[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 \s#~ %l  
lf`ULY4{  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 J920A^)j!  
nDvfb*\  

图片:1-191209152110491.png

=CFjG)L  
^dpM2$J  
建模任务 :z8/iD y  
%$ya>0?mq  
$}(Z]z}O;  
仿真干涉条纹 {LiJ=Ebt  
1#x5 o2n  
p-"C^=l  
走进VirtualLab Fusion 9\Gk)0  
_9=87u0  

图片:1-191209152K5539.png

]izHn;+  
D]E=0+  
VirtualLab Fusion中的工作流程 zCJ"O9G<V  
IER;d\_V<  
•设置输入场 rS>.!DiYr,  
−基本光源模型[教程视频] p^Ey6,!8]D  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 P1
OYS\  
•定义元件的位置和方向 8(n>99VVK  
− LPD II：位置和方向[教程视频] YQD`4ND  
•正确设置通道以进行非序列追迹 WblH}  
−非序列追迹的通道设置[用例] N_ ODr]L  
•使用参数运行检查影响/变化 Vl$RMW@Ds  
−参数运行文档的使用[用例] 0dwD ?GG2  
OD}Uc+;K  

图片:1-191209152Tb56.png

JPTLh{/  
D% *ww'mt0  
VirtualLab Fusion技术 nP*DZC0kE&  
#*:1Ch]B