摘要 L<k(stx~
LK+67Y{25 |eI!wgQx 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
bF'Jm*f )F+wk"`+6 设计任务 r;_*.|AH KAg-M# \+j:d9? 连接建模技术:蛾眼结构 mO2u9?N =[,EFkU?B M>d^.n 光栅阶数分析器 zl<D"eP [<WoXS1LX tMH2 元件内场分析器:FMM vj9'5]!~q
_*ar\A` @MP ;/o+ 参数运行 gg/2R?O] A1n4R k)9+;bKQQ 参数优化 Vsr"W@k_
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& 模拟结果 >XxHp P9W?sPnC5 通过计算器进行参考测量 5mX^{V&^
1zgM$p E24j(> 结构内的场 k$GtzjN Ibg~.>.u{ "}vxHN# 3L36
2 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 jq%}=-%KE ~OWpk)Vq md `=2l 初始解决方案 #1 的参数优化 f@2F! "7eL& Ehxu`>@N 最终设计 #1 的性能分析 %aV~RB# izzX$O[=: 初始解决方案 #2 的参数优化 Y]7 6y>|e Nt\0) &b 51tZ:-1! 最终设计 #2 的性能分析 aW}d=y[