课程四十八：从
初始结构开始设计的微
光刻透镜 BT`6v+,h7k 你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的
镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习
光学设计，这将是一个好的学习例子。
LkNfcBa_ 本课将给出一个学习例子:
8U=M.FFp 1. 镜片数22片
v&uIxFCR 2. 物高31mm
i?mDR$X: 3. 物方数值孔径NA 0.2
5oORwOP 4.
波长为UV
.8wR;^ 5. 像方晶圆尺寸是12.66mm
OlV >zam 6. 总长小于1200mm
XrBLw}lD`N *D`,z3/* 这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让
光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束
成像到晶圆片上。
~LkReQI DhB: 8/J 首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：
u wf3 下面是对 DSEARCH 的输入：
b Z%[ON5OY 【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 <Z#u_:5@ (VC_vz- 返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。使用命令为：SAVE LEFT11.
o5zth^p[ o F @{& 现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下：
dJCu`34Y'| 【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 r:YAn^Lg S0"O U0`N 结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：SAVE RIGHT11.
T@k&YJ
KWXJ[#E<W
% _A1WC 现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入：
EStHl(DUPq COMBINE 23
s{A-K5S RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。
|=GRPvvi
o#w6]Fmc 现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的
优化宏，修改 TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并
模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
xazh8X0P
a}e7Q<cGj
\'1%"JWK
查看多视场衍射 MTF，在像质分析中，选择 MTF（衍射） 多视场衍射 MTF，颜色为 M，然后运行 MMF
"hQV\|!\
xG<S2R2VQh 查看畸变图，在像质分析中，选择像差畸变，颜色为 M ，运行 DIS
ir/ 2/
E
<!=TxV>}A 我们有了一个非常好的微光刻镜头。
<pi q?:ac 很高兴您选择
SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。
-?@ $`{-K [ 此帖被小火龙果在2023-11-28 09:26重新编辑 ]
