摘要
2L\h+) 3b_#xr-
-ss2X [F>zM 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
NR3IeTd L Y M` 设计任务
D2hvf^g'* Pgo5&SQb
\2LCpN .p5*&i7 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
,`wxXU7 Obd! 扫描参数空间以获取初始解
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zzxU9m~" LQS*/s0 初始解#1的参数优化
Ylf 6-FbF i<T`]g
>y=%o~ iUO5hdOM 最终设计#1的性能分析
^a]i&o[c Tu"yoF
~C[,P\, H4pjtVBr 初始解#2的参数优化
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O%OD NfSe(rd 最终设计#1的性能分析
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$SDx)
'!
="4jk=on z4<h)hh"k6 VirtualLab Fusion一瞥
U_J|{*4S.! (O&b:D/Y
/q^( uWu 6ZM<M7(V VirtualLab Fusion中的工作流程
9fV 57 zL{KK9Or 构建
光栅结构
fpqKa r ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
$L&*0$[]Q ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
F8k1fmM]Y 分析光栅
衍射效率
i.#s'm.9 ─ Grating Order Analyzer
f"-?%I*' 使用参数运算寻找初始解
O
8fh'6 ─ Usage of the Parameter Run Document
Zs4N0N{ 使用参数优化确定最终解
@B[V'| L2:C6Sc VirtualLab Fusion技术
ik]UzB 2vur_`cV