1.摘要
w2V E_ '(>N
gd[ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
>Cc$ P #Og_q$})f
5Ozj&Zq 50`r}s} 2. 建模任务
|@|D''u>6 7w({ GZ
nTlrG6 j. cH,Y 3. 干涉条纹的变化
%LmB`DqZ
/n=/WGl
BpE[9N ?yh.*,dgi 4. 走进VirtualLab Fusion
}c:0cl |.yRo_
kXRD_B5& $]86w8?-N 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
s5@^g8(+C #+=afJ
7 c7SU^hD SOJHw6 6. VirtualLab Fusion 技术
i^Q^F !).dc.P