摘要
>kLH6. TB3T:A>2
y<LwrrJ> R`3>0LrC8 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
0 VgnN &oEq& 设计任务
N?<@o2{ JSZj0_B
`?|]: 7'< p<nBS"/ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
m$UT4,Ol v'~nABYH 扫描参数空间以获取初始解
8`*9jr ";Xbr;N
+(k)1kCMn <{).x6 初始解#1的参数优化
)A+j (7#lN
<TROs!x$a }Knq9cf 最终设计#1的性能分析
[/,6O GB0b|9(6D"
3g
"xm 9@EnmtR 初始解#2的参数优化
_"Ke=v_5 nv[Sb%/
4qXUk:C@m
"._WdY[ 最终设计#1的性能分析
%v)'`|i KX}dn:;(3
k{w^MOHNg Leick6 VirtualLab Fusion一瞥
vl(v1[pU eii7pbc
#i=^WN<V `hf9rjy4 VirtualLab Fusion中的工作流程
z4+6k-#): KKXb,/ 构建
光栅结构
a^/20UFq ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
10a*7 L ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
2EcYO$R! 分析光栅
衍射效率
;xH'%W9z ─ Grating Order Analyzer
aJ_Eh(cF 使用参数运算寻找初始解
JNg5?V;.U ─ Usage of the Parameter Run Document
VCtiZ4 使用参数优化确定最终解
M!DoR6 utS Mx( VirtualLab Fusion技术
SF=|++b1f 5j01Mx
A