[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 < .e4  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 0kls/^0,  
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建模任务 O'#;Ge/,  
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仿真干涉条纹 GBR
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走进VirtualLab Fusion w2/
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VirtualLab Fusion中的工作流程 vfx{:3fO  
ZU.E}Rn:  
•设置输入场 mvt-+K?U  
−基本光源模型[教程视频]
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 0Bkz)
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•定义元件的位置和方向 $?gKIv>g  
− LPD II：位置和方向[教程视频] fl9VokAT  
•正确设置通道以进行非序列追迹 p}/D{|xO  
−非序列追迹的通道设置[用例] g+Q
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•使用参数运行检查影响/变化 -a~n_Z>_  
−参数运行文档的使用[用例] (e!Yu#-  
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VirtualLab Fusion技术 q*Hg-J}  
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