1.摘要
~ ;)@a ?xK9 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
,n &|+& <6p{eGAQV 1ErH \! F8b*Mt}p 2. 建模任务
xkUsZ*X8B 28X)s!W' J;m[1Mae& o1zc`Ibd 3. 干涉条纹的变化
&xH>U*c X,O&X Vize0fsD +t.T+`
EG 4. 走进VirtualLab Fusion
+tfmBZl^ ?\$77k L=Dx$#| aeSy,: 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
]o,) #/' $ s_`wLQ7e 9IMRWtZWT 22tY%Y9 6. VirtualLab Fusion 技术
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