摘要 u%J04vG"D }F d4;
] )~ {T 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
d {cd+An *;Q IAd 设计任务 $TON`+lB 9 )1 8 &@tD/Jw3 连接建模技术：蛾眼结构 V
_(L/6 3;@/`Z_\lt G_GV 光栅阶数分析器 @6eM{3E. t$NK{Mw5_ &b[ .bf 元件内场分析器：FMM &vf9Gp+MK AJ_''%$I3: Arg604V3 参数运行 +gZg7]!Z !^{0vFWE W(h].'N 参数优化
UF3g]>* B$R"Ntp fqoI(/RWP 模拟结果 C` s \J*~AT~5 q 通过计算器进行参考测量 "gD]K= v6Vie o= oy8L{8? 结构内的场 T5*
t~`bfU [D !-~]5 [$PW {d8| K`7(*!HEb 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 7jss3^.wA |m x)W} ZY_aE 初始解决方案 #1 的参数优化 ; DQ{6( `/ W6, ] ,t"?~Hl". 最终设计 #1 的性能分析 q"Ct =d ,"MR A 初始解决方案 #2 的参数优化 }e/#dMEi Un [ olp >3{#S: 最终设计 #2 的性能分析 B |\pzWD %
