[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ;]2x  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 eq^TA1>T  
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建模任务 ?j1_ n,d  
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模拟&设置：单平台互操作性 u~" si
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建模技术的单平台互操作性 k4S} #!  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 EoKC8/  
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 平面波光源 .CVUEK@Z4  
 微透镜阵列 RXGHD19]  
 彩色滤光片(吸收介质) .qSBh hH\  
 通过基底传播 ;knd7SC  
 探测 Nc{]zWL9  
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连接建模技术：微透镜 1s Br.+p  
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连接建模技术：彩色滤光片 Ej' 7h~=v  
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DKh}Y !Q=:  
连接建模技术：可编程介质 >B0D/:R9  
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连接建模技术：自由空间传播 ;P3>>DZ  
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连接建模技术：堆栈 J2r1=5HS  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 *9J1$Wa  
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 微透镜阵列 -&imjy<  
 彩色滤光片(吸收介质) opdu=i=E  
 通过基底传播 ^OF5F8Tf/  
 探测 JX{KYU  
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元件内场分析器：FMM GJX4KA8J  
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模拟结果 Yj3P 7k$c  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) @F?=a*s"!  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ^/*KNnAWp  
8a9RML}G<  

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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) XvskB[\  
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3D仿真与结果比较 v)):$s?WB  
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3D仿真与结果比较 #.<V^  
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