[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 12U1DEd>-  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 5<wIJ5t  
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建模任务 8C7$8x]mM  
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仿真干涉条纹 i2j_=X-  
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走进VirtualLab Fusion I(y:Td  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 VRQ'sn@  
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•设置输入场 U2m86@E  
−基本光源模型[教程视频] #\3(rzQVO  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 |(G^3+5Uwm  
•定义元件的位置和方向 LlOUK2tZ  
− LPD II：位置和方向[教程视频] P>n}\"z4  
•正确设置通道以进行非序列追迹 {_T?0L  
−非序列追迹的通道设置[用例] )F*;7]f  
•使用参数运行检查影响/变化 d+[GMIxg  
−参数运行文档的使用[用例] D]X&Va  
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VirtualLab Fusion技术 NrA?^F  
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