1.摘要
Fc'[+L--Q <Y>3 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
:G 5C ]'t 1~@|eWr| IY)5.E
_ JT)k 2. 建模任务
_R74/| vLDi ; !BUi)mo t8vc@of$c, 3. 干涉条纹的变化
6m+W#]^ l3p3tT3+ 3gc"_C\$ D0 ruTS 4. 走进VirtualLab Fusion
wAh# Q#pnj thM <KLg0L<W a5?A!k\2 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
C3}Aq8$6 G9Qe121m N09KVz2Q xNX'~B^4d 6. VirtualLab Fusion 技术
fY_%33_I$ PN
&|8_