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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-16
    课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 2!UNFv#=$  
    你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。 CBj&8#8Z  
    本课将给出一个学习例子: `#v(MK{9+V  
    1. 镜片数22片 T*m;G(  
    2. 物高31mm @|7Ma/8v  
    3. 物方数值孔径NA 0.2 gy%/zbZx  
    4. 波长为UV PA=.)8  
    5. 像方晶圆尺寸是12.66mm E~k_4z% M  
    6. 总长小于1200mm lDBn3U&z>  
    *jAw  
    这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 @(;zU~l/  
    Stq [[S5P  
    首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: !;[cm|<E  
    下面是对 DSEARCH 的输入: DA0{s  
    【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 vmV<PK-  
    T~*L [*F0  
    返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11.
    &s]wf  
    9)_fH6r  
    现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下: W0++q=F  
    【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 6f$h1$$)^  
    n$z}DE5 #  
    结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11. h3B s  
    e~wuoE:M3  
    X={n9*Sd8  
    现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1,并输入: }!^/<|$=  
        COMBINE 23 jl!rCOLt4  
        RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。
    D$ >gAv  
    3`W=rIMli  
    现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏,修改 TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
    gEejLyOag  
    EPY64 {  
    8SG*7[T7  
    查看多视场衍射 MTF,在像质分析中,选择 MTF(衍射)  多视场衍射 MTF,颜色为 M,然后运行 MMF
    w Ud6xR  
    !jV}sp<Xp  
    查看畸变图,在像质分析中,选择像差畸变,颜色为 M ,运行 DIS
    d#?.G3YmK  
    jK#[r[q{  
    我们有了一个非常好的微光刻镜头。 )^G&p[G  
    很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。  P[l?  
    [ 此帖被小火龙果在2023-11-28 09:26重新编辑 ]
     
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