1.摘要
kq6K<e4jO 5q[0;`J 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
v#/Uq?us Fy-+? ~ *JXiOs DKL< "#.7 2. 建模任务
xw-x<7 )L#C1DP# Wt+aW R4,j 3. 干涉条纹的变化
hx$-d}W{ )f4D2c&VE X#mm
Z;P }zVPdBRfm 4. 走进VirtualLab Fusion
zECdj'/ gkUG*Zw $3](6 ShanwaCDqv 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
G.K3'^_ \ief [ @L|X('i (x9d7$2 6. VirtualLab Fusion 技术
5J1A|qII 'pOtd7Vr