1.摘要
@jKDj]\ - &NQ\W 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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RCQAtBd >.n;mk 2. 建模任务
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Q;Q%SI`yT "'~|}x1Uv 3. 干涉条纹的变化
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}E,jR=@ =hPG_4# 4. 走进VirtualLab Fusion
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Y>G*'[U RA}U#D:$i 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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f.J9) lfb "bPCOJ[v9 6. VirtualLab Fusion 技术
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