摘要
EqN_VT@ 0&YW#L|J
D]{#!w(d A`Nk gVq5: 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
e)Be*J]4 >AbgJ*X. 设计任务
)YB@6TiD }i"\?M
O e-FI+7 :$>Co\D 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
U^ecg{ x }8 U\ 扫描参数空间以获取初始解
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O,&nCxB] |Sne\N>% 初始解#1的参数优化
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c+ :r{;'[38
aCq ) hR wRa$b 最终设计#1的性能分析
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N3_rqRd^ *gq~~(jH 初始解#2的参数优化
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q&j4PR{ yo#aX^v~y 最终设计#1的性能分析
zNF.nS}: MDHTZ94\Q
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-H .4jU G= VirtualLab Fusion一瞥
8"f Z>XQ oi@hZniP?
deRnP$u0 (}]ae* VirtualLab Fusion中的工作流程
lK}W%hzU TqvgCk- 构建
光栅结构
0|RFsJ" ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
e^N6h3WF ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
*J ]2"~_. 分析光栅
衍射效率
jkzC^aG ─ Grating Order Analyzer
8PR1RCJ 使用参数运算寻找初始解
NrHh(: ─ Usage of the Parameter Run Document
t_VF=B^LuR 使用参数优化确定最终解
N"tEXb/, lg9`Z>? VirtualLab Fusion技术
=i`#0i2( \:'|4D]'I