[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 FXi{87F2  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 /XzH?n/{R  
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任务 )~HUo9K9  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 ucG@?@JENm  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 b"vv>Q~U  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 woD>!r>)  
连接建模技术：衍射光束分束器 -\ EP.Vtz  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 (4dhuT  
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将传输函数转化为结构 M>i9i-dU  
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衍射光束分束器表面  ng_^  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM ~1W x=  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 }L#_\  
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设计与评估结果： ;I}kQ!q  
• 相位函数设计 *U]V@;XF  
• 结构设计 e0T34x'
  
• TEA 评估 83Q4On  
• FMM 评估 37
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• 高度缩放检查（用于优化/容限） V9dF1Hj  
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仅相位传输设计 b/{t|io{  
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结构设计 QUQu^p  
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使用TEA进行性能评估 obNqsyc77R  
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使用FMM进行性能评估 Q^e}?v%=%3  
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进一步的分析（优化后，容差分析） }9W4"e2)  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 (KF=On;=Y  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 I$0)Px%z  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 m/y2WlcRx  
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