1.摘要
g<s[6yA D PnKr/ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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r^P}xGGK {6<7M 2. 建模任务
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pBt/vS ad wLD/#Hfi7 3. 干涉条纹的变化
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T\:3(+uK ewgcpV|spn 4. 走进VirtualLab Fusion
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>b-rAO\{} 0$,Ag;"^? 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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j 6. VirtualLab Fusion 技术
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