摘要
y
_ap T<P QyL]-zNg 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
\EU3i;BNT% `:7r5}(^ k-3;3Mq 1. 建模任务
9^g8VlQdT X%s5D&gr 2. 干涉条纹的变化
):hz/vZ C ibfuR
\?v&JmEU 3. VirtualLab Fusion概览
$/
"+t.ir3 3HXeBW ^_v94!a9 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
{J1rjrPo 设置输入场
9\?&u_ U" - Basic Source Models [教程视频]
,d/$!Yf 定义组件的位置和方向
?;](;n#lU - Basic Source Models [教程视频]
T_2'=7 正确设置通道以进行非顺序跟踪
_YR#J%xa - Basic Source Models [使用案例]
6{i0i9Tb 使用
参数运行检查影响/变化
2X' H^t]7 - Usage of the Parameter Run Document [用例]
bE%
Hm! :T$}@& -
W (TTsnnx >.P*lT 5. VirtualLab Fusion 技术
VB |k 2u_=i$xW