摘要 c9|I4=_K tfsh!)u? uFWvtL?;_ 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
[1mIdwS 4sI3(z)9H 设计任务 ~ yd% ~| L+u OBW_ WVinP(#nfM 连接建模技术：蛾眼结构 I>\} }! >d' EInSF -}N Ab^d 光栅阶数分析器 ?F9hDLX
KzIt o%$<LaQG5 元件内场分析器：FMM ]S*E P&h/IBA_ JE /l#Q! 参数运行 jt/l,=9YK X
E!2Q7Q9 p?_'|#tz 参数优化 38<~ R zV6AuUIt LciL/? 模拟结果 {jrZ?e-q Hxj'38Y 通过计算器进行参考测量 7= L:m7T 2lX[hFa5 w /hh
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