摘要 sBW3{uK X0i3 _RVa 8 njuDl 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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'p` 设计任务 wh6& >m#r K8Zt:yP P[i\e7mR 连接建模技术：蛾眼结构 &?<AwtNN `BT^a
=5 fP Q|e"? 光栅阶数分析器 lo:~a J8 f%Ke8'& 1 9I:%$U3 元件内场分析器：FMM L|67f4 ]Z@k|Nw rg)h 5G 参数运行 OlG R<X Uf2:gLrF y^s1t2]%
参数优化 Y mDn+VIg qi\n] I ]P3 [.$z 模拟结果 fValSQc!U vInFo.e[4 通过计算器进行参考测量 l,bZG3,6 el*9 Ih ua#K>su r. 结构内的场 P(_(w
9 qS]G&l6QF ,cQA * ;6 #s^s_8#&e 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 =] KIkS 3 `o-*Tr cjY@Ot*i$ 初始解决方案 #1 的参数优化 r$DZkMue 9[{sEg=C$e uBRw>"c_*8 最终设计 #1 的性能分析 Q \WXi x]' H jTqX 初始解决方案 #2 的参数优化 t aV|YP$ gz\j(' ~-D IUawdB5CB 最终设计 #2 的性能分析 LDX y}hm)
