摘要
77>oQ~q 0vY_ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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E Aa 9*qwXU_aV 建模任务
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r.: Pv -4psdw 仿真干涉条纹
.-gJS-.c 57\ 0MQO w~lH2U'k} 走进VirtualLab Fusion
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a4Q@sn;] GVY7`k"km VirtualLab Fusion中的工作流程
>eJ<-3L; zsL@0]e& •设置输入场
-/f$s1 −
基本光源模型[教程视频]
=LW!$p •使用导入的数据自定义表面轮廓
}b_Ob •定义元件的位置和方向
[WwoGg*)mn −
LPD II:位置和方向[教程视频]
K_i|cYGV •正确设置通道以进行非
序列追迹
HuhQ|~C+~ −
非序列追迹的通道设置[用例]
v~$V •使用
参数运行检查影响/变化
\xYVnjG, −
参数运行文档的使用[用例]
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k^5Lv#Z qO6M5g: VirtualLab Fusion技术
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