摘要 z( *]'Y a (P^e)< vP-3 j 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
EqVsxwa ]v<d0" 2 设计任务 2B5A!? ~> u mqLKf=x! `:V}1ioX5 连接建模技术：蛾眼结构 r(p wOO x id3)6} s bs[=LW4 光栅阶数分析器 ;5-R =e(KA 9e0C3+)CY fFjL p l 元件内场分析器：FMM };i&a%I| 0S%tsXt+ sg+ZQDF{x 参数运行 j
l}!T[5 ?e"Wu+q~L +SAk:3.#CV 参数优化 ~?2rG E w:ORmR .p FLVbkW-G. 模拟结果 MV%
:ES? lb -S0plw 通过计算器进行参考测量 20$F$YYuk @^'G&%j NG!>7$@RV 结构内的场 J' I1, 5( _)OA$ Y')O>C 0~ (y-x01H 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 :D<: N*9i V"w`! $&ex\_W 初始解决方案 #1 的参数优化
#;5[('&[ XRClBTKF c-[Q,c 最终设计 #1 的性能分析 y jGGqz$ 3'?h;`v\Lo 初始解决方案 #2 的参数优化 9@$tiDV NvQY7C , k4z; 最终设计 #2 的性能分析 )?!vJb"
