摘要
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/S[?{Q A 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
w{r8kH x)$2nonM a5 bPEJ=I 1. 建模任务
E>"8/ e,"FnW 2. 干涉条纹的变化
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k$ 3. VirtualLab Fusion概览
5VZjDg? %4/xH9 #2N_/J(U 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
*E7R(#,yC 设置输入场
d#8e~ - Basic Source Models [教程视频]
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RM 定义组件的位置和方向
#Z0-8<\ - Basic Source Models [教程视频]
bJ6p,]g 正确设置通道以进行非顺序跟踪
tpGCrn2w> - Basic Source Models [使用案例]
]=Pu\eE 使用
参数运行检查影响/变化
TRy^hr8~ - Usage of the Parameter Run Document [用例]
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h7*O.Opm= "&<~UiI 5. VirtualLab Fusion 技术
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