[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 (xRcG+3];  
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白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 W)/^*, Q7  
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2. 建模任务 H(rD*R[  
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3. 干涉条纹的变化 % hvK;B?Y|  
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4. 走进VirtualLab Fusion JcA+ztPU  
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5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 >[,eK=  
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• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

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6. VirtualLab Fusion 技术 d6YXITL)\>  
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