摘要
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C
$O>@(K I Q L~I13 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
-7$'* V9$ GW#kaqC1 设计任务
U,M,E@ YUb,5Y0
AN>`M?EQ L1xD$wl 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
_HK&KY VB\6SG 扫描参数空间以获取初始解
=s]{ ]*@$%iCPE
"6dbRo5% c #!6 初始解#1的参数优化
hN53= X: DRoxw24
qlJOb}$ I -],?kP 最终设计#1的性能分析
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en8 f5% &
W~F/ZrT3A ug,|'<G+ 初始解#2的参数优化
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A4FDR# kV3j}C" 最终设计#1的性能分析
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$-?5Q~ yn[ZN-H~ VirtualLab Fusion一瞥
Sc$wR{W<: n E0~Y2
w%dIe!sV jgKL88J*\ VirtualLab Fusion中的工作流程
}l?_Cfvu fsc~$^.~\ 构建
光栅结构
/_OZ1jX ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
>MWpYp ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
-,A5^>}%,Y 分析光栅
衍射效率
nYy}''l< ─ Grating Order Analyzer
*\:_o5o%[T 使用参数运算寻找初始解
"E|r 3cN ─ Usage of the Parameter Run Document
s!/holu 使用参数优化确定最终解
_#D\*0J .hlQ?\ VirtualLab Fusion技术
+F~0\#d TflS@Z7C