摘要
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ba);f[> ?
T6K]~g 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
4=xi)qF/@ >F7w]XH 设计任务
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x8PT+KC #Ub_m@@4 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
kg[%Q]] .h7s.p? 扫描参数空间以获取初始解
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8AuBs;i (Q^sK\ 初始解#1的参数优化
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'=: 最终设计#1的性能分析
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O1J&Lwpk, mll:rWC) 初始解#2的参数优化
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~#A}=,4> xH-d<Ht,7 最终设计#1的性能分析
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dAh.I3 Gt9$hB7 VirtualLab Fusion一瞥
HTJ2D@h E-bswUVaEE
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l_vGp VirtualLab Fusion中的工作流程
7A)\:k ,c p2Fac 构建
光栅结构
nT6y6F_e ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
EKwQ$?I ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
21uK&nVf^l 分析光栅
衍射效率
:v&[! ─ Grating Order Analyzer
2$JGhgDI 使用参数运算寻找初始解
/4:bx#;A ─ Usage of the Parameter Run Document
Z!1D4`w 使用参数优化确定最终解
|*&l?S ]gk1q{Ql< VirtualLab Fusion技术
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