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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 'mj0+c$  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: JnH>L|G{;%  
    #\1;d8h  
    QkUq%}_0  
    首先,检查该光学系统MTF )~;=0O |X  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 ,%e.nj9  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 Az[Yvu'<  
    DSad[>Uj],  
    x|n2,3%  
    J_]?.V*A  
    显示的是短波的MTF。 +CtsD9PA  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 6j@3C`Yd  
    'S\YNLqQ  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 Rok` }t  
    有两种方法可供选择: f.cIhZF  
    2,?4'0Z@R  
    (1) 局部相干图像分析 V|xK vH  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 #`)zD"CO  
    d-nqV5  
    S83wAr9T  
    ,5Jq ZD  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 Dz;^'   
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 O?|opD  
    1wSJw  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 V~M>K-AL  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 EeC5HgIU'C  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 n_vopDMm  
    )]~'zOE_  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 {t`UV,  
    7JNhCOBB  
    '^ "6EF.R  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 7bOL,S  
    9Y&,dBj+  
    (2)图像模拟 .n1]Yk;,1  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 i3g;B?54  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 o!EPF-:  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 %cJ]Ds%V  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 'PTWC.C?9  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 !/O c)Yk  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 Iu`eQG  
    ;B>2oq  
    >v^Bn|_/  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 E`%Ewt$Z  
    |mvy@hm  
    0]3%BgZ(a8  
    按照以下参数对仿真进行设置, -ZqN~5>j)  
    *l:5FT p  
    I4 dS,h  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 $FUWB6M  
    输入0.3作为视场的高度。 KA1Z{7UK%  
    输入0.3作为视场的高度。 5at\!17TY  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 p\5DW'  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 b6BeOR*ps  
    仿真的图像如下所示。 s>Xx:h6m  
    %Z?2 .)  
    _ Js & _d  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 @+1-_Q`s/R  
    这种现象被称为 "伪像"。 Z"rrbN1  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 cd,)GF  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 xFcJyjo^z  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 m/l#hp+  
    < wV?B9j  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 sE7!U|  
    `PK1zSr  
    $rFLhp}  
    tpp. 9  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 hhQLld4  
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    +$R4'{9q  
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