\d4y 6 3>I 
01P ~K|s QV@NA@;XZ 变光栅周期
三维参数优化
i$Sq.NU |y*-)t 
xO< $xx E*F)jP,yo 制造公差分析
DIU9Le sivd@7r\Fa 
d'yA" b] az=(6PX VirtualLab Fusion 技术
e~ wJO~ Z_F}Y2-w9 
