.yF7{/ 内容简介
TlZ|E '_C Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
G?d28p',. 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
:U<`iJwY 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
"Gxf[6B Ydu=Jg5u7 讯技科技股份有限公司
` oYrW0Vm 2015年9月3日
mi3 yiR 目录
C(_xqn Preface 1
7{XI^I:n 内容简介 2
Y]nY.5irL 目录 i
o$YL\ <qp 1 引言 1
O- &>Dc 2 光学薄膜基础 2
?+b )=Z 2.1 一般规则 2
>+fet , 2.2 正交入射规则 3
:\48=> 2.3 斜入射规则 6
r/fLm8+ 2.4 精确计算 7
+B%ZB9 2.5 相干性 8
&}%3yrU 2.6 参考文献 10
xq.,7#3 3 Essential Macleod的快速预览 10
)}7rM6hv 4 Essential Macleod的特点 32
p}}o#a~V), 4.1 容量和局限性 33
kL,AY-Iu{@ 4.2 程序在哪里? 33
&B7X LO[ 4.3 数据文件 35
HkEfBQmh 4.4 设计规则 35
{cKKTDN 4.5 材料数据库和
资料库 37
TgVvp0F; 4.5.1材料损失 38
o|AV2FM) 4.5.1材料数据库和导入材料 39
$ T.c>13 4.5.2 材料库 41
$GYcZN& 4.5.3导出材料数据 43
N'!a{rF 4.6 常用单位 43
-}{c;pT 4.7 插值和外推法 46
_bn*B$ 4.8 材料数据的平滑 50
{(AYs*5 4.9 更多光学常数模型 54
u-At k-2M 4.10 文档的一般编辑规则 55
y}5H<ZcXA 4.11 撤销和重做 56
k 0z2)3L 4.12 设计文档 57
vVmoV0kGt 4.10.1 公式 58
r+;op_ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Edc< 8- 4.10.3 沉积密度 59
z'JtH^^Z 4.10.4 平行和楔形介质 60
^c!"*L0E 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
mHUQtGAVQ 4.10.4 性能 61
[&y{z-D> 4.10.5 保存设计和性能 64
]4yWcnf 4.10.6 默认设计 64
m49GCo k+ 4.11 图表 64
noC]&4b 4.11.1 合并曲线图 67
`[w:l[i 4.11.2 自适应绘制 68
)}1J.>5 4.11.3 动态绘图 68
G@ XKE17 4.11.4 3D绘图 69
U|={LU 4.12 导入和导出 73
34Q l7LQp[ 4.12.1 剪贴板 73
&[}bHX/ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
r:2G 11[ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
+HQX]t:Y
4.13 背景 77
(2Z-NVU# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
9H$#c_zrq 4.15 生成Rugate 84
Tf)qd\ 4.16 参考文献 91
x-,+skZs 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
)"2)r{7: 5.1 Jobs 92
0~Z>}( 5.2 创建一个新Job(工作) 93
kqYWa`eE 5.3 输入材料 94
Wqy|Y*$qT 5.4 设计数据文件夹 95
&xo,49`! 5.5 默认设计 95
!v;N@C3C 6 细化和合成 97
nxkbI:+t 6.1 优化介绍 97
K2<"O qp_W 6.2 细化 (Refinement) 98
1WRQjT=o 6.3 合成 (Synthesis) 100
W~z
2Q
so 6.4 目标和评价函数 101
'z8?_{$ 6.4.1 目标输入 102
{M96jjiInf 6.4.2 目标 103
~oy=2Q<Z 6.4.3 特殊的评价函数 104
lM~ 3yBy 6.5 层锁定和连接 104
P3UU~w+s 6.6 细化技术 104
1%68Pnqk 6.6.1 单纯形 105
:3J,t//c 6.6.1.1 单纯形
参数 106
I !=ew | 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
kAA1+rG 6.6.2.1 Optimac参数 108
=VFi}C/ 6.6.3 模拟退火算法 109
'hN_H}U 6.6.3.1
模拟退火参数 109
"`qmeZ$rg 6.6.4 共轭梯度 111
:jlKj} 4A 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
z{Z4{&M 6.6.5 拟牛顿法 112
7yM=$"'d 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
oJb${k<3 6.6.6 针合成 113
]Jz2[F"J 6.6.6.1 针合成参数 114
t%Sgw%f 6.6.7 差分进化 114
;c p*] 6.6.8非局部细化 115
