摘要 #=G[ ~m\
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%ifq4'?Z &{Zt(%\ ' 元件内部场分析器：FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此，使用傅立叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算周期性结构（透射或反射、电介质或金属）内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化：正向模式、反向模式或两者同时显示。
YtzB/ q8I $&@L[ [xl 元件内部场分析仪：FMM sMq*X^z
)? B4yC"55 }CiB+ 元件内部场分析器：FMM是
光栅光学装置的独有功能，可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
/WlpRf% UUf-G0/P 评估模式的选择 @o[C
Xrz VZ`L-P$AF OKo39 A\fu 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场，可以仅评估正向或反向传播模式，或者评估两者的总和。
yj6o533 o 3=reN6Q 评价区域的选择 >>**n9\q bF#* cH 
| Vtd !9 |]d A`e&y 元件内部场分析器：FMM可以输出整个元件（包括基板）内部的场，或者只输出一个堆栈或基块（基板）中的场。
dc .o K4G} RGw=!0V 不同光栅结构的场分布 ~i4h.ZLj 6[dLj9 G% 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子：
FJ| 6R( T_ P,2FH2Eyj 5ayM}u%\~ 光栅结构的采样 7>Af"1$g 1<y|, 虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项，但
系统中定义的光栅表面必须正确采样（例如，分解点和过渡点的层数足够）。
yA8e"$ x-Kq=LFy. 
+J^-B}v z%Xz*uu(| 分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。
t8Sblgq 1k e H 1[ 光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛，即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如，如果层分解过于粗糙，则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。
IA\CBwiLj ,X[l C\1a qP"+SVq C 输出数据的采样：一维周期光栅（Lamellar） nhfHY-l} 7 gD"]uj< woctnT%"Q/ 对于1D周期性（片状）光栅，分析仪使用对话框“采样”部分中指定的
参数生成2D横截面
图像。
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h'VOljB 输出数据的采样：二维周期光栅 x<m{B@3T xQ[~ c1 当分析的光栅设置为2D Periodic时，Field Inside Component Analyzer：FMM将通过结构生成一系列二元截面，z方向的采样参数决定执行的切割次数。
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