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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 N_%@_$3G]  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: ` m 5\  
    Qf:e;1F!  
    8eT#- 9q@  
    首先,检查该光学系统MTF u(9pRr L  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 !)M}(I}  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 m(f`=+lqI`  
    "im5Fnu  
    {|9knP  
    KloX.y)q  
    显示的是短波的MTF。 iM .yen_vp  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 U][E`[m#  
    { 4+/0\  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 MWwqon|  
    有两种方法可供选择: B>u`%Ry&  
    -@AhJY.  
    (1) 局部相干图像分析 3W'fEh5  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 r/h\>s+N  
    >MYxj}I4{z  
    ;D'm=uOl  
    '6D"QDZB  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 <Sot{_"li  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 7FwtBO  
    {aE[h[=r  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 EW$drY@  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 O_ #++G  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 Y%}&eN$r  
    L,zx\cj?z  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 aT^ $'_ G  
    ET[5`z  
    5bb#{?2i  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 / `cy4<  
    6jpzyf=~  
    (2)图像模拟 \Fjasz5E'  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 :[a*I6/^  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 #19O5  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 %)V=)l.j  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 6$"IeBRO  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 IB|!51H  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 :h@V,m Z  
    ij:xr% FJ  
    iv`G}.Bo  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 c@>ztQU*  
    wPI!i K@Ro  
    t %u0=V  
    按照以下参数对仿真进行设置, o?]Q&,tO  
    MTt8O+J?P~  
    C.4(8~Y=~  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 wQW` Er3w  
    输入0.3作为视场的高度。 Bc!<!  
    输入0.3作为视场的高度。 Gd!_9S`68  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 G=qlE?j`j  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 pg5W`4-F  
    仿真的图像如下所示。 M8lw; (  
    `U0XvWPr[  
    @ws&W=NQ  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 .XpuD,^;@  
    这种现象被称为 "伪像"。 R1JD{  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 \= ({T_j4  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 &NF$_*\E  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 T Tbe{nb  
    t7-r YY(  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 5[2kk5,  
    ;(mNjxA  
    p` ~=v4;b  
    )h ,v(Rxa  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 bV:<%l]  
    销售热线:027-87878386 e R[B0;c  
    咨询邮箱:market@ueotek.com [<r.M<3  
    2KO`+  
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