摘要 < qab\M0W iLJ @oM;2 uYWgNNxdmo 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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AgD 设计任务 BfCM\ij !ht2*8$lQ 9d^m 7}2 连接建模技术：蛾眼结构 ykJ+LS{+ 6M`gy|"(~ rm ;U' &{ 光栅阶数分析器 D!OY <? [zm@hxym ?;htK_E\* 元件内场分析器：FMM N?-ZvE\C m,t{D,
2 IDJ2epW*; 参数运行 +ctU7
rVy AaxQBTB <uS/8MP{ 参数优化 pZeO dh W|Sab $h RCYv 2=m>Q 模拟结果 HfhI9f_ x s@iY'1 1 通过计算器进行参考测量 Zzg zeT+bv `Mt|+iT$p D@9 +yu=S 结构内的场 n.a2%,|v %i/|}K ;` Xm?N Y$"m*0 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 $z* "@ 4G' E< ab j!!s>7IZ 初始解决方案 #1 的参数优化 e(a,nZF. w0Nm.=I- B0gD4MX/ 最终设计 #1 的性能分析 _ V1:' T8 &v*4A Z[' 初始解决方案 #2 的参数优化 6lg]5d2CD HyWR&0J ;SjNZi)4d 最终设计 #2 的性能分析 csLbzDg
