摘要 fS%B/h= 8sq0 BH ]UZP dw1D 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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R 设计任务 - 1ci.4F& oMNBK/X _ cq/@ng*o 连接建模技术：蛾眼结构 dx.J v/Mb A>*#Nw5L CU/Id`"tW 光栅阶数分析器 %d
/]8uO iZ( Jw Y \8k4v#wH 元件内场分析器：FMM I~-sBMm(w gU?M/i2 gGs"i]c 参数运行 }x_:v!G $4]4G=o _OK!/T*FBt 参数优化
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通过计算器进行参考测量 #6#%y~N =$_ kkVQ$ "a<:fEsSE 结构内的场 .AF\[IQ M0]J `fL@ mlz|KI~\F; NkAu<>
G _ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 =
jTC+0u -8S Z}J hS^8/]E={ 初始解决方案 #1 的参数优化 zGP@!R`_ |#B)`r8 bc2S?u{ 最终设计 #1 的性能分析 X MLl>w2z NH'QMjL) 初始解决方案 #2 的参数优化 >ffQ264g=i c7R6.T 0u I=8j 最终设计 #2 的性能分析 S AKIFNE
