摘要
j0mN4Ny D1xGUz2r 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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vlbZ5 hOAZvrfQ4 建模任务
< v] ~h@@y5<4 @h{|tP%" 仿真干涉条纹
k(dakFaC^ hvw9i7# ~/`/r%1/J 走进VirtualLab Fusion
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I? zg<-%r'$ VirtualLab Fusion中的工作流程
Q p>b wL?Up>fr •设置输入场
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基本光源模型[教程视频]
8J(j}</>a •使用导入的数据自定义表面轮廓
:uo1QavO@, •定义元件的位置和方向
tf~B,? −
LPD II:位置和方向[教程视频]
29RP$$gR •正确设置通道以进行非
序列追迹
_K~h?
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非序列追迹的通道设置[用例]
AYA{_^#+3 •使用
参数运行检查影响/变化
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参数运行文档的使用[用例]
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0!|d .jZI VirtualLab Fusion技术
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