YBQ{/"v%| 内容简介
dA$qzQ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
I->4Q&3 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
"K#zY~>L 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
m]/sR3yF vp`s< ;CA 讯技科技股份有限公司
9l}G{u9a 2015年9月3日
lM[FT=M 目录
AI2@VvB Preface 1
Z1oUAzpj4 内容简介 2
8J8@0 目录 i
=Y-mc#{8 1 引言 1
jU=n\o=? 2 光学薄膜基础 2
r*t\F&D 2.1 一般规则 2
Y$ '6p."= 2.2 正交入射规则 3
%Su, 2.3 斜入射规则 6
,\D*=5 2.4 精确计算 7
Vnnl~|Xx 2.5 相干性 8
^MUvd 2.6 参考文献 10
;g_<i_*x# 3 Essential Macleod的快速预览 10
01vKx)f 4 Essential Macleod的特点 32
'%[r 9w 4.1 容量和局限性 33
g5~wdhpb 4.2 程序在哪里? 33
WXCZ
}l 4.3 数据文件 35
VU\{<j{ 4.4 设计规则 35
Ll0"<G2t 4.5 材料数据库和
资料库 37
1g_Dkv|D 4.5.1材料损失 38
#\gx.2W7 4.5.1材料数据库和导入材料 39
gtRs|| 4.5.2 材料库 41
;7N~d TBQ 4.5.3导出材料数据 43
0R}F(tjw 4.6 常用单位 43
0 LIRi%N5* 4.7 插值和外推法 46
qruv^#_l 4.8 材料数据的平滑 50
I.u[9CI7HU 4.9 更多光学常数模型 54
)H-y 4.10 文档的一般编辑规则 55
&``nYI g/ 4.11 撤销和重做 56
?m dGMf) 4.12 设计文档 57
@Jr@
fF} 4.10.1 公式 58
f"0?_cG{% 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
3Jw}MFFV 4.10.3 沉积密度 59
c_FnJ_+ +f 4.10.4 平行和楔形介质 60
v?`DP 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
*&~wl(+O= 4.10.4 性能 61
'+E\-X 4.10.5 保存设计和性能 64
03a<Cd/S 4.10.6 默认设计 64
Gw?$.@L'I6 4.11 图表 64
s?_H<u 4.11.1 合并曲线图 67
z;6,, 4.11.2 自适应绘制 68
d @>1m:p 4.11.3 动态绘图 68
Kp%:\s,lO 4.11.4 3D绘图 69
)P
#MUC 4.12 导入和导出 73
v}BXH4 &Y 4.12.1 剪贴板 73
C
vWt 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
s)j3+@:# 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
W4n(6esO 4.13 背景 77
M 3c 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
J|:Zs1.<d 4.15 生成Rugate 84
< <]uniZ\ 4.16 参考文献 91
y\c-I!6>26 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
F]6$4o[ 5.1 Jobs 92
}+i~JK 5.2 创建一个新Job(工作) 93
9\KMU@Ne 5.3 输入材料 94
~oE@y6Q 5.4 设计数据文件夹 95
Pm!/#PtX 5.5 默认设计 95
oO][X 6 细化和合成 97
;'4HR+E" 6.1 优化介绍 97
C!6d`| 6.2 细化 (Refinement) 98
CyD)=e{ 6.3 合成 (Synthesis) 100
<F<jx"/) 6.4 目标和评价函数 101
Kzrt%DA 6.4.1 目标输入 102
Rg~F[j$N 6.4.2 目标 103
rxQ&N[r2 6.4.3 特殊的评价函数 104
##|]el%Y 6.5 层锁定和连接 104
f'%Pkk 6.6 细化技术 104
dI)
9@UL 6.6.1 单纯形 105
AQIBg9y7 6.6.1.1 单纯形
参数 106
y sFp` 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
1 JB~G7 6.6.2.1 Optimac参数 108
pW1(1M)[%Z 6.6.3 模拟退火算法 109
(V9 ; 6.6.3.1
模拟退火参数 109
DBk]2W|i 6.6.4 共轭梯度 111
J3,m{%EtNM 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
5;q{9wvqO 6.6.5 拟牛顿法 112
g0>Q* x 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
g~]?6;uu 6.6.6 针合成 113
[LDY;k~5+ 6.6.6.1 针合成参数 114
^Rc*X'Iz(! 6.6.7 差分进化 114
'rDai[ 6.6.8非局部细化 115
D2MWrX 6.6.8.1非局部细化参数 115
}-H)jN^ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
f&NXWo/ 6.7.1 细化 116
W+u-M>Cj6 6.7.2 合成 117
.vWwYG 6.8 参考文献 117
MyaJhA6c 7 导纳图及其他工具 118
1AAOg+Y@U" 7.1 简介 118
^b^}6L'Z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
eq,`T; 7.2.1 四分之一
波长规则 119
aKC,{}f$m 7.2.2 导纳图 120
%hCd*[Z}j 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
