1.摘要
}]VFLBl`w x/7kcj!O 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
ZgarxV* !g=4\C`mY )"KKBil0 )jc`_{PQg 2. 建模任务
kMd1)6%6A {B|)!_M# Fp=O:] /h6K"w=='! 3. 干涉条纹的变化
|0^~S 'ip2| UG 3&`LVhx gZ!q 4. 走进VirtualLab Fusion
eICavp X?f\j"v 3mP251"dIW 1|bg;X9+ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
tleWJR8oc j; TXZ`|( H;w8[ImK !94q F,#1 6. VirtualLab Fusion 技术
ka=EOiX. IEmjWw4