[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 lR
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 e@S\7Ks  
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建模任务 ^NM>xIenf  
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仿真干涉条纹 JbMp /  
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走进VirtualLab Fusion Z&=
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VirtualLab Fusion中的工作流程 )J2UNIgN  
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•设置输入场 U-U(_W5&  
−基本光源模型[教程视频] @gmo;8?k  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ~-uDN)  
•定义元件的位置和方向 t**d{P+  
− LPD II：位置和方向[教程视频] `.]oH1\  
•正确设置通道以进行非序列追迹 c0w1 N]+Ne  
−非序列追迹的通道设置[用例] (E~6fb"c  
•使用参数运行检查影响/变化 l)'*jZ  
−参数运行文档的使用[用例] -Rr !J37  
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VirtualLab Fusion技术 )n[=)"rf  
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