时间地点:
ML>[^F 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司
OUNd@o 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00
*N<&GH(j 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室
wGP;Vbk 课程讲师:讯技光电高级工程师
XnWr5-; 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要:
z=3\Ab 本课程从基本
衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射
光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论
微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。
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LpqO{#ZG 课程大纲:
2P@sn!*{1 1.波动光学基础
4Q6mo/=H □ 双光束干涉及杨氏干涉
^kB8F"X □ 相干及非相干
光源的传播特性
PU1Qsb5 □ 衍射光学与傅里叶变换
~15N7=wCM 2.衍射元件概述
3skC$mpJHw □ 衍射光学元件概念
n*{sTT □ 衍射光学元件优点
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o □ 光束分束、整形、扩散
~,B5Hc 2 □ 傅里叶变换
DuHu\>f<S □ 角谱理论
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</ □ 工作装置类型
Y/ .Z.FD` 3.衍射光学元件理念及设计
ZP\-T*)l$ □ 基本理念
/Id%_,}Kb □
透镜和衍射光学元件的作用
OD6\Mr2= □ 分束、整形和扩散的实质
lUvpszH= □ 衍射光学元件的特征尺寸
U5.LDv; □ 衍射光学元件
优化设计方法
6U R2IxbE 4.IFTA简介
m1Mt#@,$ □ 基本设计步骤
YLzx<~E4a □
光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱
wlqpn(XR □
参数估算——周期和线宽的估算
&b%zQ4%d-` □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率
Tw;3_Lj □ 配置设计过程的优化评价函数
~2QR{; XQ 5.衍射元件设计案例
KQg]0y
d □ 衍射分束器参数选择
t~#zMUfac □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状
'g
m0) r □ 衍射整形器参数选择
Pn>Xbe □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
"Pu!dJ5[] □ 衍射扩散器参数选择
B=^)Ub5' □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案
HV{wI1 6.光栅模拟分析
z;|A(*Y □ 构建stack
;E3>ay6m8 □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次
IV\'e} □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析
w.YiO5|y □ 2D光栅表面镀膜分析
dE4L=sTEsy □ 3D表面具有减反结构的光栅分析
q$B>|y U □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析
uYs5f.! ` 7.光栅概述
=pS5uR~ □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件
)\J+Kiy) □ 标量衍射和傅里叶变换
z4jR[x, □ 矢量衍射和傅里叶模态法
vnM@QfN □
纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、
成像、传感等
uP~@U" ! 8.微纳光学元件制作
=IQ5<;U3 □ 多阶器件加工
;
Q3n □ 连续器件加工
"2)H'< □ 传统套刻法
0+kH:dP{ □
激光直写法
5#+^E{ □ 纳米
光子器件制作概述
uF9C-H@: □ 衍射光学元件公差分析
`OXpU,Z 6U 9.答疑
x:7b/j- 对此课程感兴趣的小伙伴,可以扫码加微咨询联系
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