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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 :[sOKV i  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: 9cd8=][  
    gi]ZG  
    Q> 8pP\ho  
    首先,检查该光学系统MTF )`8pd 7<.  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 D|_V<'  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 NP/>H9Q2%  
    5+P@s D  
    3]U]?h  
    \iU]s\{).  
    显示的是短波的MTF。 hazq#J!  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 Z0ReWrl;`  
    )NT5yF,m  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 ~|l IC !q  
    有两种方法可供选择: :eOR-}p'  
    u@=?#a$$  
    (1) 局部相干图像分析 ( 9$"#o  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 Ht[{ryTxu  
    Dag`>|my  
    /N)5 3!LT  
    :Q@)*kQH  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 [B^G-  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 !e3YnlE  
    [vTMS2  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 s_eOcm  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 0JY WrPR  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 7*s8 ttX  
    4h|dHXYZ  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 DQJG,?e{  
    0 ^~\COa  
    5Qa zHlJ  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 1S$h<RIPAc  
    (/h5zCc/v  
    (2)图像模拟 w([$@1]  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 q\$6F)ha3  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 xh0xSqDM  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 t FgX\4  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 N[U9d}Zv  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 /_\W+^fE  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 N/~N7MwJj  
    x#8w6@iPQ  
    Ec]|p6a3  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 cA;js;x@  
    "5!BU&   
    RuAlB*  
    按照以下参数对仿真进行设置, .ve *Vp  
    RT*5d;l0  
    +F@_Es<6  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 =AOWeLk*G  
    输入0.3作为视场的高度。 `/Y+1 aD  
    输入0.3作为视场的高度。 GsV4ZZ  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 <@, $hso7:  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 Hs0pW5oZ  
    仿真的图像如下所示。 E9 Y\X  
    UAYd?r  
    )\ 0F7Z  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 9dKul,c  
    这种现象被称为 "伪像"。 8SmjZpQ?  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 (P@Y36j>N  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 #y; yN7W  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 v[S-Pi1  
    61K"(r~  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 Hs?zq  
    6*XM7'n  
    7_\Mwy{P  
    Y=B3q8l5  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 yA7 )Y})>  
    销售热线:027-87878386 9 $l>\.6  
    咨询邮箱:market@ueotek.com F0dI/+  
    /"#4T^7&  
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