摘要
.dygp"* Kzm_AHA) 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
=#u2Rx%V U!'lc}5 :Hd<S 1. 建模任务
+-Dd*yD6< lz*PNT{E 2. 干涉条纹的变化
Cjh&$aq -`RJk( pqs)ueu
3. VirtualLab Fusion概览
d.+vjMI GW W@8GNI pta%%8": 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
U%4g:s 设置输入场
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Z4Q/` - Basic Source Models [教程视频]
izKk@{Md 定义组件的位置和方向
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N - Basic Source Models [教程视频]
ZBXGuf 正确设置通道以进行非顺序跟踪
r:q#l~;^ - Basic Source Models [使用案例]
9j 8t<5s 使用
参数运行检查影响/变化
k@~-|\ooG - Usage of the Parameter Run Document [用例]
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\ $i1A470C lVFX@I =pI 5. VirtualLab Fusion 技术
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