切换到宽版
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    [求助]更换完修正板后材料参数异常 [复制链接]

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    离线bilong
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-12-12
    此帖悬赏结束
    最佳答案:5 光币,最佳答案获得者:ouyuu
    请教哪位大佬知道,新科隆机台右枪更换完修正板后与模拟曲线有差异(实线是模拟曲线,虚线是实测曲线,H4镀了5000,伞差可以,就是与模拟不拟合,是修正板太宽的原因吗) VH<d[Mj  
    %NJ0 Y(:9(  
    mEu2@3^E }  
    >;R`Q9s7  
    请各位大佬赐教!
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-12-16
    最佳答案奖励:+5 光币
    为啥要换修正板?换了离子源栅网? D&I/Tbc  
    感觉像是栅网的问题,离子源能量不够
    离线谭健
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    只看该作者 2楼 发表于: 2023-12-17
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    路过看看了 `OgT"FdL!  
    离线bilong
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    只看该作者 3楼 发表于: 2023-12-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:为啥要换修正板?换了离子源栅网? <]KQ$8dtD  
    感觉像是栅网的问题,离子源能量不够 (2023-12-16 00:32)  mIDVN  
    `{h)-Y``  
    原修正板固定孔变大了,又重新做了一个,比原来的板稍微宽一点,没用离子源,镀的AR膜
    离线wflney
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    只看该作者 4楼 发表于: 2023-12-19
    材料折射率和软件的有差异
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    flyinlove79 光币 +1 - 03-04
    离线bilong
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    只看该作者 5楼 发表于: 2023-12-19
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    wflney:材料折射率和软件的有差异 (2023-12-19 14:28) e CN:  
    )LKJfoo PY  
    是的,看结果应该是实际镀出来的曲线有问题,曲线谷值应该都在一条线上,但实际镀出来的不是在一条线上 i?(cp["7  
    离线嘤击长空
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-12-21
    修正板宽会有影响的,相当于速率降了,折射率也会降
    离线bilong
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    只看该作者 7楼 发表于: 2023-12-21
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    嘤击长空:修正板宽会有影响的,相当于速率降了,折射率也会降 (2023-12-21 13:37)  xL.m<XDL  
    r7_%t_O|IL  
    请教大佬,怎样找到一个合适的板宽度
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 2023-12-22
    照理来讲只要是原板描的应该问题不大,稍微宽一点也没多大影响的。 QwG_-  
    速率控制是水晶在控制,水晶不受修正板影响,所以修正板宽度只影响实际的膜厚, 1@'I eywg  
    (如果你TOOLING不改的话),不会影响膜的物理参数。 ~Y~M}4  
    d ]|K%<+(  
    如果没有发生漏气之类的问题的话,我怀疑你修正板挡到水晶了。 S`b!sT-sD  
    是不是修正板做的很长?
    1条评分光币+1
    flyinlove79 光币 +1 - 03-04
    离线bilong
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    只看该作者 9楼 发表于: 2023-12-22
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:照理来讲只要是原板描的应该问题不大,稍微宽一点也没多大影响的。 Br<lP#u=G  
    速率控制是水晶在控制,水晶不受修正板影响,所以修正板宽度只影响实际的膜厚, /|&4&$  
    (如果你TOOLING不改的话),不会影响膜的物理参数。
    如果没有发生漏气之类的问题的话,我怀疑你修正板挡到水晶了。 bxO/FrwTj{  
    ....... (2023-12-22 09:36)  1Lje.%(E.  
    v/~&n  
    受教,我们又试了一炉,用的两槽H4,其中一槽充氧异常,把参数改后,正常了,应该是这个原因,充氧异常