摘要
$agd9z,&m xB =~3 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
*gHGi(U(U OEc$ro=m* 
/lBx}o' 595P04 设计任务
L$*sv. )sg@HFhY' 
;<qv-$P
T@c{ 5a 1级
参数优化
Z 6G>j X .V6v4 
9(`d
h C^vB&3ghi 结果-容差分析
4?GW]'d z& !n'N <C 
G2Zr (b') Ic_>[E?k 结果-容差分析
QAiont ,! __Ei;%cV 
Ph(bgQg %<cfjo VirtualLab Fusion一瞥
"W:#4@
F S i[:l 
JY4sB8 fz
H$`X'M VirtualLab Fusion中的工作流程
5v:c@n L w EI 构建光栅结构
7Ddo ^Gtx −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
hiKgV|ZD −倾斜光栅高级设定[用例]
@SA:64
9 •光栅衍射效率分析
}F'B!8n −光栅阶序分析器[用例]
A|!u`^p •使用参数优化进行光栅参数优化
s>8;At- •使用参数运行的
容差分析
uh`W} n
a` XXz 
1p#O(o Qo7]fnnaV VirtualLab Fusion技术
/ (#;(] 1an?/j, 
