[USXNe/
内容简介
E+E5`-V Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
Kz$Ijj 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
Plm3vk= 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
-BEPpwb<g n[ba 讯技科技股份有限公司
$PrzJc 2015年9月3日
QXXcJc~ 目录
FAPgXmFzx Preface 1
;R2(Gb 内容简介 2
I]I5!\\ &[ 目录 i
HL 88 1 引言 1
v]!|\] 2 光学薄膜基础 2
WY*}|R2R 2.1 一般规则 2
_r^&.'q 2.2 正交入射规则 3
^QYI`u` 4 2.3 斜入射规则 6
?#FAa, 2.4 精确计算 7
{K[+nX=# 2.5 相干性 8
YRC`2)_'
2.6 参考文献 10
XZKOBq B] 3 Essential Macleod的快速预览 10
G1|
Tu"
4 Essential Macleod的特点 32
$1Xg[>1g5 4.1 容量和局限性 33
f oL`{fA 4.2 程序在哪里? 33
F},JP'\X 4.3 数据文件 35
tH W"eag 4.4 设计规则 35
]}'WNy6c&x 4.5 材料数据库和
资料库 37
3%cNePlr 4.5.1材料损失 38
vo0[Z,aH5 4.5.1材料数据库和导入材料 39
v- {kPc=:# 4.5.2 材料库 41
gO$!_!@LM 4.5.3导出材料数据 43
!w
C4ei` 4.6 常用单位 43
Y61E|:fV! 4.7 插值和外推法 46
uQ8]j .0 4.8 材料数据的平滑 50
8,['q~z 4.9 更多光学常数模型 54
BA-n+WCWJ
4.10 文档的一般编辑规则 55
&VQwuO 4.11 撤销和重做 56
-nHc52, 4.12 设计文档 57
qa%g'sB-b 4.10.1 公式 58
8eLNKgc 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
j?.VJ^Ff/u 4.10.3 沉积密度 59
y<;#*wB 4.10.4 平行和楔形介质 60
lJU[9)Q_ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
'4O1Y0K 4.10.4 性能 61
%ecg19~L/} 4.10.5 保存设计和性能 64
y-Z*qR? 4.10.6 默认设计 64
Uel*:c 4.11 图表 64
X7n~Ws&s@ 4.11.1 合并曲线图 67
;zh|*F> 4.11.2 自适应绘制 68
$
Q2|{* 4.11.3 动态绘图 68
h|jsi*4NnL 4.11.4 3D绘图 69
c\RDa|B, 4.12 导入和导出 73
;xry 4.12.1 剪贴板 73
gZvl
D 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
*/Y@:Sjf 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
xQ$*K]VP 4.13 背景 77
wk-ziw 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
8E$KR:/:4 4.15 生成Rugate 84
g4-HUc zk 4.16 参考文献 91
7H./o Vl 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
nQ/El&{ 5.1 Jobs 92
T=>&`aZH 5.2 创建一个新Job(工作) 93
zIm$S/Qe* 5.3 输入材料 94
8{h:z
9]J 5.4 设计数据文件夹 95
2I#fwsb 5.5 默认设计 95
A\ LTAp(I 6 细化和合成 97
/Wzic+v<> 6.1 优化介绍 97
Va
!HcG1^: 6.2 细化 (Refinement) 98
%Rg84tz 6.3 合成 (Synthesis) 100
,?`$~8 6.4 目标和评价函数 101
IJ=~hBI 6.4.1 目标输入 102
Nf3Kz#!B 6.4.2 目标 103
.@xwl}o$OL 6.4.3 特殊的评价函数 104
M)-+j{< 6.5 层锁定和连接 104
fe&K2C%bm 6.6 细化技术 104
9]d$G$Kv9 6.6.1 单纯形 105
OcIJT1 6.6.1.1 单纯形
参数 106
1UmV& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
+]I7) 6.6.2.1 Optimac参数 108
Ig S.U 6.6.3 模拟退火算法 109
k^ID 6.6.3.1
模拟退火参数 109
i12iB+q 6.6.4 共轭梯度 111
Q=>@:1= 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
O5e9vQH 6.6.5 拟牛顿法 112
Jzfzy0$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
LQR9S/?Ld 6.6.6 针合成 113
X hTp'2,] 6.6.6.1 针合成参数 114
KuFDkT! 6.6.7 差分进化 114
8)M .W 6.6.8非局部细化 115
+:oHI[1HG 6.6.8.1非局部细化参数 115
/FB ' 6.7 我应该使用哪种技术? 116
N/^r9Nu 6.7.1 细化 116
[}+
MZ 6.7.2 合成 117
X $cW!a 6.8 参考文献 117
"iOT14J!7 7 导纳图及其他工具 118
f}#pKsX. 7.1 简介 118
h-#Glse< 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
