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    [技术]TRCX:掺杂过程分析 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-25
    在 LTPS 制造过程中,使用自对准掩模通过离子注入来金属化有源层。当通过 TRCX 计算电容时,应用与实际工艺相同的原理工程师可以根据真实的 3D 结构提取准确的电容,并分析有源层离子注入前后的电位分布,如下图所示。 kkZ}&OXS;  
    ;N.dzH2yA  
    `r1j>F7Xb  
    (a)
    <b"^\]l  
    FIB
    * ;sz/.  
    (b) 掺杂前后对比
     
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    离线谭健
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-12-25
    RCX:掺杂过程分析