摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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*uLlf'qU] r&G=}ZMO 建模任务
w2!5Cb2 *o/Q# nJ.<yrzi 仿真干涉条纹
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`XwFH#_ 走进VirtualLab Fusion
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]#C;)Vy FM c9oyU~ VirtualLab Fusion中的工作流程
`dH[&=S 8?lp:kM •设置输入场
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基本光源模型[教程视频]
'$]u?m •使用导入的数据自定义表面轮廓
![wV}.} •定义元件的位置和方向
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LPD II:位置和方向[教程视频]
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xb •正确设置通道以进行非
序列追迹
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非序列追迹的通道设置[用例]
?(cbZ#( o •使用
参数运行检查影响/变化
DQ{Yr>J −
参数运行文档的使用[用例]
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3H0~?z_ je^!W?U4< VirtualLab Fusion技术
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