摘要
lAx8m't}6 xQ8?"K;iX 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
HuajdC~ +Z/aG k; @|9V]bk tVAH\*a,/ 建模任务
&fwb ?Vn4 "@&I*1& y-vB C3 仿真干涉条纹
;3N>m| ?D= IaRq6=[ .4,l0Nn`W 走进VirtualLab Fusion
U\;mM\2rE ~`VD}{[,B N x/_+JWje 9'h4QF+Y VirtualLab Fusion中的工作流程
UC?i>HsJrX %;YERO! •设置输入场
P!lTK
−
基本光源模型[教程视频]
gz`P~7-w: •使用导入的数据自定义表面轮廓
'M3V#5l)@| •定义元件的位置和方向
H,U qU3b3 −
LPD II：位置和方向[教程视频]
%hb!1I •正确设置通道以进行非
序列追迹
8f-B-e ?k −
非序列追迹的通道设置[用例]
(J\Qo9Il •使用
参数运行检查影响/变化
#W=H)6 −
参数运行文档的使用[用例]
Xq.G vZS` $4]"g}_ Dq~D4 | Y1U\VU VirtualLab Fusion技术
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