摘要
N|mJg[j@7 7Ym(n8 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
%<"}y$J *4S-z&,.c UH?
p]4Nz 1. 建模任务
eujK4s 8'Z:ydj^, 2. 干涉条纹的变化
W#'c5:m
4 %ft &Q
X
T[zj<&_ 3. VirtualLab Fusion概览
-`b8T0?oK :XG;ru%i R!(ZMRMn 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
8j5<6Cv_
设置输入场
oR .cSGh - Basic Source Models [教程视频]
~1
~Xfo> 定义组件的位置和方向
Z(u5$<up - Basic Source Models [教程视频]
7a4o1;l 正确设置通道以进行非顺序跟踪
5O<>mCF - Basic Source Models [使用案例]
N~^yL <O 使用
参数运行检查影响/变化
^Hrn ] - Usage of the Parameter Run Document [用例]
&<y2q/U} 31WC=ur5
gU&%J4O j}1zdA 5. VirtualLab Fusion 技术
D&G"BZx| P 1XK*GZ