摘要
?*~sx=mC >H,E3Z 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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qkJ y&wo"'; okO\A^F n.G.fbO 建模任务
x+[ATZ([ O;0VKNn[' ({cWb:+r 仿真干涉条纹
5+qdn|9%T _SMi`ie# mA^3?yj 走进VirtualLab Fusion
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b)r;a5"<5 VirtualLab Fusion中的工作流程
h+j*vX/! #L&/o9| •设置输入场
|+qsO; −
基本光源模型[教程视频]
zT93Sb •使用导入的数据自定义表面轮廓
HmHM#~5(` •定义元件的位置和方向
gu&W:FY −
LPD II:位置和方向[教程视频]
0IBQE •正确设置通道以进行非
序列追迹
Tt,T6zs-< −
非序列追迹的通道设置[用例]
bgkBgugZhX •使用
参数运行检查影响/变化
1-Dw-./N −
参数运行文档的使用[用例]
{ _Y'%Ggh bH!_0+$P 3ug~m-_ xc7Rrh]} VirtualLab Fusion技术
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