摘要 Ex4)R2c*
J6g:.jsK! ;!pJ%p0Sc 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
)X'ln 3(=QY) 设计任务 MbyV_A`r_ &6\f;T4 ]DLs'W;) 连接建模技术:蛾眼结构 ant#bDb/ ;BW9SqlN V7$-4%NL 光栅阶数分析器 ].3@ Dk iB3C.wd- k5eTfaxl 元件内场分析器:FMM {lN G:o
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{|R +|ow Ql?>,FZ 结构内的场 *M+ CA_I( #gRtCoew gutf[Ksu Ct386j>< 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 $QJ,V~ CC XOxd Ls{]ohP 初始解决方案 #1 的参数优化 #E@X'jwu K#a_7/!v/ vKTCS 最终设计 #1 的性能分析 GFgh{'| [_zoJ 初始解决方案 #2 的参数优化 )/uCdSDIc yr34&M(a iK9#{1BpML 最终设计 #2 的性能分析 <*5` TE0J