摘要
eUS 5>9Y|UU 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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.JlIP 9Pd*z>s zr76_~B1u 1. 建模任务
\EbbkN:D S\y%4}j 2. 干涉条纹的变化
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PE}gp 3. VirtualLab Fusion概览
OEdJc\n_R PIcrA2ll iq?#rb P#I 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
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设置输入场
.AV)'j#6P - Basic Source Models [教程视频]
0ZAj=u@O 定义组件的位置和方向
`,wu}F85 - Basic Source Models [教程视频]
Kr L>FI 正确设置通道以进行非顺序跟踪
1|,Pq9 - Basic Source Models [使用案例]
"a1O01n 使用
参数运行检查影响/变化
N#N0Q0W= - Usage of the Parameter Run Document [用例]
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SM[{BH< IL7`0cN( 5. VirtualLab Fusion 技术
B68H&h]D#' (7lBID4