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!.,wg'\P Dm) B? H" 元件内部场分析器：FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此，使用傅立叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算周期性结构（透射或反射、电介质或金属）内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化：正向模式、反向模式或两者同时显示。
pNb2t/8%% ^<OYW|q?\r 元件内部场分析仪：FMM G^ W0!u,@ :>fT=$i@ }CBQd H&g; 元件内部场分析器：FMM是
光栅光学装置的独有功能，可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
8<C*D".T$ c9 -$^yno 评估模式的选择 %i9 e<.Ot k)n
b<JW|r v]V N'H s? 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场，可以仅评估正向或反向传播模式，或者评估两者的总和。
BI `)P+K2 $CE dJ+0z 评价区域的选择 bXnUz?1!d \s*M5oN]] 
T o["o!(;z Xk4wU$1F 元件内部场分析器：FMM可以输出整个元件（包括基板）内部的场，或者只输出一个堆栈或基块（基板）中的场。
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juOStTq< 不同光栅结构的场分布 @-)?uYw:r #-'`Yb w 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子：
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5sk&> 5I2,za&e Gw<D'b) ! 光栅结构的采样 <==uK>pET TWp w/osW 虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项，但
系统中定义的光栅表面必须正确采样（例如，分解点和过渡点的层数足够）。
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4{u Q}ea @Ul3J )= m 分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。
:VT%d{Vp_ 44ty,M 3 光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛，即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如，如果层分解过于粗糙，则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。
72s qt5C] .]vb\NBK7 4,sE{%vb 输出数据的采样：一维周期光栅（Lamellar） 1VgGF^cYR MIZdk'.U E#KZZ lbx 对于1D周期性（片状）光栅，分析仪使用对话框“采样”部分中指定的
参数生成2D横截面
图像。
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^c] \ h =A 输出数据的采样：二维周期光栅 hU$o^ICH uBRlvNJ 当分析的光栅设置为2D Periodic时，Field Inside Component Analyzer：FMM将通过结构生成一系列二元截面，z方向的采样参数决定执行的切割次数。
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