摘要 Ag-(5: *#,7d"6W5 3dg1DR; 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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dm\F 设计任务 *& BQT Z6 XWBA^|-N t% d Z-Ym 连接建模技术：蛾眼结构 ^pp\bVh2Q] ;AG8C#_ hNC&T`.-~B 光栅阶数分析器 Ouk ^O}W6 `+]Qz =} W: z6Koc0 元件内场分析器：FMM j` {?OYD T^zXt? /:cd\A} 参数运行 Yj&F;_~ tHU 2/V:R g_;\iqxL 参数优化 /!0={G |Tv#4st tR# Ojk vX 模拟结果 aS>u,=C D, k6$` 通过计算器进行参考测量 ?>VLTp8]
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#n 5 结构内的场 {B~QQMEow zrvF]|1UP 0Fq}
N &j;wCvE4+ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 |NlO7aQ>2H [|v][Hwv C2!|OQ9A2 初始解决方案 #1 的参数优化 :: ` HQ@^ 8C40%q.. )705V|v 最终设计 #1 的性能分析 X;$+,&M" a,,ex i 初始解决方案 #2 的参数优化 /l3V3 B7 "69s) ~ fuW\bo3 最终设计 #2 的性能分析 poE0{HOU
