摘要
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GRM6H|. jmPnUn 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
aS=-9P;v XXPn)kmWR 设计任务
9sG]Q[:.] VkdGGY
1o`zAJ8|2 '
Dcj\=8 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
}IEwGoDwNs SO4?3wg7 扫描参数空间以获取初始解
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$>Qq 7 |W_;L6) 初始解#1的参数优化
2,aH1Xbex o=J-Ju
U}@xMt8@l ;`Nh@*_ 最终设计#1的性能分析
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%5RR<[_/; VKV
:U60 初始解#2的参数优化
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eP/) 最终设计#1的性能分析
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Z<^;Ybw{`Z e, N}z VirtualLab Fusion一瞥
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?4A/?Z]ub w 5 yOSz VirtualLab Fusion中的工作流程
%UAF~2]g m g,1*B' 构建
光栅结构
i.k7qclL` ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
&&nbdu ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
&rG B58 分析光栅
衍射效率
pO_IUkt ─ Grating Order Analyzer
sUF9_W5z 使用参数运算寻找初始解
\yl|*h3 ─ Usage of the Parameter Run Document
;z.L^V0 使用参数优化确定最终解
0j_kK q`,%L1c4 VirtualLab Fusion技术
q.p.$) R&9FdM3K`: