课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 2!UNFv#=$
你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。 CBj&8#8Z
本课将给出一个学习例子: `#v(MK{9+V
1. 镜片数22片 T*m;G(
2. 物高31mm @|7Ma/8v
3. 物方数值孔径NA 0.2 gy%/zbZx
4. 波长为UV PA=.)8
5. 像方晶圆尺寸是12.66mm E~k_4z%M
6. 总长小于1200mm lDBn3U&z>
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这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 @(;zU~l/
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首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: !;[cm|<