1.摘要
$zxCv7 X$PT-~!a 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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KWN0$*4 2. 建模任务
Q$Vxm+ M7!&gFv8 LDwu?"P! :q^g+Bu= 3. 干涉条纹的变化
Hdj0! bUx s^3t18m&1 {l_R0 kTs)u\r. 4. 走进VirtualLab Fusion
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S 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
dtm_~r7~ .^P^lQT]> 4lvo9R HTkce,dQ 6. VirtualLab Fusion 技术
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