3hb1^HNT 7.2.1 四分之一
波长规则 119
dG6Mo76 7.2.2 导纳图 120
|-2,k#| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
#,GpZ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
iPI6 _h 7.5 斜入射导纳图 141
*mq+w & 7.6 对称周期 141
a0y;c@pkO 7.7 参考文献 142
22(0Jb\_ 8 典型的镀膜实例 143
[x,_0-_ 8.1 单层抗反射薄膜 145
L?0dZY-" 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
y%3Yr?] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
|'1[\<MM3 8.4 W-膜层 148
r;}kw(ukC 8.5 V-膜层 149
~Kt.%K5lgt 8.6 V-膜层高折射基底 150
;|}6\=( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
x|E$
f+ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
.Ml}cE$L 8.9 四层抗反射薄膜 153
He&dVP 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
;h] zN 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
HJoPk'p% 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
=yvyd0|35 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
u["Pg
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
zFwp$K>{QY 8.15十五层宽带抗反射膜 159
;^t<LhN: 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
a?&oOQd-iP 8.17 1/4波长堆栈 162
TzerAX^ 8.18 陷波滤波器 163
\
$z.x-U 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
S9-K 8.20 褶皱 165
8?P@<Do% 8.21 消偏振分光器1 169
>qCUs3}C{* 8.22 消偏振分光器2 171
S}ZM;M 8.23 消偏振立体分光器 172
e9"<.:& 8.24 消偏振截止滤光片 173
;l+3l
ez 8.25 立体偏振分束器1 174
U0UOubA 8.26 立方偏振分束器2 177
Hg]Q.SeJ( 8.27 相位延迟器 178
tAc[r)xFw 8.28 红外截止器 179
"4}{Z)&R2 8.29 21层长波带通滤波器 180
Dj
#G{X". 8.30 49层长波带通滤波器 181
n%W~+ 8.31 55层短波带通滤波器 182
?$
o9/9w 8.32 47 红外截止器 183
,Q >u
N 8.33 宽带通滤波器 184
]J:?@}\^ 8.34 诱导透射滤波器 186
vlOMB 8.35 诱导透射滤波器2 188
o#H"tYP 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
l9?]t; 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
Y <Ta2H 8.35 增益平坦滤波器 193
A)s 8.38 啁啾反射镜 1 196
YD7i6A 8.39 啁啾反射镜2 198
-=5z&)
X 8.40 啁啾反射镜3 199
jA<v<oV 8.41 带保护层的铝膜层 200
ZKPnvL70 8.42 增加铝反射率膜 201
B k#68p 8.43 参考文献 202
4LJUO5(y@ 9 多层膜 204
q-X)tH_+w@ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
lLyMm8E%pZ 9.2 内部透过率 204
~z%K9YcyU 9.3 内部透射率数据 205
rh?!f(_@ 9.4 实例 206
&*/8Ojv)9 9.5 实例2 210
dX,2cK[aG 9.6 圆锥和带宽计算 212
7bCTR2e\@w 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
``$At ,m 10 光学薄膜的颜色 216
ko$bCG% 10.1 导言 216
4Z1-RS 10.2 色彩 216
a]BnHLx 10.3 主波长和纯度 220
gO1`zP!9Z 10.4 色相和纯度 221
j*rra 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
Tg)Fr) 10.6 色差 226
3RZP 12x 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
Ojr{z 10.8 颜色渲染指数 234
FsTE.PT 10.9 色差计算 235
K({+3vK 10.10 参考文献 236
Iy6"2$%a 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
L&][730 11.1 短脉冲 238
;WO/xA-# 11.2 群速度 239
#/MUiV 11.3 群速度色散 241
6rF[eb 11.4 啁啾(chirped) 245
>A7),6 11.5 光学薄膜—相变 245
9{^:+r 11.6 群延迟和延迟色散 246
`BdZqXKG 11.7 色度色散 246
Z,!