G*%:"qleT$ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
JUdQ Q 7.5 斜入射导纳图 141
@23~)uiZa 7.6 对称周期 141
5Sx.'o$ 7.7 参考文献 142
'e:(61_ 8 典型的镀膜实例 143
?3a:ntX h 8.1 单层抗反射薄膜 145
/a?qtRw 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
M*2
Nq=3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
SaSj9\o 8.4 W-膜层 148
/MZ^;XG 8.5 V-膜层 149
Q?/qQ}nNw 8.6 V-膜层高折射基底 150
"WZ | 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
&l?AC%a5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
M$U Zn 8.9 四层抗反射薄膜 153
a9y+FCA 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
tQ(4UHqa~ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
B/Z-Cpz] 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
IQeiT[TF 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
ppzQh1 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
6os{q`/Q]) 8.15十五层宽带抗反射膜 159
20cEE> 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
r1/9BTPKdJ 8.17 1/4波长堆栈 162
+0g L!r 8.18 陷波滤波器 163
?}"39n 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
T(
fcE 8.20 褶皱 165
M.\V/OX 8.21 消偏振分光器1 169
OTzuOP8 8.22 消偏振分光器2 171
3@\J#mR
8.23 消偏振立体分光器 172
R*DQLBWc 8.24 消偏振截止滤光片 173
D|$Fw5!^k6 8.25 立体偏振分束器1 174
.FC|~Z1T<F 8.26 立方偏振分束器2 177
XeX`h_ 8.27 相位延迟器 178
@7K(_Wd 8.28 红外截止器 179
|dhKeg_ 8.29 21层长波带通滤波器 180
p v]" 2'aQ 8.30 49层长波带通滤波器 181
kxmc2RH>nB 8.31 55层短波带通滤波器 182
`#"xgOSP> 8.32 47 红外截止器 183
u6SQq-)d 8.33 宽带通滤波器 184
'^M.;Giz 8.34 诱导透射滤波器 186
fwNj@fl_,e 8.35 诱导透射滤波器2 188
X}H?*'- 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
Q2[;H!" 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
vUhgM' 8.35 增益平坦滤波器 193
xJ9aFpTC 8.38 啁啾反射镜 1 196
Up5 |tx7 8.39 啁啾反射镜2 198
sO{TGk]* 8.40 啁啾反射镜3 199
}:57Ym)7w 8.41 带保护层的铝膜层 200
)3k?{1: 8.42 增加铝反射率膜 201
es<8"CcP 8.43 参考文献 202
MUSsanCA 9 多层膜 204
Z)md]Twt 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
J4u>77I 9.2 内部透过率 204
)Z)Gb~G 9.3 内部透射率数据 205
V!/9GeIF 9.4 实例 206
%77uc9} 9.5 实例2 210
a|#TnSk 9.6 圆锥和带宽计算 212
&f2:aT) 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
mM:%-I\$ 10 光学薄膜的颜色 216
-iL:D<!Cb_ 10.1 导言 216
)D ~ 5 10.2 色彩 216
w[C*w\A\M 10.3 主波长和纯度 220
3g3f87[ 10.4 色相和纯度 221
Bj<s!}i{[ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
EjMVlZC> 10.6 色差 226
:C2
@!W
z 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
iBI->xU[U 10.8 颜色渲染指数 234
UE/JV_/S; 10.9 色差计算 235
G"w
[>m 10.10 参考文献 236
O_]hbXV0 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
sUU[QP- 11.1 短脉冲 238
[+Fajo;0 11.2 群速度 239
d0-4KN2 11.3 群速度色散 241
tQas_K5 11.4 啁啾(chirped) 245
TD%&9$F 11.5 光学薄膜—相变 245
)/)[}wN;j 11.6 群延迟和延迟色散 246
Em !%3C1r 11.7 色度色散 246
p6V#!5Q 11.8 色散补偿 249
5z =}o/? 11.9 空间
光线偏移 256
OTl9MwW 11.10 参考文献 258
%-a;HGbZn 12 公差与误差 260
@T:J<, 12.1 蒙特卡罗模型 260
"YaT1`Kr 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
hz*T"HJ]t 12.2.1 误差工具 267
KIp^|
k7> 12.2.2 灵敏度工具 271
'v9M`` 12.2.2.1 独立灵敏度 271
