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摘要 Te<}*qvD \<y#R~7s 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 w[IE S&b*rA02zp 4:dH] /7t>TYip! 1. 建模任务 "hzB9*"t O4^8jK} +KvU$9Ad> d+Ek%_ 2. 结果 K%F,='P} n1VaLD @EnuJe .7.b:Dn0 y6[If cN a6WI170^1
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