/j46`F 6.6.8.1非局部细化参数 115
*;cvG?V 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Z"j #kaXA 6.7.1 细化 116
f?vbIc` 6.7.2 合成 117
/9T.]H~ 6.8 参考文献 117
'/8{Mx+ 7 导纳图及其他工具 118
])F*)U 7.1 简介 118
j5\z7 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
Od_xH 7.2.1 四分之一
波长规则 119
.aS`l~6 7.2.2 导纳图 120
;Z^\$v9? 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
)`
~"o*M 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
czNi)4x 7.5 斜入射导纳图 141
gQ90>P: 7.6 对称周期 141
4Z8FLA+T, 7.7 参考文献 142
1eHU!{<fqm 8 典型的镀膜实例 143
kjAARW 8.1 单层抗反射薄膜 145
Z~R7 G 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
S7pf
QF 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
FZL"[3 8.4 W-膜层 148
Wh).%K(t 8.5 V-膜层 149
B xAyjA6 8.6 V-膜层高折射基底 150
R!&9RvNw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
XZ%3PMq 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
3yGo{uW 8.9 四层抗反射薄膜 153
+;r1AR1)x 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
#aI(fQZe 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
+_E^E 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
75v7w 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
{Kh^)oYdd 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
^mH:8_=(. 8.15十五层宽带抗反射膜 159
^wass_8 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
"w7{,HP 8.17 1/4波长堆栈 162
-S\gDB bb 8.18 陷波滤波器 163
}%75Wety 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
\
-n&z;` 8.20 褶皱 165
?+)>JvWDz 8.21 消偏振分光器1 169
3+[; 8.22 消偏振分光器2 171
/(oxK>*F 8.23 消偏振立体分光器 172
%f)%FN.S 8.24 消偏振截止滤光片 173
GJs{t1
E 8.25 立体偏振分束器1 174
osM[Xv 8.26 立方偏振分束器2 177
Jb/VITqN4 8.27 相位延迟器 178
Z.}Z2K 8.28 红外截止器 179
u.yYE,9 8.29 21层长波带通滤波器 180
w{8O$4
w 8.30 49层长波带通滤波器 181
d+qeZGg^A 8.31 55层短波带通滤波器 182
B,V:Qs6" 8.32 47 红外截止器 183
o[I
s$j 8.33 宽带通滤波器 184
&s#O iF8 8.34 诱导透射滤波器 186
dzk1 !yy 8.35 诱导透射滤波器2 188
h
?_@nQ! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
QXI#gA
= 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
,_K y'B 8.35 增益平坦滤波器 193
w`GjQIA 8.38 啁啾反射镜 1 196
C5,\DdCX, 8.39 啁啾反射镜2 198
r\A|fiL 8.40 啁啾反射镜3 199
}!uwWBw` 8.41 带保护层的铝膜层 200
a#D \8; 8.42 增加铝反射率膜 201
%45*DT 8.43 参考文献 202
o,rK8x 9 多层膜 204
ZAJ~Tbm[f 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
RH9P$;.7 9.2 内部透过率 204
bg\9Lbjr 9.3 内部透射率数据 205
dvE~EZcS 9.4 实例 206
&( ZEs c 9.5 实例2 210
qWU59:d^{ 9.6 圆锥和带宽计算 212
M1z ?E@kz 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
:jy}V'bn$ 10 光学薄膜的颜色 216
(%j V[Q 10.1 导言 216
qXprD.; } 10.2 色彩 216
EG8%X "p 10.3 主波长和纯度 220
|Ed?s 10.4 色相和纯度 221
