摘要
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G}S 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
x|oa"l^JZ" JJn+H&[B 设计任务
z,#3YC{' dtT2h>h9 !YJ^BI G*$a81dAX 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
TR([u TV&4m5 扫描参数空间以获取初始解
{cF>,T {Q@pF <78LB/: 6opubI< 初始解#1的参数优化
bAl0z)p 3ZKaqwK dPfDPb gc6T`O-_; 最终设计#1的性能分析
ie+746tFW w}jH,Ew !agtgS$qII F< #!83*% 初始解#2的参数优化
uVBMI.&w RZ:i60 yt-F2Z& koizk&) 最终设计#1的性能分析
2r]!$ hto I;!zZ.\ P!JRIw `xO&!DN VirtualLab Fusion一瞥
-}?ud3f< 2\,vq
R `Y`QxU!d% H@8g 9;+ VirtualLab Fusion中的工作流程
#
Y*cLN`Y7 Jc#()4 构建
光栅结构
"w\Iz] ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
zFtw Aa =r ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
[-bT_X 分析光栅
衍射效率
)n[ oP% ─ Grating Order Analyzer
$ZPiM 使用参数运算寻找初始解
Bi+a)_K ─ Usage of the Parameter Run Document
sDH|k@K 使用参数优化确定最终解
AjQ^
{P AwKxt'()^ VirtualLab Fusion技术
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