摘要
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数值孔径物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在
聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
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W{aN S@1 _"`h~jB 建模任务
$Bb/GXn{\ S45_-aE 
9B0"GEwrs lNAHn<ht 入射平面波
Wno5B/V 波长 2.08 nm
}C}_
I:=C 光斑直径： 3mm
%Ski5q 沿x方向线偏振
ns k
6a =<xbE; ,0 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
N4-J !r@#~ 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
Cn '=_1p ~V )E:( 概览
p60D{UzU •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
k6S<46}h| •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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\f#ao<vQm 光线追迹模拟
Jmx }r,j •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
W9"I++~f •点击Go！
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D!OW] •获得3D光线追迹结果。
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jfamuu 7 L4b4X 光线追迹模拟
Gy%e%' •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
@35 shLs •单击Go！
4fswx@l •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
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Ip0q&i<6 M-Bw9`#Jw 光场追迹模拟
/jD' o> •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
4a C#Cv:0 •单击Go！
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E12k1gC` $'q(Z@ 光场追迹结果（照相机探测器）
5FxU=M1gF \ 714 Pyy •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
at!?"u •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
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Rd)QVEk>SD " T|\ 光场追迹结果（电磁场探测器）
9&cZIP \BL9}5y •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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