w.TYo 11.8 色散补偿 249
4\Mh2z5 11.9 空间
光线偏移 256
&d[&8V5S 11.10 参考文献 258
J`Q#p%W 12 公差与误差 260
blk~r0.2 12.1 蒙特卡罗模型 260
$._p !, < 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
L'`W5B@ 12.2.1 误差工具 267
^mm:u<Yt 12.2.2 灵敏度工具 271
/E@LnKe 12.2.2.1 独立灵敏度 271
(iIJ[{[H4) 12.2.2.2 灵敏度分布 275
v@&&5J| 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
.^X IZ 12.3 参考文献 276
sX^m1v~N| 13 Runsheet 与Simulator 277
QA+qFP 13.1 原理介绍 277
*.8@hPy 13.2 截止滤光片设计 277
K%Vl:2#F 14 光学常数提取 289
Azxy!gDT" 14.1 介绍 289
,3qi]fFLMe 14.2 电介质薄膜 289
[mYmrLs6 14.3 n 和k 的提取工具 295
A=Q"IdK 14.4 基底的参数提取 302
D"El6<3)h 14.5 金属的参数提取 306
;sT7c1X^! 14.6 不正确的模型 306
X25cU{ 14.7 参考文献 311
&$ia#j{l 15 反演工程 313
.-k\Q}D 15.1 随机性和
系统性 313
hvnZ
2x.?d 15.2 常见的系统性问题 314
Sx5r u?$. 15.3 单层膜 314
]HgAI$aA, 15.4 多层膜 314
lCr 15.5 含义 319
hp/}Z"A= 15.6 反演工程实例 319
HWi0m/J 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
Ia*eb%HG 15.6.2 反演工程提取折射率 327
vq
B)PL5) 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
T+8F'9i` 16.1 光学性质的热致偏移 329
JM0'V0z 16.2 应力工具 335
ZXsm9 16.3 均匀性误差 339
MS%xOB*6 16.3.1 圆锥工具 339
Mf^ ;('~ 16.3.2 波前问题 341
f>g>7OsD] 16.4 参考文献 343
3(Kj|u 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
RAxAy{ 17.1 引言 345
n{J<7I e"* 17.2 操作数 345
r5xu#%hgp; 18 如何在Function中编写脚本 351
j)?I]j/ 18.1 简介 351
bEfxu;Su3 18.2 什么是脚本? 351
)zkk%mE/IM 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
eNY$N_P 18.4 基础 352
V
lN&Lz 18.4.1 Classes(类别) 352
IKb 7#Ut 18.4.2 对象 352
^n"ve2 18.4.3 信息(Messages) 352
r3<yG"J86 18.4.4 属性 352
D0/ \ 18.4.5 方法 353
|d?0ZA:z 18.4.6 变量声明 353
|XzqP +t 18.5 创建对象 354
}A'QXtI/G 18.5.1 创建对象函数 355
a02@CsH 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
xV @X%E 18.5.3 丢弃对象 356
"15mOW(!+ 18.5.4 总结 356
JeU|e$I4> 18.6 脚本中的表格 357
6H\3 18.6.1 方法1 357
J~9l+? 18.6.2 方法2 357
c~[L;_ 18.7 2D Plots in Scripts 358
Jb
Hn/$ 18.8 3D Plots in Scripts 359
P(8zJk6h), 18.9 注释 360
8q{
%n 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
m{gx\a.5 18.11 一个更高级的脚本 362
3#}5dO 18.12 <esc>键 364
^P
>; % 18.13 包含文件 365
`ySLic` 18.14 脚本被
优化调用 366
X!V@jo9? 18.15 脚本中的对话框 368
]fg?)z-Z 18.15.1 介绍 368
RR>Q$K 18.15.2 消息框-MsgBox 368
c&z@HEzV7 18.15.3 输入框函数 370
%|bqL3)a_ 18.15.4 自定义对话框 371
|f;u5r!^= 18.15.5 对话框编辑器 371
7Rqjf6kX`O 18.15.6 控制对话框 377
jXB<"bw 18.15.7 更高级的对话框 380
d#cw`h<c~ 18.16 Types语句 384
Q"n|<!DN 18.17 打开文件 385
;0( |06= 18.18 Bags 387
NitWIj[U; 18.13 进一步研究 388
L l\y2oJ 19 vStack 389
G]X72R?g 19.1 vStack基本原理 389
fT9$0:eO 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
vzA)pB~; 19.3 五棱镜 393
A
q;]al 19.4 光束距离 396
gF,9Kv~ 19.5 误差 399
#9uNJla 19.6 二向分色棱镜 399
BR*,E~% 19.7 偏振泄漏 404
. S4Xw2MS 19.8 波前误差—相位 405
m?VA 1 19.9 其它计算参数 405
& F\HR 20 报表生成器 406
=Bu>}$BD 20.1 入门 406
$x# 0m 20.2 指令(Instructions) 406
CqOvVv 20.3 页面布局指令 406
U<QO@5 20.4 常见的参数图和三维图 407
?G%C}8a 20.5 表格中的常见参数 408
wGD*25M7$ 20.6 迭代指令 408
]E$h7I 20.7 报表模版 408
'|V"!R) 20.8 开始设计一个报表模版 409
' ^L|}e 21 一个新的project 413
#e:cB' f 21.1 创建一个新Job 414
Ze_4MwCW 21.2 默认设计 415
w6(E$:#d 21.3 薄膜设计 416
{?yZdL:m) 21.4 误差的灵敏度计算 420
Ry9kGdqO 21.5 显色指数计算 422
IGqg,OEAp 21.6 电场分布 424
T9N][5 \ 后记 426
2ZW
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