摘要
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[hSJ)IZh ('J@GTe@xj AE>W$x8P 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
=V|jd'iwx pC:YT/J 设计任务
:se$<d% UH-873AK ymxA<bICS8 />mK.FT 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
7:olStK =S{OzF 扫描参数空间以获取初始解
OC*28) beo(7,=& V3ht:>c9qs }P?e31@: 初始解#1的参数优化
"7y,d%H %\
i&g$ H;4QuB'^ )>{.t=# 最终设计#1的性能分析
V5(_7b#z`` avq$aq(3& F8Ety^9>9 d~qQ_2M[G 初始解#2的参数优化
:wS&3:h %4m Nk}tyH ]uox ^HC vcdVck@ 最终设计#1的性能分析
0]bt}rh qZ^
PC- (*$F7oO< YA$YT8iMe VirtualLab Fusion一瞥
w"?Q0bhV9y Qz(2Iu{E]
j5/pVXO ^+D/59I VirtualLab Fusion中的工作流程
+o`%7r(R 'Wnh1|z 构建
光栅结构
nSyLt6zn\ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
~Pw9[ycn3 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
S?b&4\: 分析光栅
衍射效率
2>9\o]ac4 ─ Grating Order Analyzer
3eE=>E4, 使用参数运算寻找初始解
[tkx84M8 ─ Usage of the Parameter Run Document
}y6@YfV${ 使用参数优化确定最终解
u!|_bI3 %]}JWXof VirtualLab Fusion技术
G/p\MzDko `hO%(9V9