摘要 B[ f{Ys
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?d% 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
u.gh04{5 o} #nf$v( 设计任务 ?4
`K8 ~6'6 v 8 F}Bc +i#] 连接建模技术：蛾眼结构 qYFol# =% { rWu`QT _%s _w) 光栅阶数分析器 *@Z/L26s;= 2#'[\*2|N O0xL;@rBe 元件内场分析器：FMM 'f`~"@ OwP 9=9}; :^SpKe(7 参数运行 G'(
%8\ E{r_CR+8 VEd#LSh 参数优化 ~ (B\X?v =JyYU*G 4 _QtqQ~f 模拟结果 1){1 HK M[_~7~4 通过计算器进行参考测量 vi0% jsI Q8M& nf OgrUP 结构内的场 uL b-
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^ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 i{VjSWq F|V_i C+ % _1~z[Dv 初始解决方案 #1 的参数优化 Wuo sr3P 3WJ> T1we O6;>]/` 最终设计 #1 的性能分析 bm1ngI1oI 7F`QN18>( 初始解决方案 #2 的参数优化 _\"P<+! 5 d(A( O6OP{ sb 最终设计 #2 的性能分析 hC]c
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