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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-16
    课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 [/n' @cjNZ  
    你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。 OQ 0b$qw  
    本课将给出一个学习例子: *+# k{D,  
    1. 镜片数22片 13]y)(  
    2. 物高31mm DOA[iT";4  
    3. 物方数值孔径NA 0.2 |c BHBd  
    4. 波长为UV csm?oUniz  
    5. 像方晶圆尺寸是12.66mm yA457'R1  
    6. 总长小于1200mm )z|_*||WU^  
    7jD@Gp`" 3  
    这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 eq7C]i rH  
    *GB$sXF  
    首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: ook' u }h  
    下面是对 DSEARCH 的输入: rUhWZta  
    【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 ],WwqD=  
    il<gjlyR]L  
    返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11.
    -U&098}<K  
    LjX&' ,  
    现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下: ~6=Wq64  
    【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 bK6, saN>  
    :Fq2x_IUE  
    结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11. UX+?0K  
    6!i( \Q*  
    oKZ[0(4<  
    现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1,并输入: :a#|  
        COMBINE 23 i] V F'tG  
        RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。
    =2Pz$q*ub  
    )I^)*(}  
    现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏,修改 TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
    Ul7,k\q@  
    4"rb&$E   
    )2   
    查看多视场衍射 MTF,在像质分析中,选择 MTF(衍射)  多视场衍射 MTF,颜色为 M,然后运行 MMF
    GA}hp%  
    n C\(+K1%  
    查看畸变图,在像质分析中,选择像差畸变,颜色为 M ,运行 DIS
    xUV_2n+  
    & C!g(fS  
    我们有了一个非常好的微光刻镜头。 KI^q 5D ?  
    很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 +A;n*DF2  
    [ 此帖被小火龙果在2023-11-28 09:26重新编辑 ]
     
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