1.摘要
%,ScGQE Odh r=Hs 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
zx.SRs$ W5:fY>7 O2="'w'kR DvOvtd 2. 建模任务
=9^}>u Zt=P 0 HNj;_S fy|I3 3. 干涉条纹的变化
R?- zJ ; FS!)KxC/- 5a)$:oO! $4)L~g| 4. 走进VirtualLab Fusion
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A%v /<(-lbq, bz~aj}"` 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
y*US^HJOZ Ip)u6We>I zfg+gd)Z H~>8q~o] 6. VirtualLab Fusion 技术
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