时间地点： [_Z3v ,vt,
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 >s~`K^zS
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 /UAj]U
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 f& *E;l0
课程讲师：讯技光电高级工程师 AkC\ CdmA
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要： @@&;gWr;
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 XA%?35v~
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课程大纲： ;[ojwcK[ZF
1.波动光学基础 $^F2
□ 双光束干涉及杨氏干涉 [c~zO+x
□ 相干及非相干光源的传播特性 35et+9
□ 衍射光学与傅里叶变换 9m>_q Wa A
2.衍射元件概述 E2cmT$6
□ 衍射光学元件概念 ymu# u
□ 衍射光学元件优点 SY.V_O$l }
□ 光束分束、整形、扩散 ps [rYy
□ 傅里叶变换 |ES e=G
□ 角谱理论 QG
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□ 工作装置类型 [;+YO)
3.衍射光学元件理念及设计 PeZ=ON Y5
□ 基本理念 ]RJ2`x f
□ 透镜和衍射光学元件的作用 DoA f,9|_
□ 分束、整形和扩散的实质 U6"50G~u
□ 衍射光学元件的特征尺寸 N0NMRU]zT
□ 衍射光学元件优化设计方法 n$9!G
4.IFTA简介 ektFk"W3A\
□ 基本设计步骤 $@X,J2&
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 iFnM6O$(
□ 参数估算——周期和线宽的估算 DzMk eX
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 !+U.)u9 '
□ 配置设计过程的优化评价函数 7P]pk=mo
5.衍射元件设计案例 L;;x%>
□ 衍射分束器参数选择 3/ D fsv
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 w*x } 4wW
□ 衍射整形器参数选择 $U1'n@/J
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 D!CGbP(
□ 衍射扩散器参数选择 B L7%MvDQ
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 ~Km8 -b(&
6.光栅模拟分析 _eS*e-@O 5
□ 构建stack u]"R AH
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 JT<J[Qz5
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 n!2|;|$}Z
□ 2D光栅表面镀膜分析 p O.8>C%
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 XT\;2etVL
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 H}X"yLog*
7.光栅概述 -Q/Dbz#-
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 lsd\ `X5,
□ 标量衍射和傅里叶变换 3)sqAs(
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 +!rK4[W'
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 q~Ud>{
8.微纳光学元件制作 1*5n}cU ~
□ 多阶器件加工 q\\J9`Q$J
□ 连续器件加工 94+#6jd e
□ 传统套刻法 +KZc"0?
□ 激光直写法 & b%6pVj
□ 纳米光子器件制作概述 Mg].#
□ 衍射光学元件公差分析 B{Rig5Sc
9.答疑 QP'*
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