[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 R0d|j#vP  
EC#10.  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 *{s
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建模任务 (UXB#I~  
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仿真干涉条纹 6D(m8  
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走进VirtualLab Fusion FQ)Ekss~C  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 "iG
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•设置输入场 nCB3d[/B  
−基本光源模型[教程视频] 3R.cj  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 h--bN*}H2  
•定义元件的位置和方向 Sn&%epi  
− LPD II：位置和方向[教程视频] `BD`pa7.%  
•正确设置通道以进行非序列追迹 kyB]fmS  
−非序列追迹的通道设置[用例] }2o
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•使用参数运行检查影响/变化 /^G+vhlf\  
−参数运行文档的使用[用例] M6!brj\[|  
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VirtualLab Fusion技术 miSC'!  
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