摘要
;S j* { %/C[\wp81 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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pU/.|Sh Im#$iPIvT 设计任务
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cv1L!Ce, je%12DM 光栅特性与参数的严格分析
g"f^YEQ_ Inoou'jX 不同光栅周期的衍射效率
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~ =0Sa 考虑光栅周期的选择
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A/aQpEb% 偏振相关衍射特性
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#YdU,y=B j=4>In?x 偏振相关衍射特性
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hI0l2OE Cv33?l-8%_ 基于参数优化的光栅设计
} d6^ eNb =` 具有固定周期的二维参数优化
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)-gyDA 二维参数优化 - 设计#1
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O8%/Id 二维参数优化 - 设计#2
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?*=Jq W#7c`nm 制造
公差分析 - 设计#2
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bql6Z1l SrIynO 不同光栅周期的
三维参数优化
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b._pG(o1 /<~IKVz\& 制造公差分析
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