摘要 0MwG}|RC 8vz_~p9%j MILIu;[{#r 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
1Pud,!\%q LVPt*S= / 设计任务 qR [}EX&3 * 23m- xT_fr,P 连接建模技术：蛾眼结构 O, bfdc[g4 Q3B'-B Ze '_q: vjX 光栅阶数分析器 uznoyj6g J{nyo1A pr0@sri@ 元件内场分析器：FMM h]J& A
K^!e-Xi6 j33P~H~ 参数运行 AJ;u&&c4C\ pm'@2dT TE aD-mY 3 参数优化 HI"!n$p xG *lV|<7> /RA1d<~$q 模拟结果 ;k yL>mV{ `nd#< w> 通过计算器进行参考测量 s${T*)S@G O84v*=u A b qg]DO$* 结构内的场 nLFx/5sL G+#| )V ]YisZE4s egx J 3. 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 #a7Amh\nT %!ER @&1f& E6k?+i
w 初始解决方案 #1 的参数优化 Se^/VVm y (c|5C Q V7B=+(xK 最终设计 #1 的性能分析 [#hl}q(P# APHtJ oS 初始解决方案 #2 的参数优化 AhbT/ *! r\GGb o@<6TlZM 最终设计 #2 的性能分析 1^x2WlUm4
