摘要 #dfW1@m
%ej"ZeM T+ t-0k 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
T?ZMmUE 5,((JxX$ 设计任务 _/=ZkI5 0Yjy PYf`a`dH 连接建模技术:蛾眼结构 d#tUG~jc UK<"|2^sT KE3v3g< 光栅阶数分析器 ^,5.vfES >lW*%{|b$^ T:&+#0< 元件内场分析器:FMM rN~`4mZ
awK'XFk ~<U3KB 参数运行 h5gXYmk o%5bg( /YbL{G
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mC7Y * v8IL[g6" 模拟结果 }a1UOScO0 W Q&<QVK 通过计算器进行参考测量 O?WaMfS[1
l!=WqIZ xVyUUzXs 结构内的场 %E\%nTV yBj)#m5! B# fzMaC z)~!G~J] 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 3$cF)5V f \PONaRK|[z u3:Q t2^S 初始解决方案 #1 的参数优化 ^!qmlx* >nDnb4 'C `RcNqPY#S 最终设计 #1 的性能分析 $hQg+nY. H=#Jg;_w 初始解决方案 #2 的参数优化 &^_(xgJL 03o3[g? y^\#bpq&\ 最终设计 #2 的性能分析 Ol9fwd