[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 *O') {(  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 RB1c!h$u  
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建模任务 + >o/Ob  

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仿真干涉条纹 ?_9cFo59:  
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走进VirtualLab Fusion (:3rANY|  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 = !D<1<  
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•设置输入场 w91gM*A  
−基本光源模型[教程视频] (n7v $A  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 GCul6,w  
•定义元件的位置和方向 T1m097  
− LPD II：位置和方向[教程视频] `T $lTP  
•正确设置通道以进行非序列追迹 $x;wnXXXM  
−非序列追迹的通道设置[用例] _$/(l4\T[  
•使用参数运行检查影响/变化 +) 2c\1  
−参数运行文档的使用[用例] GIQ/gM?Pv  
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VirtualLab Fusion技术 m;o \.s  
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