摘要
(6* }0Ie Kpu5 高
数值孔径物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在
聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
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Am!OLGG4 c N-$;Ent 建模任务
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L++qMRk9 &/n*>%2 入射平面波
ox*>H kV 波长 2.08 nm
fKW)h?.Kd 光斑直径： 3mm
[DZ|Ltv 沿x方向线偏振
h343$,))u 1,(WS
F 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
K3iQ/j~a q 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
E&N~ h|CL V}Ee1C 概览
\ZA@r|=$ •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
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Yjp •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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2?{'(i ay 光线追迹模拟
.e5d#gE0 •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
edo+ o{^ •点击Go！
aaP6zJXi •获得3D光线追迹结果。
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v $J):yhFs e 光线追迹模拟
?rjB9AC_;t •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
u M\5GK •单击Go！
fy$?~Ji & •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
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w n;)La (:I]v_qEYS 光场追迹模拟
!S%0#d2 •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
{a_ _/I>) •单击Go！
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`{|w*) mD {-lpYD^k3 光场追迹结果（照相机探测器）
*7E#=xb T(q Tipq0 •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
P2@Z7DhQ •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
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y M `u]p1 d@ >i=l [ 光场追迹结果（电磁场探测器）
)t KS ooW ` yP`5a/ •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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