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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-16
    课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 j}6h}E&dEr  
    你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。 [* @ +  
    本课将给出一个学习例子: Z{?T1 =n  
    1. 镜片数22片 WADEDl&,'  
    2. 物高31mm [.&n,.k  
    3. 物方数值孔径NA 0.2 '"'RC O  
    4. 波长为UV t=fP^bJ  
    5. 像方晶圆尺寸是12.66mm c6SXz%'k  
    6. 总长小于1200mm p 8Z;QH*  
    #qeC)T  
    这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 =r3g:j/>q  
    SIc~cZ!Yu  
    首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: G#A6<e/  
    下面是对 DSEARCH 的输入: s^Xs*T@~h  
    【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 ?-8DS5  
    q$Ms7 `a  
    返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11.
    >P//]nn  
    ab]Q1kD  
    现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下: \C4wWh-A  
    【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 O2"V'(  
    7nP{a"4_  
    结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11. 'pB?  
    G\^<MR|  
    >Psq" Xj  
    现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1,并输入: )<qL8#["U  
        COMBINE 23 Z'Pe%}3  
        RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。
    hTmJ ~m'J  
    Nbv b_  
    现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏,修改 TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
    #zBqj;p  
    9vSKIq  
    JAT%s %UC  
    查看多视场衍射 MTF,在像质分析中,选择 MTF(衍射)  多视场衍射 MTF,颜色为 M,然后运行 MMF
    }w-M .  
    =K}T; c  
    查看畸变图,在像质分析中,选择像差畸变,颜色为 M ,运行 DIS
    2 )3oX  
    o2q-x2uB  
    我们有了一个非常好的微光刻镜头。 7>0u N|  
    很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 ,+I]\ZeO  
    [ 此帖被小火龙果在2023-11-28 09:26重新编辑 ]
     
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