1.摘要
C|rl",& P2)g%$ME 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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Z8pZm`g)T ,=P0rbtK 2. 建模任务
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b*a}~1 &J=x[{R 3. 干涉条纹的变化
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F,XJGD* r3.v ^ 4. 走进VirtualLab Fusion
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3lNw*M|") Os1y8ui 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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*Xd_=@L&B ZP%Bu2xd 6. VirtualLab Fusion 技术
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