[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 c7/fQc)h4d  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 zK ir  
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建模任务 /rmm@  
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模拟&设置：单平台互操作性 ${w\^6&  
建模技术的单平台互操作性 I DtGtkF  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 7s'r3}B`  
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图片:1-231026212000Y8.png

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 平面波光源 T0Zv.  
 微透镜阵列 :Y>M//0  
 彩色滤光片(吸收介质) eWwI@ASaA
 
 通过基底传播 yct^AN|%  
 探测 .~fAcc{Qj  
@(Y+W2Iyy+  
连接建模技术：微透镜 kpt0spp  
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图片:1-23102621225O05.png

]U,f}T"e  
vW:XM0  
连接建模技术：彩色滤光片 {Tym#  
ZsikI@?  

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Lv`NS+fX  
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连接建模技术：可编程介质 ,c\3b)ax  
cWG?`6xU&  

图片:1-231026212G1G3.png

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6Jf\}^4@k  
连接建模技术：自由空间传播 e.:SBXZ  
_N&]w*ce  

图片:1-231026212P4M8.png

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su^yt  
60u}iiC@  
连接建模技术：堆栈 ;wkoQ8FD9  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 fooQqWC)  
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图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 -8r9DS-/W  
 彩色滤光片(吸收介质) G[=8Ko0U+n  
 通过基底传播 (o5+9'y"9  
 探测 U~e^  
,awp)@VG7  
元件内场分析器：FMM ^7l^/GSO  
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`]xot8  
8+7=yN(  
模拟结果 >nL9%W}8M  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) d=B DR^/wA  
0G.y_<=  

图片:1-231026213023c5.png

P_f>a?OL:  
@94_'i7\  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 0$9I.%4jAJ  
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图片:1-2310262131263Q.png

-UM5&R+o  
ages-Z_X  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) &E>zvRBQ  
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3D仿真与结果比较 2-3|0<`  
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NI^[7.2  
3D仿真与结果比较 S}rW=hO  
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