[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 v`x.)S1  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 7`Ak)F:V  
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建模任务 6ex/TySM  
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FUb\e-Q=  
模拟&设置：单平台互操作性 ~P,lz!he_  
建模技术的单平台互操作性 n\D&!y[]F  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 e}7lBLK]*  
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(gU!=F?#m  
 平面波光源 NB#OCH1/9  
 微透镜阵列 g2ixx+`?|:  
 彩色滤光片(吸收介质) KqJs?Won  
 通过基底传播 KC6.Fr{  
 探测 L}b.ulkMD  
5m 4P\y^a  
连接建模技术：微透镜 5PJhEB  
pa3{8x{9m  

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itP,\k7>d  
连接建模技术：彩色滤光片 qgHWUwr+n  
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j2[+ztG  
连接建模技术：可编程介质 ie95rZp  
0i>5<ej,f
 

图片:1-231026212G1G3.png

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1(R}tRR7R  
连接建模技术：自由空间传播 Lg.gfny[(t  
2MIi=c:oqK  

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1n8/r}q'H  
连接建模技术：堆栈 MKk\ u9  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 P3=G1=47U  
t%)7t9j  

图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 lfgq=8d  
 彩色滤光片(吸收介质) gZXi]m&  
 通过基底传播 8kIks
y  
 探测 ? :%@vM  
*:7rdzn  
元件内场分析器：FMM ~,Ix0h+H+M  
JPHL#sKyz  

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~G&dqw/.-U  
Dml;#'IF3  
模拟结果 u c)eil  
EME|k{W  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) _N cR)2  
RbnVL$c  

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&6!)jIWJ  
*N<]Xy@  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) g:@#@1rB6  
*?vCC+c  

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sll\g  
.~;\eW[  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 9.-S(ZO  
0[(8  

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3D仿真与结果比较 PC8Q"O  
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3D仿真与结果比较 =UQ3HQD  
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