h8X[*Wme 12.2.2.2 灵敏度分布 275
Q6D>(H#"0 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
&,yF{9$G 12.3 参考文献 276
-DK6(<:0 13 Runsheet 与Simulator 277
JJmW%%]i 13.1 原理介绍 277
}xBDyr63 13.2 截止滤光片设计 277
T*%rhnTv0 14 光学常数提取 289
TW!OE"B 14.1 介绍 289
Tgax ZW 14.2 电介质薄膜 289
H6{Bx2J1* 14.3 n 和k 的提取工具 295
bX$1PYX 14.4 基底的参数提取 302
?dbSm3 14.5 金属的参数提取 306
qS9<_if2 14.6 不正确的模型 306
7B=VH r 14.7 参考文献 311
ZuybjV1/f6 15 反演工程 313
0|.jIix; 15.1 随机性和
系统性 313
qajZ~oB{ 15.2 常见的系统性问题 314
vbn=ywz 15.3 单层膜 314
o$eCd{HuX 15.4 多层膜 314
2Z%n
"z68 15.5 含义 319
^lt2,x 15.6 反演工程实例 319
qZ'2M.; 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
lg8@^Pm$r; 15.6.2 反演工程提取折射率 327
:"MHmm=uU8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
AH :uG# 16.1 光学性质的热致偏移 329
"w%:5~u9 16.2 应力工具 335
kmX9)TMVO 16.3 均匀性误差 339
)obgEJ7Y`l 16.3.1 圆锥工具 339
&+&@;2 16.3.2 波前问题 341
w;yzgj:n&f 16.4 参考文献 343
$y&W: 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
f}"eN/T 17.1 引言 345
<g%A2lI 17.2 操作数 345
5!fOc]]Ow 18 如何在Function中编写脚本 351
=\|,hg)c 18.1 简介 351
u*):
D~A 18.2 什么是脚本? 351
qFwt^w 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
|T@SlNi] 18.4 基础 352
JRw,${W 18.4.1 Classes(类别) 352
{0w2K82 18.4.2 对象 352
:;.^r,QAI 18.4.3 信息(Messages) 352
)~)l^0X 18.4.4 属性 352
NIVR;gm 18.4.5 方法 353
r'j88)^ 18.4.6 变量声明 353
NS2vA>n8R 18.5 创建对象 354
,|s*g'u 18.5.1 创建对象函数 355
n0T|U 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
g i6s+2 18.5.3 丢弃对象 356
&>C+5`bg 18.5.4 总结 356
.Y{x!Q" 18.6 脚本中的表格 357
KD,3U/3 18.6.1 方法1 357
EW(bM^dk} 18.6.2 方法2 357
lYCvYe 18.7 2D Plots in Scripts 358
!#_2 ![ 18.8 3D Plots in Scripts 359
c0'ryS_Z9 18.9 注释 360
0t%]z! 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
j
:B/ FL 18.11 一个更高级的脚本 362
e)n ,Y 18.12 <esc>键 364
5RN!"YLI3 18.13 包含文件 365
n
5R9<A^ 18.14 脚本被
优化调用 366
-yBKA]"<I 18.15 脚本中的对话框 368
RW+u5Y 18.15.1 介绍 368
9Z!n!o7D 18.15.2 消息框-MsgBox 368
PXYLLX\3 18.15.3 输入框函数 370
tRJ5IX ##L 18.15.4 自定义对话框 371
H" `'d 18.15.5 对话框编辑器 371
0S$k;q 18.15.6 控制对话框 377
TT/H"Ri}Jp 18.15.7 更高级的对话框 380
Z! O4hA4 18.16 Types语句 384
'*mZ/O- 18.17 打开文件 385
/HLI9 18.18 Bags 387
*lvADW5e 18.13 进一步研究 388
uAeo&|& 19 vStack 389
&&9|;0< 19.1 vStack基本原理 389
wDh]vH[ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
,{HQKHg 19.3 五棱镜 393
p"p~Bx 19.4 光束距离 396
(cOe*>L; 19.5 误差 399
d<7b<f"~ 19.6 二向分色棱镜 399
P.XT1)qo* 19.7 偏振泄漏 404
@d0f +9d 19.8 波前误差—相位 405
63Zu5b"O/ 19.9 其它计算参数 405
)1 T2u 20 报表生成器 406
iVn4eLK^v 20.1 入门 406
&M}X$k I 20.2 指令(Instructions) 406
+Pb:<WT}% 20.3 页面布局指令 406
W :]2Tp 20.4 常见的参数图和三维图 407
HK/WO jr 20.5 表格中的常见参数 408
E+O{^C= 20.6 迭代指令 408
'c7nh{F 20.7 报表模版 408
aYaEy(m 20.8 开始设计一个报表模版 409
[[IMf-] 21 一个新的project 413
"a)6g0gw 21.1 创建一个新Job 414
iibG$?( 21.2 默认设计 415
hU""YP~y 21.3 薄膜设计 416
\t7yH]:>@ 21.4 误差的灵敏度计算 420
qX-ptsQ 21.5 显色指数计算 422
4n1g4c-
21.6 电场分布 424
b!@PS$BTxq 后记 426
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