摘要 C>|.0:[%
RJD{l+ -Cyo2wk 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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v*xW. N**)8( 设计任务 V/#Ra 7"!`<5o^ 8&U
Mmbgy 连接建模技术:蛾眼结构 K 4GuOl 254V)(t^QM %*Ex2we& 光栅阶数分析器 @_kF&~ lk>\6o: N>(w+h+ 元件内场分析器:FMM G QYR`;>
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M6H 参数运行 y"yo\IDW wp@_4Iq1$ Il
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结构内的场 SOI=~BGd) Bf*>q*%B{ f- (i% <<!fA><W 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 eyKxnBz '^TeV= S L
5k^| 初始解决方案 #1 的参数优化 sQ`G'<! PcC@}3 0Agse) 最终设计 #1 的性能分析 1dLc/,| %[|^7 初始解决方案 #2 的参数优化 &IN%2c ]JkEf?;. E[t0b5h 最终设计 #2 的性能分析 opa}z-7>^