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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-16
    课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 @.gT&Hq  
    你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。 \^kyC1  
    本课将给出一个学习例子: zYdSg<[^  
    1. 镜片数22片 aTs5^Kh')  
    2. 物高31mm OE-$P  
    3. 物方数值孔径NA 0.2 n37C"qJ/i  
    4. 波长为UV ~1pJQ)!zlq  
    5. 像方晶圆尺寸是12.66mm />XfK,c-  
    6. 总长小于1200mm :b;2iBVB  
    _=jc%@]1y  
    这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 .Lo$uKsW$l  
    Qw^nN(K!>  
    首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: |2X Et\P  
    下面是对 DSEARCH 的输入: 5+GW% U/  
    【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 xTX\% s|  
    %5*gsgeI  
    返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11.
    J={$q1@lq  
    ??{(.`}R~  
    现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下: GEwgwenv  
    【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 n<Z;Xh~F  
    Mk= tS+  
    结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11. #$%9XD3  
    ?rWqFM:hb  
    *9%<}z  
    现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1,并输入: a=k+:=%y  
        COMBINE 23 r!yrPwKL  
        RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。
    UuAn`oYhV  
    5Ga>qIM  
    现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏,修改 TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
    }nYm^Yh  
    O{&5/xBA  
    AynWs5|z=  
    查看多视场衍射 MTF,在像质分析中,选择 MTF(衍射)  多视场衍射 MTF,颜色为 M,然后运行 MMF
    &6,GX7]Fo  
    A$A7 F=x  
    查看畸变图,在像质分析中,选择像差畸变,颜色为 M ,运行 DIS
    fu9y3`  
    bXc7$5(!VB  
    我们有了一个非常好的微光刻镜头。 z7MJxjH  
    很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 p*W4^2(d  
    [ 此帖被小火龙果在2023-11-28 09:26重新编辑 ]
     
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