1.摘要
?48AY6 a)S(p1BGg 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
t {=i=K3 VV\Xb31J <~O}6HQ# i7f%^7! 2. 建模任务
y.fs,!|%@ !a4cjc( leIy|K>\m k<, u0 3. 干涉条纹的变化
2C{/`N bx7\QU+ wDZ b=_{/F*b? 4. 走进VirtualLab Fusion
ixzTJ]y u |>@-grs !Y|8z\Q d|3o/@k 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
;24'f-Eri $vqU|]J` vu ?3$ 2)? 6. VirtualLab Fusion 技术
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