FM=XoMP q 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
wG&Z7C b 10.6 色差 226
|J"\~%8 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
e/uLBZ 10.8 颜色渲染指数 234
}ssP%c] 10.9 色差计算 235
!q~f;&rg 10.10 参考文献 236
s"`Oj5 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
lDL(,ZZS` 11.1 短脉冲 238
C1#f/o -> 11.2 群速度 239
J8B0H1 11.3 群速度色散 241
5g`J}@"k 11.4 啁啾(chirped) 245
e= XC$Jv 11.5 光学薄膜—相变 245
Y
.E.(\ 11.6 群延迟和延迟色散 246
tl
9` 11.7 色度色散 246
%+((F+[ 11.8 色散补偿 249
hWiHKR] 11.9 空间
光线偏移 256
>uo=0=9= 11.10 参考文献 258
usNq] 12 公差与误差 260
8M0<:p/ 12.1 蒙特卡罗模型 260
6>3zD)tG 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
(QdLz5\ 12.2.1 误差工具 267
.E9$j<SP- 12.2.2 灵敏度工具 271
x6Tpt^N} 12.2.2.1 独立灵敏度 271
g,G{%dGsk 12.2.2.2 灵敏度分布 275
BI<(]`FP;s 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
k$.l^H u 12.3 参考文献 276
4}Y? :R 13 Runsheet 与Simulator 277
*x)u9rO] 13.1 原理介绍 277
7:zoF],s 13.2 截止滤光片设计 277
e< G[!m 14 光学常数提取 289
k~2FlRoC^ 14.1 介绍 289
O))j 14.2 电介质薄膜 289
o{' JO3 14.3 n 和k 的提取工具 295
9&HaEAme 14.4 基底的参数提取 302
QO>)ug+ 14.5 金属的参数提取 306
t]{, 7.S 14.6 不正确的模型 306
5k
c?:U& 14.7 参考文献 311
[U$`nnp 15 反演工程 313
*l@T
9L[M' 15.1 随机性和
系统性 313
Z1h6Y>j 15.2 常见的系统性问题 314
[fJxbr" 15.3 单层膜 314
S/yBr` 15.4 多层膜 314
Y3ypca&P9 15.5 含义 319
1lsg|iVz 15.6 反演工程实例 319
.G}$jO} 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
-aDBdZ;y 15.6.2 反演工程提取折射率 327
!-7<x"avm 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
.B!L+M< [ 16.1 光学性质的热致偏移 329
u$
vLwJ| o 16.2 应力工具 335
#%]?e
N 16.3 均匀性误差 339
%+dRjG~TB 16.3.1 圆锥工具 339
FC4hvO(/m 16.3.2 波前问题 341
sDwE,f0h 16.4 参考文献 343
;`Sn66& 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
V.!z9AQ 17.1 引言 345
h2aO-y>K 17.2 操作数 345
}cIj1: 18 如何在Function中编写脚本 351
t&C0V|s79$ 18.1 简介 351
F3nPQw{; 18.2 什么是脚本? 351
-}5dZ; 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
(OG>=h8? 18.4 基础 352
ai)?RF 18.4.1 Classes(类别) 352
@ 3b- 18.4.2 对象 352
_z3^.QP 18.4.3 信息(Messages) 352
d 8z9_C- 18.4.4 属性 352
o6X<FE#8 18.4.5 方法 353
g:>dF# 18.4.6 变量声明 353
I^QB`%v5 18.5 创建对象 354
AVp"<Uv 18.5.1 创建对象函数 355
,27=i>> 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
aVn+@g<. 18.5.3 丢弃对象 356
=V^8RlBi 18.5.4 总结 356
)1&,khd/u 18.6 脚本中的表格 357
*%dWNvN4X 18.6.1 方法1 357
EkP(]F 18.6.2 方法2 357
1gH>B5` 18.7 2D Plots in Scripts 358
oX-h7;SD 18.8 3D Plots in Scripts 359
p|=0EWo4U 18.9 注释 360
-PHqD 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
3]/Y=A 18.11 一个更高级的脚本 362
ld'Aaxl& 18.12 <esc>键 364
Va\?"dH>M 18.13 包含文件 365
28o!>* 18.14 脚本被
优化调用 366
RTYhgq 18.15 脚本中的对话框 368
4!<