摘要
pY^pTWs( mDb-=[W5 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
R'S c
$cRcap =jJ H^Y2 1. 建模任务
NY4!TOp (3e;"'k 2. 干涉条纹的变化
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3. VirtualLab Fusion概览
\\Y,?x_0T zt7_r`#z Bj;\mUsk 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
Vh 2Bz 设置输入场
/yLzDCKn - Basic Source Models [教程视频]
\9046An 定义组件的位置和方向
}BA9Ka#% - Basic Source Models [教程视频]
*
eA{[ 正确设置通道以进行非顺序跟踪
W\HLal - Basic Source Models [使用案例]
A{4Dzm ! 使用
参数运行检查影响/变化
~RcNZ\2y - Usage of the Parameter Run Document [用例]
MB1sQReOO C>AcK#-x,{ A|2 <A
! WLE%d]'%M 5. VirtualLab Fusion 技术
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