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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 Ia^/^>  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: kAx J#RG  
    F?y C=  
    4h}\Kl  
    首先,检查该光学系统MTF 5rA>2<\pQ  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 DuQ:82 3b  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 #fyY37-  
    3] U/^f3  
    dftX$TS  
    n2F*a  
    显示的是短波的MTF。 M&/e*Ta5  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 :c[T@[  
    "(+aWvb  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 /cZcfCW  
    有两种方法可供选择: yW"}%) d  
    MAc/ T.[  
    (1) 局部相干图像分析 9*?YES'6  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 %+ MYg^  
    FQMA0"(G$  
    t$Ua&w  
    ~;wR}s<}(  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 7 :u+-U  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 n 2(\pQKm  
    k@9q5lu;T  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 6HVGqx  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 j8t_-sU9 i  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 vZSwX@0  
    kf)s3I/`(  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 rV I-Yb  
    B8V85R  
    57U;\L;ZmZ  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 Vf(n  
    0@#d($'1?Z  
    (2)图像模拟 7^h*rL9  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 gLg\W3TOi  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 00A2[gO9  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 V4%7Xj  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 %vrUk;<35  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 6rAenK-%  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 sQY0Xys<4  
    ^F/H?V/PX  
    (Z>vbi%  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 n yd'79~>G  
    W4AFa>h  
    `&A-m8X  
    按照以下参数对仿真进行设置, T:udw  
    :Us NiR=l  
    NVo =5  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 Uw>g^[V;  
    输入0.3作为视场的高度。 qIgb;=V  
    输入0.3作为视场的高度。 7:S)J~s*O  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 |F>'7JJJ  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 &eX^ll  
    仿真的图像如下所示。 l8!n!sC[,  
    W#<ZaGsq  
    ^(yU)k3pu  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。  *U4eL-  
    这种现象被称为 "伪像"。 Y3f2RdGl  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 ^G(+sb[t  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 {UEZ:a  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 0o&7l%Y/  
    ?|we.{  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 Aj2yAg  
    lV<j?I~?Q  
    *ps")?tlC  
    Y !nE65  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 0SWec7G  
    销售热线:027-87878386 ais"xm<V  
    咨询邮箱:market@ueotek.com nrI-F,1  
    Z6r_T  
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