FZ2-e 内容简介
]R>k0X.V Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
u#UeJuO 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
|95/'a* 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
80]TKf> FW.dHvNX 讯技科技股份有限公司
Oc'z?6axWv 2015年9月3日
Yh%wf3
UEO 目录
@Q1jH~t Preface 1
a&ByV!%%+_ 内容简介 2
0De M 目录 i
IFTW,9hh 1 引言 1
tB3CX\e 2 光学薄膜基础 2
z|?R=;,u` 2.1 一般规则 2
y?@Y\ b 2.2 正交入射规则 3
<d5vVn 2.3 斜入射规则 6
QF;<%QF: 2.4 精确计算 7
(MIw$)#^ 2.5 相干性 8
5)oIPHXw 2.6 参考文献 10
hCvn(f 3 Essential Macleod的快速预览 10
rYS D-Kq 4 Essential Macleod的特点 32
E 6@;e-]j 4.1 容量和局限性 33
Y#Vy:x[ 4.2 程序在哪里? 33
1DcarF 4.3 数据文件 35
.-Lqo=o\ 4.4 设计规则 35
YPy))>Q>cK 4.5 材料数据库和
资料库 37
-9*WQU9R 4.5.1材料损失 38
&"h!SkX/ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
bg*{1^ 4.5.2 材料库 41
D5m\u$~V 4.5.3导出材料数据 43
r=Q5=(hn 4.6 常用单位 43
Z%{f[|h9} 4.7 插值和外推法 46
g&vEc1LNo 4.8 材料数据的平滑 50
?^vZ{B)&0E 4.9 更多光学常数模型 54
l.W:6",w 4.10 文档的一般编辑规则 55
?BZ][~n-Q 4.11 撤销和重做 56
UQcmHZ+lf 4.12 设计文档 57
19u?^w 4.10.1 公式 58
<"+C<[n. 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
qU
n> 4.10.3 沉积密度 59
Fb'wC 4.10.4 平行和楔形介质 60
/nP=E 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
Madaxx 4.10.4 性能 61
nu<!/O 4.10.5 保存设计和性能 64
j1kc&( 4.10.6 默认设计 64
[E~TYk; 4.11 图表 64
JrAc]= 4.11.1 合并曲线图 67
%$xFnGb 4.11.2 自适应绘制 68
`@D4?8_ 4.11.3 动态绘图 68
(B-9M) 4.11.4 3D绘图 69
R4(8]oUW 4.12 导入和导出 73
9p4U\hx 4.12.1 剪贴板 73
Z :+#3.4$3 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
%4Zy1{yKs_ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
~`E4E 4.13 背景 77
5UjQLB 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
Vgn1I(Gj 4 4.15 生成Rugate 84
fO>~V1 4.16 参考文献 91
|]cDz
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
OP}p;( 5.1 Jobs 92
5,ahKB8 5.2 创建一个新Job(工作) 93
vB*oI~< 5.3 输入材料 94
)x &@j4, 5.4 设计数据文件夹 95
8w[EyVHA 5.5 默认设计 95
se HbwO3 b 6 细化和合成 97
=3C)sz} 6.1 优化介绍 97
W@dY:N} 6.2 细化 (Refinement) 98
"J{zfWr 6.3 合成 (Synthesis) 100
CWQ2iu<_0 6.4 目标和评价函数 101
DZ.trtK 6.4.1 目标输入 102
3]es$ Jy 6.4.2 目标 103
+yH~G9u( 6.4.3 特殊的评价函数 104
QJM!Wx+ 6.5 层锁定和连接 104
z44~5J] 6.6 细化技术 104
-$t,}3 6.6.1 单纯形 105
<SZO-
-+lB 6.6.1.1 单纯形
参数 106
p\;)^O4 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
3og$'#6P 6.6.2.1 Optimac参数 108
f {Z%:H 6.6.3 模拟退火算法 109
><R.z(4% 6.6.3.1
模拟退火参数 109
rI+w1';C1 6.6.4 共轭梯度 111
?(8%SPRk 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
O
f @#VZ 6.6.5 拟牛顿法 112
_lv:"/3R 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
/t)c fFM 6.6.6 针合成 113
gCr|e}w- 6.6.6.1 针合成参数 114
zn1Rou]6 6.6.7 差分进化 114
{WeXURp&nF 6.6.8非局部细化 115
ko2j|*D6@~ 6.6.8.1非局部细化参数 115
ZCFf@2&z8 6.7 我应该使用哪种技术? 116
=e8L7_; 6.7.1 细化 116
|;m`874 6.7.2 合成 117
dHF$T33It 6.8 参考文献 117
R 0HVLQI 7 导纳图及其他工具 118
Wd56B+ 7.1 简介 118
3;S`< 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
##FNq#F 7.2.1 四分之一
波长规则 119
A{x
7 7.2.2 导纳图 120
\R\@t]>Y 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
[RPAkp 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
G? gXK W 7.5 斜入射导纳图 141
i6#]$ B 7.6 对称周期 141
E+ 3yN\X( 7.7 参考文献 142
t{8v(} 8 典型的镀膜实例 143
Evq Ai/(g 8.1 单层抗反射薄膜 145
N^(lUba 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
L|lmStwe 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
