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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 QaYUcma~n  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: g!*5@k|C  
    (Sd8S`xO  
    Sl7x>=  
    首先,检查该光学系统的MTF。 pi|P&?yw  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 ?!Bf# "TY  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 xq<3*Bcw  
    b)1v:X4Bv=  
    $wBF'|eU  
    k6b0&il  
    显示的是短波的MTF。 f+K vym.  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 !/;/ X\d  
    xS>d$)rIj  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。  <RaM@E  
    有两种方法可供选择: O"6 (k{`  
    |2t1m 6\j  
    (1) 局部相干图像分析 b2<((H  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 _9<nM48+t  
    [S<1|hk s(  
    RcG 1J7#i  
    .%x%b6EI  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 <Mq vGXI  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 Q 2mTu[tx  
    T>cO{I  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 (Q4hm]<  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 L)qDtXd4  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 vv FH (W  
    9z9\pXFQ  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 YQ7\99tj  
    Ua2waA  
    \fD)|   
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 ]o<&Q52|  
    jo}yeGbU  
    (2)图像模拟 FJCLK#-  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 ]I<w;.z  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 !+(c/ gwBh  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 d"0=.sA  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 # X`t~Y'  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 Zk:_Yiki&  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 3"O&IY<  
    lh`ZEvt  
    /a7N:Z_Bz  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 epm ~  
    8W"Xdv{  
    5 !Ho[  
    按照以下参数对仿真进行设置, #i'wDvhol  
    B{ hV|2  
    3 n3$?oV  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 Z(Z$>P&4  
    输入0.3作为视场的高度。 ]]eI80u[  
    输入0.3作为视场的高度。 yE_T#FN  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 F"| ;  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 Q u_=K_W  
    仿真的图像如下所示。 0 H0U%x8  
    9cXL4  
    K0'= O  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 w/, A@fLL  
    这种现象被称为 "伪像"。 *ORa@ x  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 $g&_7SJ@  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 Q>g-xe 1  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 m`9P5[m#x>  
    @ QfbIP9  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 <El!,UBq<  
    oEJxey]B7  
    6ee1^>  
    UXPF"}S2  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 &~'^;hy=  
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    hH]oJ}H \  
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