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[求助]更换完修正板后材料参数异常 [复制链接]

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离线bilong

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只看该作者 10楼发表于: 2023-12-22

回 bilong 的帖子

bilong:受教，我们又试了一炉，用的两槽H4,其中一槽充氧异常，把参数改后，正常了，应该是这个原因，充氧异常 (2023-12-22 11:41) (~DW_+?]'

用手电在坩埚处打上去，没有遮挡晶控

离线度魔银

助理工程师

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只看该作者 11楼发表于: 2023-12-22

是不是充氧过大又吸收了

离线bilong

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只看该作者 12楼发表于: 2023-12-22

回度魔银的帖子

度魔银:是不是充氧过大又吸收了 (2023-12-22 12:51) \~#\ [r_

应该是的，有一槽充氧有点大

离线嘤击长空

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只看该作者 13楼发表于: 02-29

回 bilong 的帖子

bilong:请教大佬，怎样找到一个合适的板宽度 (2023-12-21 17:58) ]yKwH 9sl

调好单层之后用膜系去试，用膜系判断不同材料的均匀性

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