摘要
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Tji* \<? wNvq['P 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
1EiSxf =W[M=_0u 设计任务
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#n_t5 O[ U5:5$T,C 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
P1_6:USBM H"NBjVRU% 扫描参数空间以获取初始解
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SDu%rr7sQ z?<Xx?Kk 初始解#1的参数优化
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HC!5AJ&+}v @Ta0v:Y 最终设计#1的性能分析
g|Xjw Ti8$ IE:;`e:\D
0u}+n+\g Y>2oU`ly, 初始解#2的参数优化
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Rra/ 最终设计#1的性能分析
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Z6fR2A~Q[ 8}aSSL] VirtualLab Fusion一瞥
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_ |G') 9 h'B0rVQia> VirtualLab Fusion中的工作流程
.efbORp RDxvN:v 构建
光栅结构
Ri/D>[ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
09 vm5| ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
Dc9Fb^]QOG 分析光栅
衍射效率
QfV:&b` ─ Grating Order Analyzer
Zt \3y 使用参数运算寻找初始解
3Vk<hBw2 ─ Usage of the Parameter Run Document
!-Uq#Ea0/ 使用参数优化确定最终解
F%I*m^7d ^f] 9^U{ VirtualLab Fusion技术
\iH\N/ PmA_cP7~