O& %"F8B 8.4 W-膜层 148
h`h>H
X 8.5 V-膜层 149
]ZzG!7 8.6 V-膜层高折射基底 150
ViwpyC'v 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
9me}&Fdr 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
.A7tq 8.9 四层抗反射薄膜 153
27E9NO= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
t_>bTcsU 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
tK|9qs<% 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
' q<EZ{ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
$W {yK+N 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
Hn9F
gul& 8.15十五层宽带抗反射膜 159
_p J_V>l 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
omv6_DdZ 8.17 1/4波长堆栈 162
g2{H^YUN$_ 8.18 陷波滤波器 163
%:w% o$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
"vOfAo]` 8.20 褶皱 165
s|gD 8.21 消偏振分光器1 169
(ND5CKCR^ 8.22 消偏振分光器2 171
Zp(=[n5 8.23 消偏振立体分光器 172
ke9QT#~p!- 8.24 消偏振截止滤光片 173
Go\} A:|s 8.25 立体偏振分束器1 174
H/Ec^Lc+_ 8.26 立方偏振分束器2 177
(!VMnLlXRK 8.27 相位延迟器 178
8S1P&+iKs 8.28 红外截止器 179
UhSh(E8p> 8.29 21层长波带通滤波器 180
@bW[J 8.30 49层长波带通滤波器 181
RJRq` T|m 8.31 55层短波带通滤波器 182
Uc&6=5~Ys\ 8.32 47 红外截止器 183
`o_fUOe8a 8.33 宽带通滤波器 184
tSb?]J 8.34 诱导透射滤波器 186
_iGU|$a 8.35 诱导透射滤波器2 188
H\=LE 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
^0Q=#p 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
\U!@OX.R'M 8.35 增益平坦滤波器 193
F8[B^alAe 8.38 啁啾反射镜 1 196
"s>fV9YyZ 8.39 啁啾反射镜2 198
)ew[ Ak| 8.40 啁啾反射镜3 199
NDRW 8.41 带保护层的铝膜层 200
$K?T=a;z
8.42 增加铝反射率膜 201
ke}Y2sB 8.43 参考文献 202
:J Gl>V 9 多层膜 204
"B9[cDM& 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
MjQ[^%lfL 9.2 内部透过率 204
=|E
09 9.3 内部透射率数据 205
3'[Rvy{ 9.4 实例 206
% QPWw~}: 9.5 实例2 210
Gpdv]SON{ 9.6 圆锥和带宽计算 212
}{&ln 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
qukjS#>+ 10 光学薄膜的颜色 216
S9HBr 10.1 导言 216
R%b*EBZ 10.2 色彩 216
G{NSAaD[ 10.3 主波长和纯度 220
rb:<N%*t 10.4 色相和纯度 221
v}F4R $ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
c$Xe.:QY 10.6 色差 226
]~ !XiCqu 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
1
[Sv 10.8 颜色渲染指数 234
h_&4p=SQ 10.9 色差计算 235
Pqy-gWOv 10.10 参考文献 236
Yzj%{fkh 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
;RWW+x8IB 11.1 短脉冲 238
/~i.\^HX 11.2 群速度 239
jDlA<1 11.3 群速度色散 241
p!+L 11.4 啁啾(chirped) 245
JsmbW|t^ 11.5 光学薄膜—相变 245
cT-K@dg 11.6 群延迟和延迟色散 246
C9<4~IM
w 11.7 色度色散 246
W\it+/ 11.8 色散补偿 249
2#z=zd 11.9 空间
光线偏移 256
!uWxRpT,7 11.10 参考文献 258
l60ikc4$I 12 公差与误差 260
==]Z \jk 12.1 蒙特卡罗模型 260
'FShNY5 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
H<`^w)? 12.2.1 误差工具 267
9t{|_G 12.2.2 灵敏度工具 271
|EF>Y9
12.2.2.1 独立灵敏度 271
O6y @G
.+ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
+w "XNl 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
<1aa~duT 12.3 参考文献 276
j#N(1}r=1 13 Runsheet 与Simulator 277
1^aykrnQ> 13.1 原理介绍 277
^DBD63N" 13.2 截止滤光片设计 277
q}>M& * 14 光学常数提取 289
|/@0~O(6 14.1 介绍 289
sf Dg/ a 14.2 电介质薄膜 289
!L4dUMo 14.3 n 和k 的提取工具 295
6 -]>]Hr- 14.4 基底的参数提取 302
AK6=Ydu 14.5 金属的参数提取 306
"E.\6sC 14.6 不正确的模型 306
}dy9IH 14.7 参考文献 311
G9\EZ\x! 15 反演工程 313
%VzYqj_P" 15.1 随机性和
系统性 313
/sy-;JDnsu 15.2 常见的系统性问题 314
FyCBNtCv 15.3 单层膜 314
T3=(` 15.4 多层膜 314
4Mk8Cpz 15.5 含义 319
Iq+2mQi*/k 15.6 反演工程实例 319
4 GUA&