课程四十八:从
初始结构开始设计的微
光刻透镜 t.U{Bu
P 你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的
镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习
光学设计,这将是一个好的学习例子。
hk;bk?:m 本课将给出一个学习例子:
j@ v-| 1. 镜片数22片
D9o*8h2$ 2. 物高31mm
|M E{gy`5 3. 物方数值孔径NA 0.2
o](.368+4 4.
波长为UV
h=[-Er'B 5. 像方晶圆尺寸是12.66mm
~6d5zI4\ 6. 总长小于1200mm
:hP58 }Q$ . r`[ 这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让
光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束
成像到晶圆片上。
'vlrc[|/ tcOnM w 首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下:
zs8I 下面是对 DSEARCH 的输入:
NvHN -^2 【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 9v~5qv; K7RKF$Z\ 返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11.
)U5u" ]9~ |Fp'/~|w2d 现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下:
a))*F!}c 【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 5i9Ub|!P b:Dg}
结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11.
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