[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 Y/P]5: =h  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 NI\H \#bJ  
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任务 W)-hU~^OM  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 RVP18ub.S  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 !K\it
OEP-  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 an KuTI  
连接建模技术：衍射光束分束器 76cEKH
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 *?N<S$m  
Jvj=I82  
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将传输函数转化为结构 +*a7GttU  
{!t=n
 
][t6VA  
衍射光束分束器表面 BD'NuI  
.e$%[)D  
iGa}3pF  
衍射光束求解器 - TEA & FMM D3.VXuKn6  
ysVi3eq  
(nz}J)T&  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 CJA+v-  
(UcFNeo  
)* 3bkKVB  
设计与评估结果： yFO)<GLk  
• 相位函数设计 Ilef+V^qr  
• 结构设计 8[HZ@@  
• TEA 评估 z1Q2*:)c  
• FMM 评估 J)huy\>,  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） jGiw96,Y  
o=mo/N4  
仅相位传输设计 I>Y{>S  
Bb_Q_<DTs  
>)y$mc6  
结构设计 l0#4Fma  
GBr,LN  
l/F!Bq[*g  
使用TEA进行性能评估 H9E(\)@  
;NG1{]|Z  
V4
\560  
使用FMM进行性能评估 j"6:A  
6KB^w0oA  
w&C1=v -h  
进一步的分析（优化后，容差分析） g? I!OG  
4Pf+]R  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 `:gYXeR  
jYk5~<\k  
req-Q |  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 +Y;8~+  
QE*%HR'  

Z:c*!`F  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 Se/ss!I
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