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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-16
    课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 M\.T 0M_  
    你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。 =Q=&Ucf_  
    本课将给出一个学习例子: >s 8:1l  
    1. 镜片数22片 l]kl V+9t  
    2. 物高31mm s=%+o& B  
    3. 物方数值孔径NA 0.2 E_gDwWot  
    4. 波长为UV o YI=p3l  
    5. 像方晶圆尺寸是12.66mm 3NxaOO`  
    6. 总长小于1200mm m5;[,He  
    HfeflGme*  
    这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 v`ZusHJ1d  
    ^q N1~v=hS  
    首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: `@.s!L(V  
    下面是对 DSEARCH 的输入: u+tb83 ~[=  
    【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 gc8PA_bFz  
    Ccd7|L1  
    返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11.
    53+rpU_  
    qpwh #^2  
    现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下: Py25k 0j!  
    【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 H{A| ~V)  
    6r-n6#=  
    结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11. tDLk ZCP  
    llG#nDe  
    \/4%[Q2QDm  
    现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1,并输入: /,@v"mE7c!  
        COMBINE 23 I~ ]mX;  
        RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。
    K#sb"x`  
    ].f,3it g&  
    现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏,修改 TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
    (*WZsfk>/<  
    =ObtD"  
    pBnf^Ew1  
    查看多视场衍射 MTF,在像质分析中,选择 MTF(衍射)  多视场衍射 MTF,颜色为 M,然后运行 MMF
    3XlnI:w =  
    sPTUGx'  
    查看畸变图,在像质分析中,选择像差畸变,颜色为 M ,运行 DIS
    ~_j%nJ &2  
    Y6%OV?}v!  
    我们有了一个非常好的微光刻镜头。 r~fl=2>yQ  
    很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 vMdhNOU  
    [ 此帖被小火龙果在2023-11-28 09:26重新编辑 ]
     
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