[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 iXm||?Rnx  
pu:D/2R2;k  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 H/3Zdj 9  
5y3TlR  

图片:1-191204120226228.png

&o/4hnHYt  
a!:8`X~[/$  
2. 建模任务 Doh|G:P]#  
B#?2,  

图片:1-19120412030c28.png

yUW&Wgc=:  
JZ%F  
3. 干涉条纹的变化 |3,V%>z  
W#L"5pRg  

图片:1-191204120352336.png

bVeTseAG  
rH9}nL  
4. 走进VirtualLab Fusion B-~&6D,  
D'`"_  

图片:1-1912041204141I.png

LZ)m](+M  
w;EXjl;X O  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 (`]*Y(/2G  
f4I#a&DO  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

Hm VTfH'  
]kkBgjQbS  
6. VirtualLab Fusion 技术 2]3HX3  
n+qVT4o  

图片:1-19120412051Q53.png